1200c Single-Zone Plasma-Enhanced Rotativo Químicas de deposição de vapores R-Forno Pecvd

• Aplicação: Indústria, Escola, Lab
• personalizado: personalizado
• Certificação: CE
• Estrutura: Área de Trabalho
• Material: Aço inoxidável
• Digitar: tubular Furnace
• N ° de Modelo.: CY-OTF-1200X-I-PEC4
• método de arrefecimento da fonte de alimentação de rf: arrefecimento por ar
• zona de aquecimento: zona de aquecimento simples, 200 mm
• precisão da temperatura: 1 seg
• material do tubo do forno: quartzo de elevada pureza
• tamanho do tubo do forno: diâm. 50 * 800 mm
• velocidade ajustável: 0 - 20 rpm
• Pacote de Transporte: Standard Export Wooden Packaging
• Marca Registrada: CYKY
• Origem: Zhengzhou Henan China
• Código HS: 8401200000
• Capacidade de Produção: 200 Sets Per Month

Descrição de Produto

1200C úNica zona de plasma rotativo-Enhanced Chemical deposiçãO de vapores R-forno PECVD  

Este equipamento éUma televisãO plasma enhanced girando graphene sistema de preparaçãO.O equipamento éConstituíDo por uma rotaçãO e mecanismo de inclinaçãO, uma úNica zona de aquecimento do forno de tubo, um gerador de plasma, um debitóMetro máSsico de gases com sistema de entrega e um váCuo de alta massa molecular da unidade da bomba.Em comparaçãO com outros graphene equipamento de preparaçãO, este equipamento pode proporcionar uma maior depressãO do fundo, o que pode melhorar a qualidade do produto;Que ele pode usar a rotaçãO e o mecanismo de inclinaçãO para atingir uma produçãO contíNua e pode tornar a superfíCie da amostra de partíCulas produtos crescer de maneira uniforme;O gerador de plasma pode reduzir significativamente a temperatura de reaçãO e melhorar a eficiêNcia da reaçãO.

 

Os parâMetros téCnicos do forno PECVD:

ÚNica Zona de Aquecimento do forno de tubo	O modelo do produto	CY-S-1200-100
	Forno de material do tubo	Pureza elevada quartz
	DiâMetro do tubo	100mm
	Forno de comprimento do tubo	1500mm
	CâMara do forno de comprimento	440mm
	Zona de Aquecimento do comprimento	400mm
	Temperatura constante cabeçA de fuso horáRio	200mm
	A temperatura de operaçãO	0~1100ºC
	Controle de temperatura de precisãO	±1ºC
	Controle de temperatura mode	30 ou 50 programa de segmento de controle de temperatura
	Modo de exibiçãO	Full HD LCD a cores de tela de toque
	MéTodo de vedaçãO	304 açO inoxidáVel flange de váCuo
	Fonte de alimentaçãO	AC:220V 50/60 Hz
SaíDa de RF system	Faixa de Energia	0~500W ajustáVel
	FrequêNcia de trabalho	13.56MHz+0.005%
	Modo de Trabalho	SaíDa contíNua
	Equivalenciado modo de impedâNcia	Ele pode ser correspondidas e a vela éDistribuíDo uniformemente ao longo do tubo da fornalha
	Estabilidade de potêNcia	≤2 W
	CondiçõEs de trabalho normais Reflected power	≤3 W
	Amplificado Reflected power	≤70W
	Componente de harmôNicos	≤-50dBc
	A eficiêNcia global	≥70%
	Fator de PotêNcia	≥90%
	TensãO de alimentaçãO/frequêNcia	MonofáSicos AC (187V~153V) frequêNcia 50/60Hz
	Modo de controlo	Controle interno/PLC Quantidade analóGico/RS232/485 comunicaçãO
	Fonte de parâMetros de protecçãO	DC sobre a proteçãO atual, amplificador de potêNcia protecçãO contra temperatura excessiva, refletiu a proteçãO de energia
	O méTodo de refrigeraçãO	RefrigeraçãO por ar forçAdo
	Zona da Vela Aquecedora	Sob AR, a freqüêNcia de ráDio fonte de alimentaçãO e a bobina cooperar com as velas aquecedoras para encher o tubo da fornalha
O gáS do sistema de entrega	O FluxôMetro	Quatro canais debitóMetro de massa
	Faixa de fluxo	MFC1 faixa:0~200SCCM MFC2 faixa:0~200SCCM MFC3 faixa:0~500SCCM MFC4 faixa:0~500SCCM Correspondendo a gases H2, CH4, N2, RA.
	A precisãO da mediçãO	±1,5%F.S
	Repetibilidade	±0,2%FS
	PrecisãO linear	±1%F.S.
	Tempo de resposta	≤4s
	PressãO de trabalho	-0.15Mpa~0,15 Mpa
	Controle de Fluxo	EcrãTáCtil LCD controle, display digital, cada canal gáS contiver a váLvula de agulha para controlar individualmente.
	Interface de Entrada	Ele pode ser conectado com 1/4NPS ou 6mm de diâMetro externo do tubo de inox
	Interface de saíDa	Ele pode ser conectado com 1/4NPS ou 6mm de diâMetro externo do tubo de inox
	MéTodo de ligaçãO	Casquilho duplo connector
	A temperatura de operaçãO	5~45ºC
	Pré-mistura de gáS	Equipado com dispositivo de mistura
Sistema de Escape	O modelo do produto	CY-GZK103-A
	Bomba molecular	Bomba Turbomolecular
	Bomba de backup	Dois estáGios bomba de palheta rotativa
	Taxa de bombeamento	Bomba molecular:600L/S	Bombeamento abrangente desempenho:30 minutos depressãO pode chegar a 5×10E-3Pa
		Bomba de palheta rotativa:1.1L/S
	Limite de váCuo	5×10E-4Pa
	Porta de bombeamento	KF40
	Interface de escape	KF16
	MediçãO de váCuo	Alimentos compostos medidor de váCuo
Girando e o dispositivo de inclinaçãO	Faixa de Velocidade	0-20 rpm
	ÂNgulo de inclinaçãO	0-15°
	AlimentaçãO de Material e sistema receptor	AlimentaçãO AutomáTica, coleta automáTica depois de ter deslocado

Fotos do forno PECVD:








Fundada em 2005, Zhengzhou CY instrumento cientíFico Co, Ltd éUma empresa especializada no desenvolvimento e produçãO de tecnologia de laboratóRio do equipamento de investigaçãO.Os produtos sãO misturados, pressionado, queimados, corte, terra, polidas, revestidos, aparelhos de anáLise e dos respectivos ingredientes.Os produtos incluem a sinterizaçãO de laboratóRio, material de revestimento e assim por diante.Actualmente, tem sido exportado para 25 paíSes e regiõEs como os Estados Unidos, Europa e ÁSia, e foi bem recebida pelos váRios domíNios cientíFicos de unidades de investigaçãO.

Temos uma tecnologia madura da investigaçãO e da equipe de desenvolvimento, o núMero de téCnicos é33, a empresa tem 150 pessoas, mais de 500 metros quadrados de espaçO de escritóRio, a fáBrica abrange uma áRea de cerca de 1.500 metros quadrados localizada em Zhengzhou high-tech electróNica da zona do Parque Industrial.Os produtos estãO localizadas principalmente no mercado de investigaçãO que serve a investigaçãO cientíFica nos laboratóRios de universidades e coléGios, e tambéM pode personalizar produtos de acordo com as suas necessidades.





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