DC/RF alto vácuo Dual-Head Plasma Magnetron Revestidor pulverizaça ̃ o

• Type: Coating Spray Gun
• Coating: Vacuum Coating
• Substrate: Glass
• Certification: CE, TUV
• Condition: New
• cabeça de gagueira de magnetron: 2 polegadas
• N ° de Modelo.: CY-VTC-600-2HD
• câmara de vácuo: aço inoxidável
• suporte para amostras: rotativo
• controlo do fluxo de gás: precisão
• garantia: um ano
• Pacote de Transporte: Wooden Box
• Especificação: dia. 140mm
• Marca Registrada: CY
• Origem: Zhengzhou, China
• Código HS: 8543709990
• Capacidade de Produção: 210 Sets Per Month

Descrição de Produto

DC/RF alto vácuo Dual-Head Plasma Magnetron Revestidor pulverizaça ̃ o
Breve introdução
VTC-600-2HD é um compacto sistema de pulverizaça ̃ o magnetron com duas fontes de alvo de 2", por exemplo, uma fonte DC e outra fonte de radiofreqüência.uma espessura de filme tracker está incluído para permitir que o usuário para controlar o processamento facilmente. Este revestimento é projetado para revestir as duas únicas ou múltiplas camadas de filme para uma vasta gama de materiais, tais como a liga, ferroelectric, semicondutor, cerâmica, rigidez dielétrica, ópticas, PTFE etc a baixo custo.   
Especificação  
 

Potência de entrada	220 VCA monofásica de 50/60 Hz,  2000W (incluindo a bomba)
A fonte de alimentação	Duas fontes de alimentação de pulverizaça ̃ são integrados numa caixa de controle Fonte DC: 500W para o revestimento de materiais metálicos Fonte de radiofreqüência: 600W com correspondência automática para o revestimento de materiais não metálicos
O magnetron cabeça de pulverizaça ̃ o	Duas cabeças de pulverizaça ̃ o Magnetron 2" estão incluídos Um deles é conectado à fonte de alimentação de RF para materiais condutivos Outra é conectado à fonte de alimentação DC para materiais metálicos Requisito de tamanho de destino: diâmetro de 2" Variação de espessura: 0,1 - 5 mm para ambos metálicos e metas não condutivo Refrigeração a água de cabeça: 10ml/min de fluxo de água necessária
O vácuo Secção	A câmara de vácuo: 300 mm diâm. x 300 mm de altura, feita de aço inoxidável Janela de observação: 100 mm de diâmetro Na parte superior da tampa do tipo articulado com o desporto da mola a ar
Porta-amostras	Porta-amostras tamanho: 140 mm diâm.. 4 wafer" max   Porta-amostras velocidade de rotação é ajustável: 1 - 20 rpm A temperatura do suporte é ajustável de RT para 500°C Max com precisão de +/- 1,0 °C
O fluxo de gás Control	Dois MFC digital de precisão (controlador de fluxo de massa) são instalados
bomba de vácuo Estação de comboios	O sistema de bomba de vácuo turbo de alta velocidade
Espessura Monitorar	Uma espessura de quartzo de precisão sensor está integrado na câmara para monitorar a espessura do revestimento com uma exactidão de 0,10 Å