| Costumização: | Disponível |
|---|---|
| Serviço pós-venda: | serviço online |
| Garantia: | um ano |
Fornecedores com licênças comerciais verificadas
Introdução ao equipamento
O RJ150 - XK é um forno tubular de difusão/oxidação concebido meticulosamente para aplicações de I&D em empresas, universidades e institutos de investigação. Abrace uma vasta gama de processos transformativos, incluindo:
Depósito de polisilicon e nitreto de silicone
Difusão
Oxidação
Recozimento
Capacidades de processamento versáteis para investigação de materiais pioneira
Controlo preciso da temperatura para garantir resultados impecáveis
Design compacto especificamente otimizado para ambientes de laboratório
Características do produto:
1. Que se adapta perfeitamente a uma multiplicidade de processos, incluindo o polissilicon, o nitreto de silicone, a difusão, a oxidação, o recozimento, e mais além.
2. Emprega um robusto sistema de computador industrial e PLC, que proporciona um controlo totalmente automatizado da temperatura do forno, do movimento da embarcação, do fluxo de gás e das válvulas, facilitando assim toda a automatização de processos.
3. Apresenta uma interface homem-máquina de fácil utilização, permitindo uma modificação simples dos parâmetros de controle de processo com visualização em tempo real de diversos Estados de processo.
4. Fornece vários canais de processo que oferecem uma seleção conveniente de usuário.
5. Integrado com funcionalidades de software poderosas, incluindo ferramentas de auto-diagnóstico para minimizar substancialmente o tempo de manutenção.
6. O ajuste automático da zona de temperatura constante e o controlo em cascata asseguram uma modulação precisa da temperatura do processo no tubo de reacção.
7. Vem com alarmes abrangentes e funções de proteção para temperatura excessiva, quebra de termopar, curtos-circuitos e desvios de fluxo de gás de processo.
8. Opções de personalização disponíveis com base em requisitos específicos do cliente.
Especificações técnicas
| Modelo | KJ150 - XK |
|---|---|
| Temperatura de funcionamento | ≤ 1300ºC |
| Tamanho da placa | 2~8 polegadas (wafers redondas) |
| Número de tubos de processo | 1~2 tubos por unidade |
| Comprimento da zona de temperatura constante | 300 ~ 600 mm |
| Precisão da zona de temperatura constante | ≤ ± 0.5ºC |
| Estabilidade térmica | ≤ ± 0.5ºC/24h |
| Taxa de rampa de temperatura | Taxa de aquecimento máx.: 10ºC/min, taxa de arrefecimento máx.: 5ºC/min |
| Alarmes e proteções de segurança | Temperatura excessiva, quebra do termopar, curto-circuito do termopar e alarmes de desvio do fluxo de gás de processo e funções de proteção |
Especificações técnicas
| Parâmetro | Especificação |
|---|---|
| Comprimento da zona de aquecimento | 400 mm |
| Dimensões do tubo do forno | Diâmetro: 50 mm, comprimento: 900 mm |
| Material do tubo do forno | Tubo de quartzo de elevada pureza com placa de quartzo porosa de 0,2 mm incorporada (personalizável) |
| Temperatura de funcionamento | ≤ 1100 ° C |
| Temperatura máxima | 1200 ° C |
| Sensor de temperatura | Termopar tipo N. |
| Controlo da temperatura | Controlo microcomputador programável PID de 30 segmentos inteligente com auto-sintonização |
| Precisão da temperatura | ± 1 ° C |
| Protecção da temperatura | Proteção contra quebra de temperatura excessiva e termopar |
| Taxa de aquecimento | 0 - 20 ° C/min |
| Elemento de aquecimento | Fio de resistência à liga |
| Tensão de funcionamento | AC220V, monofásico, 50 Hz |
| Potência máxima | 3 KW |
| Material da câmara do forno | Forro de fibra policristalina com excelente isolamento, elevada reflectividade e distribuição uniforme da temperatura |
| Flange | Flange de vácuo em aço inoxidável, fácil de desmontar |
| Sistema de vedação | Vedação de compressão do anel o-ring entre o tubo da fornalha e o flange, reutilizável, alta estanqueidade ao ar |
| Zona de fluidização | 1. O gás de reacção passa uniformemente pela zona de reacção. 2. As partículas sólidas são fluidas por gás na zona de aquecimento. 3. O design de forno Openable permite a fácil remoção do tubo de quartzo e de partículas processadas após as experiências. |
