Máquina de litografia por passos

• Origem: China
• N ° de Modelo.: LSLM-500

Descrição de Produto

 Características do produto    
  Alta   precisão;
   Computador de secretária, de tamanho pequeno   , incorporado
   Hardware e    software personalizáveis  para  atender   às necessidades do setor;  
A elasticidade  é adequada   para várias bases  e formas;

 Introdução ao produto
A    máquina de litografia em etapas LSLM-500   é  um  dispositivo  usado   para fazer   circuitos integrados  (ics)   , que podem formar milhões  de     componentes microscópicos de circuitos na     superfície   de silício minúsculo   
wafers, uma   parte importante   de um   processo complexo.
Utilização principal : A litografia por passos  pode ser utilizada  para reduzir   a escala  do   padrão da máscara  na    superfície do substrato   a ser  Exposto.  Pode  ser  amplamente  utilizado    no desenvolvimento  e  produção  de            circuitos integrados de pequena e média dimensão,  componentes semicondutores   e   superfície
caoin(u)ss(t)ipec(c w)aifivca(e)tdio(e)n(v)s(i): (c)e(.)  o  padrão de máscara  pode   ser reduzido   em 5  vezes  na   mesma  proporção  para
Exposição;  largura mínima da linha: 500 nm; pode   cooperar com     uma variedade     de modelos   de       resistência à luz positiva e negativa.
      Materiais de espoliação: Metais      Al, Cu, Gr, Co, Fe, Ni, PT, AG, TI, Ta; Liga      NiFe, CoFe, CoFeB,
NiMn, FeMn, TbFCO; óxidos      MgO, etc.
Aplicações:             Circuitos integrados de pequena e média dimensão;    componentes semicondutores;  desenvolvimento  e  produção      de dispositivos de onda acústica superficial;
Parâmetro de especificação    

 

Projeto	conteúdo
Tamanho do chip	Quatro polegadas, seis  polegadas, oito  polegadas, doze  polegadas
Fonte de luz de exposição	LED UV
Comprimento de onda da fonte de luz  utilizado	365  nm
Resolvendo o poder	foram   desenvolvidos sucessivamente 500 nm, 400 nm e 300 nm
Precisão da focagem	150  nm
Multiplicador de escala	1:5
Modo de exposição	Projeção de passo
Uniformidade do tamanho da característica  (CDU)	± 10%
Dimensões	170  cm * 130  cm * 180  cm