Digitar: | Inoxidável Equipamento de aquecimento de aço |
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Certificação: | CE |
Estrutura: | horizontal Type |
manómetro: | anti-corrosivo |
temperatura máx: | 1100c |
gerador de vapor líquido: | automático |
Fornecedores com licênças comerciais verificadas
Painel de controle | Todos os parâmetros de Vapor, ALD e Fluxo de gás são controlados por PLC através de um 6 painel de ecrã táctil em um carrinho móvel Dois canais válvula ADL Para canais MFC entrega de gás |
Válvula ADL |
Duas válvulas ADL com controlador de pulso (mín. 10 ms de duração ) Capacidade de aquecimento com acionadores térmicos |
Gerador Liquid-Vapor | Caixa líquido gerador de vapor está incluído e conecte a Válvula ADL |
Zona dupla Split forno de tubo |
Max 1100ºC para aquecimento contínuo Duas teclas programáveis digital de precisão controladores de temperatura com 30 segmentos. Duas controladas zonas de aquecimento 200mm de comprimento para cada zona de aquecimento 400mm total no comprimento de aquecimento 250mm constante a temperatura central da área de aquecimento se ambas as zonas foram aquecidas a mesma temperatura 500ºC max diferença de temperatura entre duas zonas com blocos térmicos entre Potência de entrada: 208 - 240 V CA, entrada de fase única no máx. 4KW Opcional: ALD sistema de controle pode ser instalado com um tubo curto fornalha como picture belo |
O anti-corrosivo do Medidor de Pressão | 3, 8X10-5 Para 1125 Torr intervalo de medição O anti-corrosivo, gás e independente do tipo Elevada precisão e reprodutibilidade em atmosfera para atmosférica fiáveis de detecção de pressão Rápida detecção atmosférica elimina o tempo de espera e encurta o ciclo de processo Fácil troca plug & Play de elemento sensor |
Bomba de Vácuo ( Opcional) |
10E-2 Torr Depressão pode ser alcançada dentro do tubo de processamento A bomba de vácuo não está incluído, sugerem que encomendar bomba seca para o processo de DCV |
Mais Borbulhador Opcional |
Borbulhador ou evaporador para DCV Pode adicionar um Cristal de quartzo e o termopar para monitorar uma Película fina espessura e temperatura a custo extra |
A ideia de atualização | Você pode usar a ADL Dispositivo para construir o Plasma híbrido enhanced ALD+ DCV E a ADL+PVD+DCV sistema para crescer materiais complexos |
Garantia | Um ano de garantia limitada com o suporte vitalício |
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