| Nota | O fluxo excessivo de gás pode fazer com que partículas saiam da zona de aquecimento. Ajuste o fluxo de gás de acordo com o tamanho das partículas. |
| Estrutura shell | Revestimento de camada dupla com sistema de refrigeração a ar, design openable |
| Estrutura do forno | Estrutura vertical |
| Parâmetro | Especificação |
|---|---|
| Temperatura interna | ≤ 45ºC |
| Dispositivos de medição e controlo | |
| Nome | Controlador de fluxo de massa (MFC) de canal duplo |
| Canais de gás | 2 canais |
| Controlo de fluxo | Visor digital, cada linha de gás com controlo independente da válvula de agulha |
| Método de ligação | União de virola dupla |
| Medidor de caudal | Medidor do fluxo de massa |
| Intervalo de fluxo | MFC1: SLM N 0-10 MFC2: SLM DE CO 0-10 |
| Mistura de gás | Equipado com uma câmara de mistura de gás de precisão |
| Fonte de alimentação | 220 V, 50 Hz |
| Temperatura ambiente de funcionamento | 5ºC ~ 45ºC |
| Acessórios padrão | Unidade principal × 1, flanges de vedação elevada × 1 par, tubo de quartzo × 1, anéis de vedação × 4, luvas de alta temperatura × 1 par, gancho para cadinhos × 1, chave sextavada para desmontagem da flange × 1, cartão de garantia e conjunto manual × 1 |
Introdução ao equipamento
O sistema de DCV vertical de zona dupla é composto principalmente por:
Um forno de tubo de zona dupla de 1200 ° C.
Um sistema avançado de fornecimento de gás de controlador de fluxo de massa (MFC) de 3 canais
Uma bomba de vácuo de 2 L/s de elevada eficiência com todos os componentes de ligação necessários
O sistema é ainda melhorado com rodízios direccionais e rotativos na base, garantindo uma área de ocupação compacta e mobilidade perfeita.
Concebido habilmente para processos de deposição de vapores químicos (CVD), este sistema altamente sofisticado é ideal para universidades de topo, centros de investigação de ponta e fabricantes industriais líderes na realização de experiências essenciais e produção de alta precisão que envolvam a arte e a ciência da deposição de vapores químicos.
(Nota: Estruturado habilmente para maior clareza, mantendo a precisão técnica e um fluxo de inglês suave e natural.)
Especificações do forno de tubo da cama fluidizado
| Parâmetro | Especificação |
|---|---|
| Temperatura máxima | 1200 ° C |
| Temperatura de funcionamento | ≤ 1100 ° C |
| Visor | Ecrã LCD sensível ao toque |
| Diâmetro do tubo | 40 mm (OD) |
| Material do tubo | Tubo de quartzo de elevada pureza personalizado |
| Comprimento do tubo do forno | Aprox. 1100 mm (personalizável) |
| Elemento de aquecimento | Fio de aquecimento premium |
| Taxa de aquecimento | 0 - 10 ° C/min |
| Controlo da temperatura | - curvas programáveis de tempo-temperatura de 30 segmentos - controlo PID multisegmento do ecrã de toque - Registo de dados com capacidade de exportação Excel - proteção contra temperatura excessiva e falha do termopar |
| Termopar | Termopar tipo N. |
| Método de vedação | Flange de vácuo personalizada em aço inoxidável com vedação |
| Câmara do forno | - revestimento de aço de camada dupla com ventiladores duplos de resfriamento - estrutura vertical aberta de zona dupla para fácil acesso ao tubo - revestimento de fibras refractárias de alumina para eficiência energética |
| Flange de vácuo | Flange de vácuo em aço inoxidável com válvula |
| Tensão de funcionamento | 220 V, 50 Hz |
| Potência nominal | 6 KW (personalizável) |
Sistema de fornecimento de gás: Sistema robusto de controlo do fluxo de massa de 3 canais
| Parâmetro | Especificação |
|---|---|
| Fonte de alimentação | 220 V/50 Hz, saída máxima de 18 W. |
Principais características:
Controlo de ecrã tátil topo de gama com capacidades de gravação de dados abrangentes
Design vertical inovador de zona dupla para uma gestão térmica e eficiência ideais
Sistema de controlo do fluxo de gás totalmente integrado para operações sem problemas
Design de segurança com uma gama de funcionalidades de proteção
Componentes personalizáveis adaptados a necessidades específicas de pesquisa
Nota: As especificações podem ser adaptadas para satisfazer requisitos específicos. Este sistema harmoniza o controlo preciso da temperatura com o fornecimento de gás de ponta para aplicações DCV avançadas.
