Tipo: | debitómetro mássico de gás |
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Medindo Médio: | Gás |
Tipo de saída de sinal: | Tipo analógico |
Processo De Produção: | Integração |
Material: | Aço Inoxidável |
Precisão Grau: | 1,0G |
Fornecedores com licênças comerciais verificadas
O controlador de fluxo de massa FMM501 é utilizado para a medição e controlo precisos do fluxo de massa de gás. Desempenham um papel importante na investigação científica e na produção nos domínios da indústria de semicondutores e circuitos integrados, dos materiais especiais, da indústria química, da indústria, da medicina, protecção ambiental e lâmpadas de vácuo. As aplicações típicas incluem: Equipamento de processo electrónico, como difusão, epíaxia, CVD, oxidação, etching plasma, sputtering, implante de iônico; e equipamento de revestimento, derretimento de fibra óptica, Dispositivo de microreacção, sistema de distribuição de gás misto, cromatógrafo de fase gasosa para medição capilar e outros instrumentos analíticos.
Indicadores técnicos
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MFC
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MFM
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Alcance
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2SCCM-300SLM
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Precisão
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± 1% F.S
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Temperatura ± 1ºC
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Linear
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± 0.5% F. SºC
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Repetibilidade
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0.2% F. SºC
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Tempo de resposta
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< 2 s.
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< 1 s.
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Analógico
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0-5v/4-20 mA
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Comunicação
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RS485 Modbus RTU
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Fonte de alimentação
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± 15 V/24 V.
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Temperatura de trabalho
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0 - 50ºC
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Pressão diferencial
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DP: 0.05 - 1,0MPa
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Prima Drop: < 30Kpa
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Pressão máxima
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3 Mpa/10 Mpa
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Ligação eléctrica
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DB15
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Taxa de fuga
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1 × 10-8 SCCSHe
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Temp C.F
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± 0.015% F. S/ºC
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Material de base
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316 SST
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Vedação
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PTFE/CR/NBR
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Encaixe
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1 / 4" 3 / 8" 6 mm 10 mm
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O SENTEC concentra-se nas soluções para a tecnologia de detecção.
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