Novo projetado RF e fonte de alimentação DC Magnetron com dois objectivos do sistema de pulverizaça ̃ o

• Aplicação: Indústria, Escola, Lab
• personalizado: personalizado
• Certificação: CE
• Estrutura: vertical
• Material: Aço inoxidável
• Digitar: revestimento
• N ° de Modelo.: CY-VTC-600-2HD
• Pacote de Transporte: Plastic Paper Inside,Polyfoam Filled,Wooden Box Ou
• Especificação: customized
• Marca Registrada: CYKY
• Origem: China
• Código HS: 8486202200
• Capacidade de Produção: 199/Month

Descrição de Produto

Novo projetado RF e fonte de alimentação DC magnetron com dois objectivos do sistema de pulverizaça ̃ o

CY-VTC-600-2HD é um sistema de pulverizaça ̃ o magnetron com duas fontes de destino: 1) FONTE DC para o revestimento metálico
Material na cabeça e 2) Fonte de radiofreqüência para o revestimento de materiais não metálicos sobre o outro cabeçote. Ela é equipada com uma espessura de filme tracker para permitir que o usuário facilmente monitorar o progresso de revestimento e também recordthe dados.  
  
Este modelo é  projetado para revestimento sophsticatedly únicas ou múltiplas camadas de filme de uma vasta gama de materiais de substrato (ferroelectric, condutive, liga, semicondutor, cerâmica, rigidez dielétrica, ópticos, óxido de disco, de PTFE e etc). O seu
Compacidade e facilidade de operação tornam um sistema de revestimento ideal para uso em laboratórios R&D.  
Os parâmetros técnicos:
 

Potência de entrada	220VAC, 50/60 Hz, monofase 2000W (incluindo a bomba)
A fonte de alimentação	Duas fontes de alimentação de pulverizaça ̃ são integrados numa caixa de controle Fonte DC: 500W para o revestimento de materiais metálicos Fonte de radiofreqüência: 600W com automatching para o revestimento de materiais não metálicos  Fonte de RF 100 compacto está disponível por um custo extra
O magnetron cabeça de pulverizaça ̃ o	1.Dois 2" Magnetron Cabeças de pulverização catódica com camisas de resfriamento de água estão incluídos Um deles é conectado à fonte de alimentação de RF para materiais condutivos Outra é conectado à fonte de alimentação de pulverizaça ̃ O DC para o revestimento de materiais metálicos 2.o tamanho do alvo requisito: diâmetro de 2" Espessura máxima de 1/16" para alvos metálicos 1/4" de espessura máxima para metas condutiva Um aço inoxidável e um Al2O3 Objectivos de cerâmica são incluídos para testes de demonstração 3.Chefe a refrigeração a água: 10ml/min de fluxo de água necessária, e um 16ml/min refrigerador de recirculação de água controlado digitalmente está incluído para refrigeração tanto magnetron cabeças de pulverizaça ̃ o 4.revestidor personalizadas: Dois DC sem cabeça, RF pulverização catódica, CABEÇA DE RF sem sputering DC, 3 cabeça de RF estão disponíveis mediante solicitação
A câmara de vácuo	A câmara de vácuo: 300 mm diâm. x 300 mm de altura, feita de aço inoxidável Janela de observação: 100 mm de diâmetro Na parte superior da tampa do tipo articulada com a mola a ar sport torna fácil troca de destino
Porta-amostras	Porta-amostras tamanho: 140 mm diâm.. 4 wafer" max A temperatura do suporte é ajustável de RT para 500°C Max com precisão de +/- 1,0 °C
Controle de Fluxo de gás	Um MFC digital de precisão (controlador de fluxo de massa) são instalados para permitir que dois tipos de gases para ser preenchido Taxa de Fluxo: 200 ml/min máx. A taxa de fluxo é ajustável de 6" do painel de controle da tela sensível ao toque
A estação da bomba de vácuo	1.turbo de alta velocidade do sistema de bomba de vácuo é instalado diretamente sobre a câmara de vácuo para o máximo nível de vácuo   2.Serviço Pesado bomba mecânica de duplo estágio é conectada à bomba turbo para acelerar a velocidade da bomba 3.A estação de bomba móvel está incluído e o revestidor pulverizaça ̃ o compacto pode ser colocado na parte superior da estação de comboios 4.o nível de vácuo máx.: 10^-6 Torr com tabuleiro da câmara
Dimensões gerais	L1300mm × W660mm× H1200mm
peso líquido	160 kg
Garantia	Um ano de garantia limitada com o suporte vitalício