Fornecedores com licênças comerciais verificadas
Fornecedor Auditado Três alvos Magnetron Revestidor pulverizaça ̃ com FR/Fonte de Alimentação DC para co-pulverização catódica até três substratos e wafers
VTC-600-3HD é um Sistema de pulverizaça ̃ o plasma combinatorial com Três 2'' magnetron fontes de pulverizaça ̃ e três fontes de energia de RF/CC. Um tal sistema de pulverização catódica é capaz de co-pulverização catódica até três diferentes materiais alvo e criar vários perfis de composição do substrato (por exemplo, Materiais ternário de Bateria recarregável de iões de lítio). Este sistema é também adequado para revestimento seqüencial de camada de vários filmes como ferroelectric, liga, semicondutor, cerâmica, rigidez dielétrica, ópticos, óxido de disco, de PTFE, ...
Especificações
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Potência de entrada |
Monofásica de 220 VCA, 50/60 Hz 2000 W (incluindo a bomba de vácuo e chiller de agua) |
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A fonte de alimentação |
Três fontes de alimentação de pulverizaça ̃ são integrados numa caixa de controle. Fonte DC: 500 W de potência para o revestimento de materiais metálicos Fonte de radiofreqüência: 300 W de potência, 13, 56 MHz frequência para o revestimento de materiais não condutores |
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O magnetron cabeça de pulverizaça ̃ o |
Três 2" Magnetron Cabeças de pulverização catódica Com camisas de resfriamento de água e venezianas são incluídos Um modelo de cabeça Sputting também disponíveis. Requisito de tamanho de destino: Diâmetro de 2" Variação de espessura: 0, 1 - 5 mm para ambos metálicos e não condutivo alvos (incluindo a placa de apoio) Um Alvo de aço inoxidável E um grau de Investigação Al2O3 São incluídas para teste de demonstração 2 opcional" alvos de pulverizaça ̃ o (ou placa de apoio) estão disponíveis mediante pedido e por um custo extra. Receita de pulverizaça ̃ recomendadas e dicas úteis Revestidor personalizadas: Dois DC - Um RF; Dois RF - Um DC; Três DC; Três FR Opcional: 148 cm cabo RF pode ser solicitado por um custo extra para a substituição. |
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A câmara de vácuo |
A câmara de vácuo: 300 mm diâm. X 300 mm de altura, feita de aço inoxidável Visualização: Dois pedaços de 100 mm diâm. Vidro. Uma fixa; Um destacável para uma limpeza e substituição Tampa do tipo articulado com o Poste de energia pneumática permite fácil mudança de destino |
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Fase de amostra |
Titular da amostra é um comando rotativo e fase aquecível feitas de aquecedor de cerâmica com tampa de cobre Porta-amostras tamanho: 140 mm diâm...4 wafer" max velocidade de rotação: 1 - 20 rpm ajustável para revestimento uniforme A temperatura do suporte é ajustável de RT para 500 °C (máx. 2 FC max) com precisão de +/- 1, 0 °C através de um controlador digital de temperatura |
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Controle de Fluxo de gás |
Dois controladores de fluxo de massa de precisão (MFC) são instalados para permitir a entrada dos dois tipos de gases Taxa de fluxo: 0 - 200 mL/min & 0 - 100ml/min ajustável no painel de controle da tela sensível ao toque Válvula de admissão de ar está instalado para liberação de vácuo |
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A Estação de bomba de vácuo |
Uma estação de bombagem móveis está incluído. A pulverização catódica revestidor pode ser colocado em cima da estação de comboios A bomba turbo de alta velocidade Na velocidade 80L/S É combinada com uma bomba mecânica de dois estágios (220 L/min) para o máximo nível de vácuo e mais rápida velocidade de bombeamento Nível de vácuo padrão ligado à câmara: < 4.0E-5 Torr... (1.0E-6 Torr com tabuleiro da câmara ) Se escolher um 150L/S A bomba turbo de alta velocidade, vácuo pode chegar a 10-6 torr Com câmara ( 6x10-7 torr com bicarbonato) Para o vácuo de ultra-alta até 10^-7 Torr, uma bomba getter (100L/s H2 e O2) é necessário para além da bomba do turbo. |
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Chiller de agua
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Um controlo de temperatura digital Chiller de recirculação de água Está incluído. Gama de refrigeração: 5~35 °C Taxa de fluxo: 16 L/min A pressão da bomba: 14 psi |
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Dimensões gerais |
Tampa fechada: 48" × 28" × 32" Tampa aberta: 48" × 28" × 37" |
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peso líquido do revestidor |
160 kg |
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Dimensões e peso de envio |
Total 3 vazios 365 lbs, 48" x 40" x 45" 390 lbs, 48"x 40" x 49" 210 lbs, 48" x 40" x 30" |
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A conformidade |
Com certificação CE |
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Garantia |
Um ano de garantia limitada com o suporte vitalício |
Imagens detalhadas 
Embalagem e envio:
Papel de plástico no interior, cheio de esferovite, Caixa de madeira fora Ou como a sua exigência.
O transporte marítimo e A pedido do cliente. Em geral, nosso modo de transporte por mar, por via aérea ou de transporte ferroviário.
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Informações da empresaZhengzhou Tainuo Materiais Filme Co. É principalmente envolvidos na investigação e desenvolvimento, concepção, fabrico e venda de equipamentos utilizados em pesquisas científicas. Independência e a inovação é o princípio da empresa. Nossos principais produtos incluem: Tubo, forno mufla, limpador de plasma, forno a vácuo, fornos de atmosfera, sistema de DCV e Equipamentos de laboratório personalizadas. Bem-vindo visitar-nos.
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