Tubo dividido Pecvd Slidable forno para o Crescimento Graphene Fullerene

• Customized: Customized
• Structure: Desktop
• Material: Stainless Steel
• Certification: CE, TUV
• Application: School
• Type: Heating Type
• N ° de Modelo.: CY-PECVD- E
• frequência rf: 13,56 mhz
• correspondência: automático
• potência de reflexão: 200 w.
• garantia: um ano
• Pacote de Transporte: Wooden Box
• Especificação: OD. 50mm 1000mm
• Marca Registrada: CY
• Origem: Zhengzhou, China
• Código HS: 85141090
• Capacidade de Produção: 150 Sets Per Month

Descrição de Produto

A deposição de vapores químicos aprimorada de plasma PECVD forno usado para DCV crescimento graphene     
Introdução
 CY-PECVD - E é uma solução acessível e compacta de PE-DCV (Plasma maior deposição de vapores químicos) Sistema de forno de tubo com mecanismo slidable automático. Ele consiste em um gerador de plasma de RF 300 W, 2"O.D tubo dividido de forno e o trilho slidable integrado que permite que você pré-aqueça e deslize a fornalha para a zona da amostra a fim de obter a sua amostra uma exposição instantânea sob alta temperatura.  Este sistema pode ser atualizado para o modelo avançado com opcionais.  É a ferramenta ideal para o pesquisador para fazer da inovação ao abrigo do orçamento limitado.
Ele pode ser usado para fazer   uma ampla gama de deposição de material, incluindo SiOx, SiNx, de silício amorfo e SiOxNy (a-Si:H) deposição.
 Especificação

Slidable automático Forno de Tubo dividido	Potência de entrada: 208 - 240 V CA, 1.2kW 1200 °C para a temperatura de trabalho máxima < 60 minutos 1100°C Max para aquecimento contínuo O tubo de quartzo de alta pureza 2"OD x 1,7"ID x 39,4 cm de comprimento   30 segmentos de precisão digital programável Controlador de temperatura 8" (200 mm), zona única. 2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 1000 °C   O tubo da fornalha é parte de um forno de tubo RTP deslizante automática e equipados com controlador com ecrã táctil para uma operação fácil. A velocidade de deslocamento pode ser controlada com o controle deslizante automática.
RF de plasma Generator	Potência de saída:     5 -300W ajustável com estabilidade de ± 1% Freqüência de RF:     13,56 MHz ±0,005% de estabilidade dinâmica Potência de reflexão:   200W máx. Matching:        automática Porta de Saída RF:    50 Ω, tipo N fêmea, Ruído:           <50 dB.   Refrigeração:          arrefecimento por ar. (Arrefecimento a água está disponível mediante pedido e um resfriador de água pode ser encomendado separadamente) Fonte :          208-240VAC, 50/60 Hz
Flange de vácuo e Conexões	Conjunto do flange de vácuo é feita de aço inoxidável 304.   Conjunto do flange esquerdo inclui um KF-25 porta de vácuo duas KF-25 Fechamento Rápido,um KF-25 da válvula de ângulo direito, um KF-25 foles de vácuo, um suporte de flange 1/4 O.D a conexão da mangueira e uma válvula de agulha. Conjunto do flange direito inclui um medidor pirani digital, 1/4 O.D, conexão do tubo de passagem de 1/4" e uma válvula de agulha.
Bomba de Vácuo	AC 220 V 50 Hz 1/2HP 375W 2 Litro /S ou 120 litros/m   Coletor de Óleo (entrada) e filtro de exaustão (saída) estão instalados. O vácuo máximo: 10-6 torr com bomba turbo Para o grau de vácuo inferior a 0,1 Pa escolha a bomba de vácuo rotativo da palheta 760 torr.
Dimensões do produto	peso líquido: 350 lb Peso de envio: 480 lb
Opcional	Escolha abaixo de sistemas de fornecimento de gás com base no seu orçamento    Compacto de baixo custo Anti-corrosivos misturador de gás de três canais Os Sistemas de vaporização de líquidos compacto Três canais MFC do Sistema de Controle de gás   Módulo de controle de temperatura constante
Garantia	Um ano de garantia limitada com suporte em tempo de elevação (consumíveis como processamento de tubos, anéis e os elementos de aquecimento não estão cobertos pela garantia, solicite a substituição de produtos relacionados abaixo.)
A conformidade	O controlador de temperatura com certificação CE seja cumprido e certificação CE
Aviso	O tubo de fornos com tubo de quartzo são projetados para uso sob baixa pressão e vácuo < 0,12 MPa (pressão absoluta)  a câmara furance despolarizantes e garantir um funcionamento seguro.

 


Package


A fábrica

Zhengzhou CY instrumento científico Co Ltd é principalmente envolvidos na investigação e desenvolvimento, concepção, fabrico e venda de equipamentos utilizados em pesquisas científicas. Independência e a inovação é o princípio da empresa.Os nossos principais produtos incluem:  tubo, forno mufla, limpador de plasma, forno a vácuo, fornos de atmosfera,sistema de DCV e equipamentos de laboratório personalizados.Bem-vindo que vêm visitar-nos.  


A exposição