| alimentação rf: | 13,56 mhz |
|---|---|
| potência: | 0 a 1000 w. |
| tamanho interno da cavidade: | 550 * 550 * 675 mm (l * a * d) |
| número do nível de espaço: | 10 camadas |
| Pacote de Transporte: | Wooden Case |
| Especificação: | 1010*1715*1120mm |
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Fornecedor Auditado descrição do Produto
(1.1)o papel de plasma seco
O princípio de plasma seco é principalmente:
(A)a gravação na superfície dos materiais - efeitos físicos
Um grande número de partículas no plasma, como um grande número de íons, entusiasmados moléculas, e radicais livres, agir sobre a superfície da amostra sólida, o que não só elimina o original de contaminantes e impurezas, mas também produz um efeito de gravação para despolir a superfície da amostra. Muitos bons pits são formadas, aumentando a proporção da superfície da amostra. Melhorar as propriedades de humedecimento das superfícies sólidas.
(B)vínculo de ativação da energia, a ligação cruzada
A energia das partículas no plasma é entre 0-20 eV, e a maioria dos títulos em polímero estão entre 0-10 eV.
Quando uma superfície sólida é usado, o vínculo de produtos químicos na superfície sólida pode ser quebrado, e os radicais livres no plasma e estes vínculos
A formação de uma rede de estruturas em muito activa a atividade de superfície.
(C)formando novos grupos funcionais - química
Se um gás reativo é introduzido na descarga de gás, um complexo de reacção química ocorre na superfície do material activado e novos grupos funcionais como um grupo de hidrocarbonetos, um grupo de aminoácidos, um grupo carboxilo e similares são introduzidas, e estes grupos funcionais são todos os grupos ativos, o que pode melhorar significativamente a atividade da superfície do material. 
(1.2)Vantagens do plasma de vácuo seco
O Plasma seco é um material importante modificação de superfície método e tem sido amplamente utilizado em muitos campos.
E alguns métodos de limpeza, tais como limpeza por ultra-som, limpeza UV, etc, têm as seguintes vantagens:
(A)baixa a temperatura de processamento
A temperatura de processamento pode ser tão baixa quanto 80 ° C - 50 ° C. baixa temperaturas de processamento de garantir que não haja efeitos térmicos sobre a superfície da amostra.
(B)nenhuma poluição durante todo o processo
O produto de limpeza de plasma em si é muito amiga do ambiente que não cause qualquer poluição,e não causa qualquer poluição durante o processo de tratamento.
(C)estável de efeito de processamento
O efeito do tratamento de plasma seco é muito homogénea e estável, e o efeito da manutenção da amostra após um longo período de tempo é bom.
(D)pode lidar com amostras de vários formatos
Complexo de amostras em forma, plasma seco pode encontrar a solução certa.
O plasma de vácuo seco permite a limpeza da posição interna da amostra sólida.
(1,2) o princípio do produto
A estrutura do purificador de plasma é principalmente dividido em cinco componentes principais: sistema de controlo, a excitação do sistema de alimentação, a câmara de vácuo, gás de processamento do sistema e o sistema de bomba de vácuo.
(A)Sistema Cobtrol
A função do sistema de controle para controlar o funcionamento de todo o equipamento, incluindo a interface homem-máquina (tela de toque), PLC, o circuito elétrico. O plasma de vácuo seco com todo o sistema de controlo automático permite vários modos e vários programas para controlar o equipamento de limpeza para atender às necessidades de diferentes clientes.
(B)a excitação do sistema de alimentação:
Existem três tipos principais de alimentação de excitação: 40KHz frequência intermediária a excitação fonte de alimentação, 13.56MHz excitação RF fonte de alimentação e 2.45GHz excitação microondas fonte de alimentação. Actualmente, a indústria utiliza principalmente a excitação de RF fonte de alimentação e frequência intermediária a excitação de fornecimento de energia.para diferentes aplicações.
(C)a câmara de vácuo:
A câmara de vácuo é principalmente dividido em três materiais: 1) As ligas de alumínio, 2) O aço inoxidável a câmara de vácuo, 3) da cavidade de quartzo. Diferentes modos de descarga e diferentes tamanhos de amostra e capacidades podem ser alcançados de acordo com o usuário necessidades diferentes.
(D)Processo do sistema de gás:
Gases de processo incluem medidores de vazão, válvulas pneumáticas... Os usuários podem escolher de forma flexível do processo de múltiplas soluções de gás, árgon, oxigénio e hidrogénio, azoto, carbono tetrafluoride, etc, para atender a diferentes requisitos de processo. Limpe a superfície dos diversos produtos.
(E)bomba de vácuo:
A bomba de vácuo está dividida em uma bomba de óleo, bomba seca e uma bomba de raízes. A bomba de óleo principalmente adopta um de dois estágios de palheta rotativa, bombas e a bomba de vácuo está formulado de acordo com o volume, eficiência do trabalho e requisitos ambientais do usuário.
(2)As especificações técnicas
(2.1)Parâmetros técnicos
| Sistemas de Energia | Personalizar a potência de RF de alimentação:13.56MHz 0-1000W(Ajustável) |
| Fully automatic capacitor de vácuo matcher | |
| Sistema de Vácuo | Custom dois estágios de palheta rotativa(bomba bomba de óleo):90m3/h |
| O medidor de vácuo: Japão Inficon Pirani medidor de vácuo | |
| Linha de vácuo: todos em aço inoxidável linha Alta resistência no fole de vácuo |
|
| Sistema de cavidade (Personalizável) |
Liga de alumínio;material grau militar de soldar 25mm de espessura |
| A cavidade de dimensões interiores:500*500*675mm(W*H*D) | |
| Placa de eletrodos layout:arranjo horizontal extraíveis, | |
| Tabuleiro de trabalho | |
| Camada de espaço número:10 camadas | |
| Sistema de gás | Válvula pneumática:Japão SMC |
| Medidor de fluxo:China SevenStar:, 0-300 SCCM | |
| Dois gases de processo:árgon e oxigénio (Árgon e oxigénio, azoto, hidrogénio, quatro de fluoreto de azoto são opcionais.) |
|
| Sistema de Controle | O PLC:SIEMENS alemã da série S |
| Sete polegadas sensível ao toque: WEINVIEW | |
| Peças Elétricas:Schneider | |
| Outros parâmetros | Dimensões:1010*1715*1120mm(W*H*D) |
| Weight:500kg | |
| Cor:Silver |
A nossa fábrica:
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