Personalizado: | Personalizado |
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Estrutura: | Portátil |
Material: | Aço |
Certificação: | CE, TUV |
Aplicação: | Escola, Lab |
Tipo: | Tipo Aquecimento |
Fornecedores com licênças comerciais verificadas
Número de modelo | CY-S-PECVD1200/50-3Z |
Exibir | A luz de LED |
Temperatura limite | 1200ºC |
Temperatura de trabalho | ≤1100ºC |
A taxa de aquecimento | 0-20°C/min |
Comprimento da zona de aquecimento | 440mm, zona de temperatura constante:200mm |
Diâmetro do tubo de quartzo | OD50*1000mm |
A exactidão da temperatura | ± 1ºC |
Elemento de aquecimento | Fe-Cr-liga de Al adoptar por Mo |
Casal térmica | Tipo K |
O método de refrigeração | Estrutura de dupla camada com resfriamento do ventilador |
Controle de temperatura | 30 passos controle PID programáveis |
Material da caixa | Fibras de alumina |
O alarme de excesso de temperatura | Sim |
Alarme de sobrecarga de corrente | Sim |
Bomba de Vácuo | Mecânica da bomba de vácuo |
O método de refrigeração | A refrigeração a ar |
Tubo de ligação | Fole de aço inoxidável, manual da válvula de borboleta |
Misturador de gás | Misturador de gás de 3 vias, como pedido |
Exactidão | ±2%F.S. |
Precisão de repetição | ±0,2% FS |
Precisão linear | ±1%F.S. |
Pressão de trabalho: | -0,1 MPa~0,15 MPa |
MFC1 SiH4 | 0~10SCCM |
MFC2 faixa de NH3 | 0~100SCCM |
MFC3 BCl3 Range | 0~100SCCM, ou como personalizado |
Freqüência de RF | 13.56MHz±0,005% |
Faixa de potência de saída | 0~100w, ajustável |
O método de refrigeração | Refrigeração por ar forçado |
Tensão de trabalho | AC220V,50Hz |
Fornecedores com licênças comerciais verificadas