| Parâmetro | Especificação |
|---|---|
| Pressão máxima | 3 × 10 Pa |
| Canais de gás | Pode ligar em simultâneo 3 fontes de gás a uma pressão ligeiramente positiva |
| Medidor de caudal | Medidor do fluxo de massa (outras gamas opcionais) |
| Canal A intervalo | 1 SLM |
| Gama do canal B. | 1 SLM |
| Gama do canal C. | 1 SLM |
| Pressão da linha de gás | -0,1 ~ 0.15 MPa |
| Precisão | ± 1% F.S. |
| Válvula de corte | Aço inoxidável |
| Tubagem da linha de gás | tubo de aço inoxidável de 1/4 pol |
Componentes do sistema de vácuo
| Componente | Especificação |
|---|---|
| Bomba de vácuo | Bomba de vácuo de 2 L/s com tubo flexível de silicone para uma troca rápida de gás no tubo do forno |
| Manómetro de vácuo | Incluído (configuração padrão) |
Aplicação principal:
Este avançado forno de tubo CVD de pista deslizante de duas zonas possui um sofisticado design deslizante guiado por carris, permitindo um aquecimento e arrefecimento rápidos dos materiais através de movimentos horizontais do forno. Pode ser ligado de forma perfeita a seis fontes de gás, com medição e controlo precisos do fluxo facilitados por um controlador de fluxo de massa (MFC) de ecrã tátil de 6 canais.
Este sistema de DCV de alto desempenho e alta temperatura foi meticulosamente concebido para universidades de prestígio, instituições de investigação líderes e fabricantes industriais proeminentes para realizar experiências cruciais e processos de produção relacionados com a deposição de vapor químico (DCV).
Mecanismo revolucionário de pista deslizante para ciclismo térmico acelerado
Compatibilidade abrangente com vários gases (6 canais independentes)
Controlo de fluxo de precisão incomparável através de uma interface intuitiva MFC com ecrã tátil
Aplicações versáteis perfeitas para investigação e produção em pequenos lotes
| Parâmetro | Especificação |
|---|---|
| Modo de acesso ao forno | Design aberto |
| Movimento do forno | Deslizamento horizontal com guia de calha para aquecimento/arrefecimento rápidos |
| Material da câmara | Fibra refratária de alumina |
| Elemento de aquecimento | Fio de aquecimento com teor de alumínio |
| Temperatura máxima | 1200 ° C |
| Temperatura de funcionamento | ≤ 1100 ° C |
| Taxa de aquecimento | ≤ 20 ° C/min (recomendado: 15 ° C/min) |
| Zonas de aquecimento | Zona dupla |
| Comprimento total da zona | 200 mm |
| Material do tubo | Quartzo de elevada pureza |
| Diâmetro do tubo | 60 mm |
| Método de vedação | - flange de libertação rápida para carregamento de material - flange de vácuo de aço inoxidável com junta de silicone |
| Sistema de controlo | Programação de PID inteligente multisegmentos |
| Sensor de temperatura | Termopar tipo N. |
| Alarmes de segurança | Alarmes de temperatura excessiva e falha de termopar |
| Fonte de alimentação | 220 V, 50 Hz |
Sistema de fornecimento de gás (KJ-6Z)
| Parâmetro | Especificação |
|---|---|
| Temperatura de funcionamento | 5 ~ 45 ° C |
| Pressão máxima | 3 × 10 Pa |
| Canais de gás | 6 entradas de gás independentes |
| Tipo medidor de fluxo | Medidor de fluxo de massa (outras gamas disponíveis ao mesmo custo) |
| Canal A intervalo | 0-300 SCCM |
| Gama do canal B. | 0-300 SCCM |
| Gama do canal C. | 0-300 SCCM |
| Gama do canal D. | 0-300 SCCM |
| Gama do canal E. | 0-300 SCCM |
| Gama do canal F. | 0-300 SCCM |
| Pressão de linha | - 0.1 ~ 0.15 MPa |
| Válvulas | Válvulas de corte de aço inoxidável |
| Tubos | Aço inoxidável |
Sistema de vácuo
| Componente | Especificação |
|---|---|
| Sistema da bomba | Bomba molecular com tubos de ligação |
| Potência | 220 V/50 Hz |
| Mobilidade | Base montada sobre as rodas para um movimento fácil |
| Vácuo máximo | 6.67 × 10³ Pa |
Acessórios padrão
Tubo do forno de quartzo (1)
Conjunto de flange de vácuo de alta qualidade (1)
Principais características:
Mecanismo deslizante exclusivo que permite uma rápida ciclagem térmica
Sistema de controlo de gás de precisão de seis canais para um desempenho ideal
Capacidades de vácuo de nível de investigação para aplicações precisas
Solução completa de chave-na-mão com todos os acessórios essenciais
Construção de grau industrial com extensas protecções de segurança
Rolhas robustas para tubos (2)
Vedantes circulares resistentes
Luvas de proteção (1 par)
Prático gancho para cadinhos (1)
Tubos de PTFE de alta qualidade (3 m)
Chaves hexagonais de precisão (2)
Manual de funcionamento abrangente
Este sistema avançado foi meticulosamente concebido para processos CVD sofisticados, incluindo:
Revestimento em carboneto de silício: Eleve a robustez do seu produto com as nossas soluções de revestimento em carboneto de silício de alta qualidade, meticulosamente concebidas para a máxima durabilidade e desempenho.
