Lab 6 kw Microondas deposição de vapores químicos Mpcvd Plasma Máquina de Diamante

• After-sales Service: 24 Hours After Sales Service
• Warranty: 1 Year
• Aplicação: Indústria, Lab
• personalizado: personalizado
• Certificação: CE, ISO
• Estrutura: Área de Trabalho
• N ° de Modelo.: ACME-MW1070
• Material: Liga
• Digitar: Mpcvd
• vácuo: controlo automático
• modo de arrefecimento: refrigeração de ar da câmara e refrigeração de água
• sistema operativo: controlo plc, controlo de ecrã táctil de 15 polegadas
• microondas e fonte de alimentação: equipado com fonte de alimentação de microondas doméstica de 10 kw
• gás de processo: h2 (1000 sccm) ch4 (50 sccm) n2 (10 sccm) o2 (10 sccm)
• bomba de vácuo: bomba de óleo
• Pacote de Transporte: Wooden Box
• Especificação: 6kw/10kw/15kw
• Marca Registrada: ACME
• Origem: China
• Código HS: 8486202100
• Capacidade de Produção: 50PCS/Month

Descrição de Produto

Jinan ACME MW1070 máquina MPCVD
O vácuo	Medição de vácuo	Medidor piezorresistivos 0.1-100kpa medidor de capacitância 0-1000Pa
	Pressão operacional	4-28Kpa
	Vazamento de vácuo rate	≤ 5 * 10-9Pa.M3/S (ele detecção de fuga)
	Controle de Pressão	Auto-Control
	Material da cavidade	Liga de alumínio panela de excitação, quartzo a câmara de vácuo
	Janela de observação	Medição da temperatura do orifício com diâmetro de 10mm e a janela de observação do orifício poroso
O modo de arrefecimento	O modo de arrefecimento	A refrigeração a água+câmara de refrigeração de ar
	Exemplo de tabela size	Fase de molibdénio Φ 70mm, área uniforme Φ 50mm
	Medição de Temperatura	Termómetro de infravermelhos, faixa 300-1400 ºC
	Refrigeração do fluxo de água	>50L/min
	Resfriamento da temperatura da água	20-22ºC
	Água de refrigeração interface	1 polegadas de fio externo interface
Sistema operacional	Sistema operacional	Comando PLC, 15 polegadas controlo táctil
	Menu de processo	Processo 10 menus, 25 linhas para cada
Micro-ondas e fonte de alimentação	Frequência de microondas	2,45±0.1GHz
	Potência de saída	1,5-7,5Kw (equipado com 10kw microondas doméstico fonte de alimentação)
	Potência de entrada a electricidade	380 AC/50Hz, três fase cinco fios (3 * 10+2 * 6 linha de alimentação),>15KW
	Micro-ondas a taxa de vazamento	Micro-ondas a taxa de vazamento de 5 cm de distância do equipamento ≤ 5 MW/cm2
Gás de processo	O fluxômetro e interface	H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10SCCM) O2 (10SCCM) 1/4 "Videocassete fêmea de ar comprimido 8 mm do tubo Pu vela rápida
		O debitómetro pode alterar o tipo de gás utilizado através do software
	Suprimento de ar de pressão	0,3-0.35MPa
	Pressão de ar comprimido	0,5-0,6MPa
Bomba de Vácuo	Palheta rotativa da bomba de vácuo	Bomba de Óleo
	Velocidade de bombagem	4L/S
	Fonte de alimentação	Ac 380V(±10%)
	Interface	Extracção de ar KF25, escape de ar KF25
Ambiente operacional	A temperatura ambiente e umidade	A temperatura ambiente é inferior a 26 ° C e a humidade relativa é inferior a 40%
Dimensões gerais do equipamento	Size	1250(L)×800(W)×2100(H)mm
A aparência do equipamento
Aceitação de equipamentos condições:	1. A instalação do equipamento: Após a instalação do equipamento está concluída, parte A e Parte B devem realizar no local, comissionamento e parte B os técnicos da procederá a operação do equipamento, segurança e formação de manutenção para a pessoa encarregada da parte A.
	2. Teste do Sistema: O sistema pode ser ligado e a funcionar normalmente e desanexadas fireball é estável sem pular.
	3.  Vazamento de micro-ondas: a fuga de microondas é de menos de 5 mW/cm2 (a potência de saída da fonte de microondas é mais do que 80%, 10cm de distância do equipamento)