5L de alta pureza Câmara de quartzo de limpeza de Plasma para a superfície de wafers seco

• Personalizado: Personalizado
• Estrutura: Área de Trabalho
• Material: Aço inoxidável
• Certificação: CE, Cleaning Type
• Aplicação: Escola, Hospital, Lab
• Tipo: Cleaning Type
• N ° de Modelo.: CY-P5L-500W
• material da câmara: quartzo de elevada pureza
• tamanho da câmara: diâmetro 200 mm; comprimento 170 mm
• conector rf: conector do tipo n.
• método de arrefecimento: arrefecimento por ar forçado
• fonte de alimentação: AC220V 50/60Hz
• potência total: 1000 w / 1500 w.
• peso total: 80 kg (incluindo embalagem)
• Pacote de Transporte: Wooden Box
• Especificação: 5L
• Marca Registrada: CYKY
• Origem: Zhengzhou, China
• Código HS: 8486204100
• Capacidade de Produção: 200 Sets Per Month

Descrição de Produto

5L de alta pureza câmara de quartzo de limpeza de plasma para a superfície de wafers seco

descrição do Produto:
5L limpador de plasma  É compacto e não destrutivos do dispositivo de limpeza. O plasma utilizações do purificador de ar de baixa pressão para excitar plasma como um meio de limpeza, assim efectivamente secundário para evitar a poluição causada pela limpeza líquido médio para o objeto a ser limpo.   O dispositivo está equipado com uma mecânica da bomba de vácuo, enquanto aspira mantiver a depressão da câmara, os poluentes após a reação de plasma também podem ser bombeado pela bomba de vácuo; Portanto, o curto tempo seco pode limpar completamente a poluentes orgânicos persistentes.

Para além da função de limpeza, este pequeno limpador de plasma pode alterar as propriedades de superfície de alguns materiais de acordo com as necessidades sob certas condições. Durante o processo de limpeza, a descarga da vela aquecedora do pequeno limpador de plasma não só melhora a aderência, compatibilidade e molhabilidade destes materiais, mas também procedimento desinfeta e esteriliza os materiais.


Aplicações:
Pequenas limpadores de plasma são amplamente utilizados nos domínios da óptica, optoelectrónica, electrónica, ciência de materiais, ciências da vida, ciências de polímero, biomedicina e microfluidics.

Os parâmetros técnicos:

Componentes principais	O ponto	Parâmetros
Limpar a câmara	Material da caixa	Pureza elevada quartz
	O tamanho da câmara	Diâmetro 200 mm; Comprimento 170 mm
A potência de RF de alimentação	A fonte de alimentação apresenta	A fonte de alimentação é uma unidade de estado sólido a potência de RF de alimentação e adopta uma alta estabilidade e alta confiabilidade, amplificador de potência módulo e um módulo de DC, que efetivamente assegura a potência de saída RF da fonte de alimentação. Alta qualidade de componentes eletrônicos são usados para garantir a confiabilidade dos produtos.
	Vantagem de energia	Tempo de operação normal Simples e um funcionamento flexível Potência de alta eficiência de alimentação e baixa geração de calor Com o reflexo perfeito de função de protecção
	A potência de RF	0~500W ajustável continuamente/0~1000W continuamente regulável
	A frequência do sinal	13.56MHz  ±0, 005%
	Potência Refletida	≤200W
	Estabilidade de potência	±0, 1%
	Conector de RF	N conector tipo
	Eficiência da Máquina	≥75%
	Componente de harmônicos	≤-50 dBc
	O método de refrigeração	Refrigeração por ar forçado
Medição de gás	Unidade de medição	Debitómetro de flutuação
	Canal de gás	Dois canais
	Uma gama de canais	10~100ml
	B gama de canais	16~160ml
O vácuo	Medição de vácuo	Manómetro de vácuo digital (medidor de resistência)
	Bomba de Vácuo	Dois estágios de palheta rotativa da bomba de vácuo
	A velocidade do motor	50 Hz: 1440; 60 Hz: 1720
	Taxa de bombeamento	50 Hz: 1.1L/s; 60 Hz: 1.3L/s
	Gama de vácuo	0.1Pa~10000Pa
	Limite de vácuo	0.5Pa
	Ruído do motor	≤56dB
	Interface do tubo	Entrada de gases: KF16; Porta de escape KF16.
	Tubo de ligação	KF16 foles de vácuo
	A válvula de vácuo	Válvula Solenóide
	Potência do Motor	400W
Outros	Fonte de alimentação	AC220V 50/60 Hz
	Potência total	1000w/1500W
	A temperatura de operação	-10ºC a 40ºC
	O vácuo de trabalho	≤40PA
	Dimensão global	600 mm×650 mm×730mm
	Peso Total	80kg (incluindo a embalagem)

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