Testes de condutividade de substratos cerâmicos: Garanta uma precisão e fiabilidade incomparáveis nos seus substratos cerâmicos com os nossos processos avançados de teste de condutividade.
Crescimento de material 2D: Descubra novos horizontes em tecnologia com as nossas soluções de crescimento de material 2D de ponta, oferecendo flexibilidade e inovação incomparáveis em ciência material.
Crescimento controlado das nanoestruturas ZnO: Alcançar controle superior e precisão no crescimento das nanoestruturas ZnO, alavancando nossas técnicas de última geração para um desempenho aprimorado.
Sinterização atmosférica de condensadores cerâmicos (MLCC): Optimize os seus condensadores cerâmicos com o nosso processo de sinterização por atmosfera, assegurando um desempenho eléctrico e fiabilidade superiores.
Também serve como um componente crítico na sua linha de produção inovadora. Forno de crescimento dedicado para película de grafene: Experimente o auge da produção de grafene com o nosso forno dedicado, otimizado para uma qualidade de película excecional. Para a preparação de grafene. O forno possui um design de base de calha deslizante único e inovador: A nossa base de calha deslizante topo de gama garante uma facilidade e eficiência inigualáveis no seu processo de produção., permitindo movimentos laterais manuais para expor o tubo à temperatura ambiente para uma refrigeração rápida e eficiente: Obtenha velocidades de refrigeração incomparáveis, assegurando que os seus processos são rápidos e fiáveis.
Este equipamento é particularmente adequado para uma variedade de aplicações exigentes, proporcionando resultados excecionais para experiências de CVD que requerem taxas de aquecimento/arrefecimento rápidas: Perfeitamente concebido para satisfazer as exigências rigorosas das suas aplicações de CVD mais exigentes., tornando-o ideal para:
Síntese gráfica de elevada eficiência: Liberte o potencial do grafeno com os nossos processos de síntese de elevada eficiência que proporcionam propriedades materiais superiores.
Outras aplicações CVD que exigem ciclos térmicos rápidos: Equipe seu laboratório com a capacidade de lidar com os processos CVD mais exigentes.
Principais vantagens: A nossa tecnologia de ponta oferece-lhe uma série de vantagens.
Controlo de temperatura de precisão: Obtenha uma precisão perfeita no crescimento de materiais sensíveis com os nossos sistemas avançados de regulação da temperatura. Para o crescimento de materiais sensíveis: Soluções personalizadas que satisfazem as necessidades de desenvolvimento de materiais mais delicadas e precisas.
Mecanismo deslizante exclusivo: Revolucione o seu fluxo de trabalho com o nosso inovador mecanismo deslizante que acelera o processamento como nunca antes. Permite um processamento mais rápido: Maximize a eficiência e a produtividade com as nossas tecnologias de processamento inovadoras.
Aplicações versáteis: Adaptáveis a uma gama de investigação avançada de materiais, os nossos produtos oferecem uma flexibilidade sem precedentes. Através de pesquisa material avançada: Expanda os seus horizontes de investigação com soluções concebidas para facilitar descobertas inovadoras.
Otimizado para processos grafene e DCV em geral: Projetado para excelência em aplicações de nicho e amplo espectro.
Especificações do forno do tubo de trilho deslizante: Especificações detalhadas adaptadas para atender às necessidades de suas operações complexas.
