O controle do computador laser pulsado deposição de pulverizaça ̃ o filme sistema de preparação
Breve introdução de Personalizável laser pulsado deposição de pulverizaça ̃ o sistema:
O laser pulsado sistema de deposição, abreviado como sistema de PLD, este sistema é constituído por duas partes: Excimer laser e revestimento de vácuo; Câmara de vácuo câmara revestimento consiste de uma pulverização catódica câmara de vácuo, um alvo rotativa fase, um substrato de oxidação fase de aquecimento, um caminho de gás, o gás do sistema de extração, instalação a mesa da máquina, medição de vácuo e elétrico do sistema de controle.
Composição do equipamento de Laser pulsado deposição de pulverizaça ̃ o sistema:
1. O Laser
Com base no LightMachinery mais vendido da série IPEX industrial do grau de lasers Excimer, o laser é otimizado para aplicativos de PLD; A série IPEX lasers Excimer apresentam excelente desempenho, durabilidade, confiabilidade e fácil integração de desempenho para responder às necessidades dos investigadores e os integradores de sistema no domínio do laser pulsado (PLD).
1) Vantagens do Laser
(1) GasMiser-1000 opção funciona com a tecnologia do ícone para estender a vida útil de gás e reduzir os custos operacionais
(2) local excelente uniformidade e estabilidade de energia entre os pulsos e curta a largura de pulso
(3) Energia permanece constante em todas as freqüências de repetição
(4) O EasyClean fecho automáticos e função mantém cheio de gás e reduz o tempo de inatividade de manutenção
(5) Extremamente estáveis de montagem óptica de farol excelente precisão de apontador
(6) feixe personalizável sistema de entrega para se adequar PLD específicas necessidades de aplicação
2) PLD desempenho estável
Pulso constante de energia: IPEX-740 / 760 series lasers Excimer combinando o ícone e GasMiser-1000 tecnologias têm uma dinâmica e estática a vida de gás após uma única troca gasosa. A partir do único para o máximo de frequência de repetição, a energia do pulso é constante em todas as freqüências de repetição. Este método garante que o processo de PLD parâmetros não mudou com a mudança do laser do tempo de trabalho e a freqüência de repetição.
Pulso constante estabilidade: O avançado monitoramento de energia método é usado para ajustar o pulso de energia, que pode ajustar com precisão a tensão de descarga e a mistura de gás, e manter uma constante da energia de saída sob todas as condições de trabalho (incluindo o modo Burst). Pulse-para-pulse a estabilidade é melhor do que 1%.
Uma constante apontando estabilidade: Alta estabilidade óptica núcleo suporte, fornecendo apontando estabilidade superior a 200μrad, garantindo que nenhuma recalibração é necessária após o reparo de óptica.
Feixe constante qualidade: A intensidade do feixe de distribuição da IPEX-740 / 760 series lasers é projetado para ter uma borda afiada e uma superfície superior plana, especialmente tem mínima alteração na vida activa da câmara de laser.
3) Especificações de Laser
| Comprimento de onda(nm) |
193 (IRA) |
248 (KrF) |
308(XeCl) |
| A estabilização da energia do pulso(mJ) em todas as taxas de repetição |
IPEX-740 Series |
150 |
400 |
250 |
| IPEX-760 Series |
200 |
600 |
500 |
| O máximo de energia do pulso(mJ) em baixas taxas de repetição |
IPEX-740 Series |
230 |
450 |
300 |
| IPEX-760 Series |
250 |
700 |
600 |
| Estabilize a energia média(W) |
IPEX-746 |
15 |
40 |
25 |
| IPEX-744 |
6.0 |
20 |
12 |
| IPEX-742 |
3.0 |
10 |
6.0 |
| IPEX-766 |
10 |
30 |
25 |
| IPEX-764 |
5.0 |
18 |
10 |
| IPEX-762 |
2.5 |
9.0 |
5.0 |
| O máximo de taxa de repetição (PPS) |
IPEX-746 |
100 |
100 |
100 |
| IPEX-744 |
40 |
50 |
50 |
| IPEX-742 |
20 |
25 |
25 |
| IPEX-766 |
40 |
50 |
40 |
| IPEX-764 |
25 |
30 |
20 |
| IPEX-762 |
12 |
15 |
10 |
Duração do pulso(ns)
(FWHM, nominal) |
IPEX-740/760 Series |
12 - 20 |
Dimensões do feixe(mm)
(V × H, nominal) |
IPEX-740 Series |
12 × 26 |
| IPEX-760 Series |
12 × 28 |
Divergência do feixe(mrad)
(V × H, nominal) |
IPEX-740/760 Series |
1 × 3 |
2. Revestimento de vácuo hemiciclo
1) 1 conjunto de vácuo de pulverizaça ̃ o dos componentes da câmara
O tamanho da junta esférica da câmara de vácuo é Ф450mm. Ela é feita de alta qualidade de aço inoxidável. Está soldada por argon arc. A superfície é polidos por um processo especial. A interface é assegurada por uma junta de metal ou uma massa com flúor o anel de borracha.
2) 1 conjunto de coroa rotativa de componentes da plataforma
(1) Quatro objectivos podem ser carregados em um momento, o tamanho do alvo: (i) φ60mm E (ii) φ25mm;
(2) Cada alvo pode perceber a rotação, a velocidade de rotação é 5~60 rpm continuamente regulável, controlado pelo o acoplamento magnético mecanismo;
(3) A posição do alvo revolução mecanismo de transposição é controlada pelo motor accionado o acoplamento magnético mecanismo.
(4) O material do alvo escudos de proteção 4 metas, e apenas um material do alvo é de pós metálicos esferulados em filme de cada vez, de forma a evitar a contaminação cruzada entre as matérias alvo.
3) Substrato antioxidante aquecimento do conjunto de mesa 1
(1) O tamanho do substrato: Φ2 " substrato pode ser colocado;
(2) A temperatura máxima de aquecimento do substrato é de 800 ° C ± 1 ° C, controlado pelo termopar closed-loop de feedback, e o aquecedor é feita de material de antioxidantes.
(3) O substrato pode girar continuamente, a velocidade é 5~60 rpm, controlado pelo o acoplamento magnético mecanismo;
(4) A distância entre o substrato e plataforma de destino é ajustável de 30 a 90mm e controlado por um fole manual do mecanismo de ajuste fora do hemiciclo;
(5) controlo manual do defletor de amostra componentes: 1 conjunto;
(6) porta-amostras: 2;
4) Vidro e interface de flange partes 1 set
5) Feixe de Laser Scanning sistema de controle 1
Two-dimensional scanning plataforma mecânica, dois conjuntos de controle de motor ou o controle manual;
6) A linha de gás de 2 canais
7) unidade de bombeamento, válvula, canal 1
8) 1 conjunto de montagem da máquina o conjunto da estrutura
Qualidade elevada square perfil de aço soldadas quick braçola de descarga de spray de superfície; Tratamento de superfície da máquina com aço inoxidável decoração de pele; Quatro rodízios podem ser fixos e móveis
9) medição de vácuo e sistema de controlo eléctrico 1
10) Calculador de controlo 1 SET
Fotos relacionadas Personalizáveis de laser pulsado deposição de pulverizaça ̃ o sistema:
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