Secção do forno: O nosso forno foi concebido para proporcionar um elevado desempenho e fiabilidade, uma pedra angular das suas operações.
| Parâmetro | Especificação |
|---|---|
| Estrutura do forno | Design de calha deslizante |
| Temperatura máxima | 1200 ° C |
| Temperatura de funcionamento contínua | ≤ 1100 ° C |
| Taxa de aquecimento | Até 20 ° C/min (recomendado: 10 ° C/min) |
| Comprimento da zona de aquecimento | 300 mm (zona única) |
| Elemento de aquecimento | Fio de aquecimento resistente a fases |
| Termopar | Tipo K |
| Precisão da temperatura | ± 1 ° C |
| Opções de diâmetro do tubo | Φ50, Φ60, Φ80 |
| Material do tubo | Quartzo de elevada pureza |
| Controlador de temperatura | Controlo inteligente do programa PID |
| Flange de vácuo | 304 aço inoxidável - flange esquerda: Equipado com válvula de agulha e válvula de esfera - flange direita: Interface KF25 com válvula deflectora |
Fonte de alimentação: Soluções de energia robustas e fiáveis para manter os seus processos a funcionar sem problemas.
| potência de entrada | 220V monofásico, 50Hz, 3KW |: Soluções eficientes de energia projetadas para integração contínua em suas operações.
Sistema de vácuo: Tecnologia de vácuo de ponta que garante um desempenho e precisão ideais.
| Componente | Especificação |
|---|---|
| Bomba de palheta rotativa com manómetro digital | - vácuo máximo: 10³ Torr - vácuo do tubo: 10² Torr - velocidade de bombeamento: 4CFM (2L/s, 120L/min) - Opções: Bomba de palheta rotativa / bomba de difusão / bomba molecular disponível |
Sistema controlador do fluxo de massa: Obtenha um controlo preciso e uma regulação do fluxo de massa para resultados de processos superiores.
| Parâmetro | Especificação |
|---|---|
| Canais | MFC de alta precisão de 3 canais |
| Intervalo de fluxo | MF1-MF3: 50-1000sccm ajustável |
| Comodidades | - câmara de mistura no fundo - 3 válvulas manuais de agulha de aço inoxidável |
Notas importantes: Informações essenciais para o funcionamento seguro e eficaz do seu equipamento.
| Aviso | Descrição |
|---|---|
| Limite de pressão | A pressão do tubo não deve exceder 0,02 MPa |
| Segurança do cilindro de gás | Deve usar o redutor de pressão (0.01 - 0,1 MPa recomendado) |
| Funcionamento a alta temperatura | Acima de 1000 ° C: Manter a pressão atmosférica |
| Limite de fluxo de gás | < 200 SCCM para proteger o tubo de quartzo |
| Limite do tubo de quartzo | Utilização contínua < 1100 ° C |
| Aviso da válvula | Nunca feche ambas as válvulas durante o aquecimento |
Certificações: Nossos produtos são apoiados por padrões e certificações rigorosos, garantindo qualidade e segurança.
| Certificação ISO | Certificação CE |: Confie em nossas soluções certificadas que adiram aos padrões internacionais de segurança e qualidade.
Precauções de segurança: Orientações de segurança essenciais para proteger o pessoal e o equipamento durante o funcionamento.
Não abra a câmara do forno quando a temperatura for ≥ 200 ° C: Precaução crítica para evitar ferimentos e manter a segurança operacional. Para evitar ferimentos pessoais: Proteja o bem-estar do operador com uma rigorosa adesão aos protocolos de segurança.
A pressão do tubo nunca deve exceder 0,02 MPa (pressão absoluta): Diretrizes de pressão essenciais para atenuar o risco de danos ao equipamento. Durante o funcionamento, para evitar danos no equipamento devido a sobrepressão: Proteja o seu investimento com as nossas rigorosas diretrizes operacionais.
Aviso: O não cumprimento destas precauções pode provocar consequências graves. O não cumprimento destas precauções pode resultar em: Resultados adversos se as diretrizes operacionais forem negligenciadas.
Ferimentos pessoais graves: Certifique-se de que está seguro, respeitando todas as precauções recomendadas.
Danos no equipamento: Evite reparações dispendiosas seguindo os nossos protocolos de segurança abrangentes.
Riscos de segurança: Minimize os riscos ao compreender e implementar as nossas medidas de segurança.
Quando a temperatura do forno é > 1000 ° C, o tubo não deve estar sob vácuo: É essencial manter a pressão atmosférica para garantir a segurança. - manter a pressão atmosférica no interior do tubo: Preservar a integridade do equipamento através de uma gestão cuidadosa da pressão.
Evite fechar as válvulas de entrada e saída em simultâneo durante o aquecimento das amostras: Procedimento crítico para evitar a acumulação de pressão. Se as válvulas tiverem de ser fechadas: Diretrizes específicas para uma operação segura durante procedimentos críticos.
Monitorizar continuamente as leituras do manómetro de pressão: Garantir uma vigilância constante para manter a segurança e o desempenho.
Abrir imediatamente a válvula de escape se a pressão absoluta exceder 0,02 MPa: Protocolo de resposta rápida para evitar potenciais perigos.
Evita situações perigosas (ruptura de tubos, ejecção da flange, etc.): Medidas de segurança abrangentes para proteger as suas operações.
Aplicação e funcionalidades do equipamento: Explore as capacidades abrangentes e as funcionalidades inovadoras do nosso equipamento.
Este forno de tubo para CVD de alta temperatura foi projetado para processos de deposição de vapor químico (DCV), incluindo: Personalizado para a excelência em aplicações de DCV.
Revestimento de carboneto de silício (SiC): Obtenha uma durabilidade e um desempenho superiores com as nossas soluções de revestimento de SiC.
Testes de condutividade de substratos cerâmicos: Garantem precisão e confiabilidade em substratos cerâmicos com soluções de teste avançadas.
Crescimento controlado das nanoestruturas ZnO : soluções inovadoras para o desenvolvimento preciso da nanoestrutura ZnO .
Sinterização atmosférica de condensadores cerâmicos (MLCC): Optimizar o desempenho e a fiabilidade dos condensadores cerâmicos com as nossas soluções de sinterização.
Utilizadores primários: Destinados a investigadores, cientistas e engenheiros ansiosos por ultrapassar os limites da ciência material.
Nossos estimados clientes incluem universidades prestigiadas, instituições de pesquisa renomadas e fabricantes industriais líderes que utilizam nosso equipamento de ponta para experimentos relacionados à deposição de vapor e produção de alta qualidade.
Especificações principais:
O nosso robusto tubo de forno de alumina (alo) foi concebido para suportar temperaturas intensas até 1600 ° C, garantindo um desempenho incomparável.
Concebido de forma engenhosa para condições atmosféricas e de vácuo, o nosso forno adapta-se perfeitamente a diversas necessidades experimentais.
Com um elemento de aquecimento Mosi (bissilicida de molibdénio) de elevado desempenho, o nosso forno garante eficiência e fiabilidade.
A câmara do forno está isolada com fibra cerâmica, proporcionando uma uniformidade térmica excepcional e uma eficiência energética excepcional.
Vantagens:
Garantindo uma estabilidade a altas temperaturas com precisão de ± 1 ° C, o nosso equipamento oferece um controlo inigualável.
Experimente um aquecimento e arrefecimento rápidos, juntamente com uma retenção de calor superior, aumentando a eficiência operacional.
O nosso equipamento foi concebido tendo em mente a segurança e a facilidade de utilização, garantindo uma utilização fácil.
É versátil para a investigação pioneira de materiais avançados, expandindo as possibilidades de inovação.
| Parâmetro | Especificação |
|---|---|
| Temperatura máxima | 1700 ° C |
| Temperatura de funcionamento | 1600 ° C |
| Visor | Ecrã LED |
| Diâmetro do tubo | 80 mm (diâmetro exterior) |
| Material do tubo | Tubo de alumina |
| Comprimento da zona de aquecimento | mais de 220 220 mm (com folgas entre zonas) |
| Elemento de aquecimento | Mosi (Dilubicida de molibdénio) |
| Taxa de aquecimento | 0 - 5 ° C/min |
| Controlo da temperatura | - controlo automático da potência PID através de SCR (rectificador controlado por silicone), disparo do ângulo de fase com resistência limitadora de corrente - 30 segmentos programáveis para controle de rampa/imersão - Ajuste automático PID integrado com proteção contra sobreaquecimento e falha do termopar - alarme de temperatura excessiva permite uma operação sem supervisão |
| Termopares | 3 termopares de controle (um por zona, tubo externo) e 1 termopar de monitoração (tubo interno) |
| Precisão da temperatura | ± 1 ° C |
| Estrutura do forno | - revestimento de aço de camada dupla com ventiladores duplos de resfriamento (Temperatura da superfície < 60 ° C) - concepção fixa de fornos não opEnable |
| Flange de vácuo | Flange de vácuo em aço inoxidável com válvula |
| Tensão de funcionamento | 220 V 50 Hz |
| Potência máxima | 6 kW |
Sistema de fornecimento de gás
| Componente | Especificação |
|---|---|
| Controladores de fluxo de massa de 4 canais | - MFC1: 0 - 100sccm - MFC2: 0-200sccm - MFC3: 0 - 500sccm - MFC4: 0-200sccm |
| Mistura de gás | - câmara de mistura montada na base com válvula de libertação de líquido - 4 válvulas manuais de agulha de aço inoxidável para controlo de gás |
Sistema de vácuo
| Componente | Especificação |
|---|---|
| Indicador da bomba de vácuo | A bomba de palhetas rotativas atinge um vácuo de 10 Pa (estado arrefecido) |
Principais características:
Com capacidade de temperatura ultra elevada de 1700 ° C com elementos de aquecimento Mosi, proporciona resultados excecionais.
Equipado com controlo de temperatura de precisão multizona, garantindo uma precisão de ± 1 ° C, proporciona um controlo ideal sobre os processos.
Os perfis térmicos programáveis de 30 segmentos permitem uma gestão detalhada da temperatura, melhorando a flexibilidade experimental.
Com um sistema completo de mistura de gás com controladores de fluxo de massa (CMF) de 4 canais, garante um fornecimento preciso de gás.
O desempenho de vácuo de nível industrial garante um funcionamento fiável e eficiente em ambientes exigentes.
Precauções de segurança:
Nunca abra a câmara do forno quando a temperatura for ≥ 200 ° C para evitar potenciais ferimentos pessoais.
Certifique-se de que a pressão do tubo nunca excede 0,02 MPa (pressão absoluta) durante o funcionamento para evitar potenciais danos no equipamento devido a sobrepressão.
Aviso: O não cumprimento destas precauções pode resultar em:
Ferimentos pessoais graves
Danos significativos no equipamento
Perigos de segurança
Quando a temperatura do forno exceder os 1000 ° C, evite condições de vácuo no tubo - mantenha a pressão atmosférica no interior para garantir a segurança.
Evite fechar simultaneamente as válvulas de entrada e saída durante o aquecimento das amostras. Se for necessário fechar as válvulas:
Monitorize continuamente as leituras do manómetro de pressão quanto a quaisquer irregularidades
Abra imediatamente a válvula de escape se a pressão absoluta ultrapassar 0,02 MPa
Esta medida de segurança evita situações perigosas, como ruptura de tubos ou ejecção da flange.
Descrição do equipamento
Este sofisticado sistema integra:
Um sistema de controlo de fluxo de gás de última geração
Um sistema eficiente de injecção de líquido
Zonas de crescimento com controlo de temperatura em vários estágios para um processamento ideal
Um sistema de refrigeração a água fiável para melhorar o desempenho e a segurança
Especificações do forno de crescimento CNT:
Com uma temperatura máxima de funcionamento de: 1400 ° C, continuamente ajustável de 0 a 1400 ° C, oferece flexibilidade e precisão.
A distribuição vertical do campo térmico, combinada com o controlo da temperatura de zona dupla, proporciona uma gestão térmica precisa.
A porta de injeção de líquido montada na parte superior, equipada com componentes de guia de fluxo, garante um fornecimento preciso.
Este equipamento CNT/CVD de película fina facilita:
Processos de crescimento contínuo e ininterrupto para maior produtividade
Gestão térmica precisa para síntese de nanoestrutura controlada e fiável integrada fornecimento de fase líquida/gasosa para processos complexos de deposição de materiais
garantir resultados superiores na criação avançada de materiais.
Componentes para a síntese de nanotubos de carbono (CNT)
Especificações técnicas - Guia abrangente para o nanotube de carbono/Nanowire CVD Forno de crescimento
| Parâmetro | Especificação |
|---|---|
| Nome do equipamento | Forno de crescimento para nanotube/Nanowire CVD de carbono |
| Modelo | KJ-T1400V |
| Estrutura do forno | Revestimento de camada dupla com sistema de arrefecimento por ar (temperatura da superfície < 60 ° C), parede interior revestida com revestimento de alumina importado para elevada refletividade e limpeza |
| Potência máxima | 20 KW |
| Tensão | CA 220V monofásico, 50/60Hz |
| Elemento de aquecimento | Varetas de carboneto de silício (SiC) |
| Temperatura máxima de funcionamento | 1400 ° C |
| Temperatura de trabalho contínua | Ajustável entre 100 - 1400 ° C |
| Taxa de aquecimento | 1-10 ° C/min |
| Material e dimensões do tubo do forno | Tubo de alumina: De 80 mm × comprimento 1500 mm |
| Comprimento da zona de aquecimento | 700 mm e 400 mm |
| Comprimento da zona de temperatura uniforme | 800 mm ( ± 1 ° C) |
| Termopar | TERMOPAR SEI para medição e controlo da temperatura |
| Sistema de controlo da temperatura | Controlo programável PID de 30 segmentos |
| Precisão da temperatura | ± 1 ° C |
Flange de aço inoxidável
Este sistema possui um conjunto de flange de vácuo em aço inoxidável, com válvulas de agulha precisas em aço inoxidável e um manómetro mecânico de pressão. A robusta flange blindada inclui extensões de termopar que conduzem à entrada, garantindo uma monitorização precisa da temperatura.
Principais características:
Utiliza um tubo de alumina de elevada pureza, garantindo um crescimento sem contaminação.
Oferece um controlo preciso da temperatura com uma precisão de ± 1 ° C excecional numa zona uniforme de 800 mm.
Nota: Todas as especificações estão sujeitas a uma verificação técnica rigorosa, meticulosamente concebida para a síntese nanomaterial de ponta em condições atmosféricas controladas.
Incorpora elementos de aquecimento robustos de SiC, facilitando operações a temperaturas ultra elevadas.
Proporciona uma interface de gás/vácuo abrangente, completa com capacidades de medição precisas.
Introdução ao equipamento
O Ecrã Táctil LCD CVD para fornos de alta temperatura é um forno de tubo topo de gama especialmente concebido para processos de deposição de vapores químicos (CVD), com:
Uma sofisticada estrutura de revestimento de camada dupla integrada com um sistema avançado de arrefecimento do ar, garantindo que a temperatura da superfície permanece abaixo dos 55 ° C.
Sistema de controlo inteligente da temperatura programável PID de 30 segmentos com tecnologia de disparo de ângulo de fase de precisão para um aquecimento meticuloso e preciso.
Revestimento de câmara de fibra policristalina para um isolamento térmico excepcional e uma distribuição uniforme e notável da temperatura.
Aplicações:
Processos de revestimento otimizados de carboneto de silício (SiC)
Testes de condutividade e análise de substratos cerâmicos
Crescimento de precisão controlado das nanoestruturas ZnO
Processos de sinterização atmosférica para condensadores cerâmicos, especificamente MLCCs
Principais vantagens:
Interface de ecrã tátil intuitiva e fácil de utilizar
Design térmico de ponta com eficiência energética
Proporciona uniformidade térmica de grau de investigação
Capacidades versáteis para aplicações avançadas de processamento de material
Operação totalmente automatizada com recursos para operação sem supervisão
Especificações do forno de alta temperatura
| Parâmetro | Especificação |
|---|---|
| Estrutura do forno | Revestimento de camada dupla com sistema de arrefecimento por ar (temperatura da superfície < 55 ° C), parede interior revestida com revestimento de alumina importado para uma melhor refletividade e limpeza |
| Potência máxima | 5 KW |
| Tensão | CA 220 V monofásico, 50 Hz |
| Elemento de aquecimento | Liga de Fe-Cr-Al dopada (superfície revestida de alumina para uma vida útil prolongada) |
| Temperatura máxima de funcionamento | 1200 ° C |
| Temperatura de trabalho contínua | 1100 ° C |
| Taxa de aquecimento | 1-10 ° C/min |
| Material e dimensões do tubo do forno | Tubo de quartzo: De 80 mm × comprimento 1000 mm |
| Comprimento da zona de aquecimento | Total de 440 mm |
| Comprimento da zona de temperatura uniforme | 150 mm ( ± 1 ° C) |
| Interface de controlo | Ecrã LCD sensível ao toque |
| Termopar | Termopar tipo N, 3 termopares calibrados com display em tempo real na tela da fornalha |
| Controlo da temperatura | Controlo programável PID de 30 segmentos |
| Precisão da temperatura | ± 1 ° C |
| Sistema de vedação a vácuo | Duas flanges de vácuo em aço inoxidável (pré-instalado com manómetro de vácuo e válvula de corte) |
| Sistema de vácuo elevado | - Painel de controlo para a monitorização da velocidade da bomba molecular/nível de vácuo - bomba molecular turbo e bomba de passagem a seco - todas as ligações padrão KF-25 entre bombas e tubo de quartzo |
| Nível de vácuo | 6.7 × 10³ Pa (câmara vazia, temperatura ambiente) |
| Sistema de fornecimento de gás | Três controladores de fluxo de massa com gamas: • Canal 1: 1-100 sccm • Canal 2: 1-200 sccm • Canal 3: 1-500 sccm |
Principais características:
Câmara ultra limpa, revestida de alumina, concebida para processos sensíveis à contaminação
Sistema de monitorização da temperatura de precisão de 3 zonas com uma precisão notável de ( ± 1 ° C)
Capacidade de vácuo de grau de investigação capaz de atingir pressões tão baixas quanto 10³ Pa
Sistema de controlo de fluxo de gás completo e preciso com canais MFC (Mass Flow Controller) triplos
Componentes de nível industrial concebidos para uma maior durabilidade e fiabilidade
