Forno CSS de duas zonas para processamento térmico rápido até 5" de wafers de diâmetro a um máximo de. 800 ° C

• After-sales Service: 1 Year
• Warranty: 1 Year
• Customized: Customized
• Structure: Desktop
• Material: Alloy
• Certification: CE, TUV
• N ° de Modelo.: CY-1200X-RTP-II-5
• Application: School
• Type: Heating Type
• flange de vácuo: aço inoxidável
• controlador de temperatura: digital
• temperatura de trabalho: 800 c.
• termopar: tipo k.
• Pacote de Transporte: Wooden Box
• Especificação: OD. 200mm
• Marca Registrada: CY
• Origem: Zhengzhou, China
• Código HS: 85141090
• Capacidade de Produção: 130 Sets/Month

Descrição de Produto

Forno CSS de duas zonas para processamento térmico rápido até 5" Diâm. Wafers a Max. 800 ° C-OTF-1200X-RTP-II-5
 Introdução
OTF-1200X-RTP-II é um  forno de processamento térmico rápido de duas zonas de aquecimento com tubo de quartzo 11" I.D.  
Foi concebido para revestimento de película PVD ou CSS (sublimação de espaço próximo) até 3" de diâmetro ou 2" x 2" quadrado.  O forno é aquecido por dois grupos de aquecedores de halogéneo (superior e inferior) separadamente com um máximo de 20ºC/s taxa de aquecimento.  Dois controladores de temperatura de precisão de 30 segmentos são incorporados com precisão de 1ºC/. A porta RS485 e o software de controlo estão incluídos para permitir o funcionamento do registo do perfil de temperatura e do forno através de PC.  É uma excelente ferramenta para pesquisar a nova geração de película fina para células solares, como CdTe, Sufide e célula solar Perovskite  
 
Especificação:

Estrutura do forno  Câmara de vácuo	Forno, dois controladores de temperatura, dois medidores de fluxo de gás de canal estão integrados numa estrutura de liga de alumínio móvel A câmara é feita de tubo de quartzo fundido de elevada pureza Tamanho do tubo de quartzo: 11" de diâmetro exterior/10.8" de diâmetro interior x 9" de altura As flanges de vácuo são feitas de aço inoxidável 316
Flanges de vácuo	Flange superior com uma porta de vácuo KFD-25 e um gás saída (requer tubo de 1/4") pode deslizar manualmente para cima ou para baixo para carregar e descarregar substrato e material evaporado facilmente A flange inferior tem uma porta de vácuo KFD-25 com um gás entrada (requer tubo de 1/4") com válvulas de agulha A flange é vedada por anéis o-ring duplos de silicone e pode atingir uma pressão de vácuo máxima de 10E-2 Torr por uma bomba mecânica de qualidade e 10E-5 Torr por bomba molecular Um manómetro de vácuo digital está instalado na flange superior.   O manómetro de vácuo digital Precision annti-corrosion é opcional a um custo extra (imagem 2)
Medidores de fluxo de gás	Misturador de gás integrado com dois medidores de flutuação com gamas de medição ajustáveis de: 16 - 160 ml/m 500 - 5000 ml/m (para efeitos de purga)
Aquecedor e. Suporte para amostras	Dois aquecedores com controlo independente, com folga ajustável manualmente a partir de 2 - 30 mm As lâmpadas de halogéneo de 20 unidades são utilizadas como elemento de aquecimento para um processamento térmico rápido. Os aquecedores são feitos de aço inoxidável com camisa de água fria para reduzir a radiação térmica e permitir um arrefecimento rápido. o suporte circular de wafers de 5" de diâmetro está incorporado no aquecedor superior para suporte. Inclui-se um conjunto de placas de alta condutividade térmica AlN (5" de diâmetro x 0,5mm de espessura) (coloque na parte de trás do substrato para que aqueça uniformemente). Está incluído um refrigerador de água com recirculação de 16 L/min para poupar água fonte
Controlador de temperatura	Dois controladores digitais de temperatura de precisão com 30 segmentos programáveis oferecem controlo independente dos aquecedores superior e inferior Cada controlador tem a função de ajuste automático PID para proteger os aquecedores da função de disparo excessivo e alarme para evitar sobreaquecimento e temperatura casal quebrado A interface de comunicação do PC e o software estão instalados para o. (clique na imagem abaixo para obter mais detalhes) o perfil de temperatura de gravação é apresentado como abaixo
Temperatura de trabalho	Temperatura máx. Para cada aquecedor: < 800ºC Diferença de temperatura máx. Entre dois aquecedores: < 300ºC depende do espaçamento entre dois aquecedores: Espaçamento de 30 mm        Diferença máx. De temperatura: 315ºC @ apenas na parte inferior do aquecimento
Taxa de aquecimento e arrefecimento	Aquecimento: > 8ºC/s (apenas aquecimento, aquecimento único) Arrefecimento: > 10ºC/s (600 - 100ºC) Máx.
Casal térmico	Dois pares térmicos do tipo K são instalados na parte superior e inferior aquecedores em separado
Tensão de trabalho	208 V CA, monofásico, disjuntor de ar de 20 a
Requisito de energia	2200 W no total ( 1100 W para cada aquecedor)
Garantia	Um ano limitado com suporte de tempo de vida
Dimensões	1085 mm C x 680 mm L x 1710 mm a

Fundada em 2005, a Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd. É uma empresa especializada no desenvolvimento e produção de equipamentos de pesquisa tecnológica laboratorial. Os produtos são misturados, prensados, queimados, cortados, moídos, equipamento analítico, polido, revestido e consumíveis relacionados. Os produtos incluem equipamento de sinterização de laboratório, equipamento de revestimento, etc. Atualmente, foi exportada para 25 países e regiões como os Estados Unidos, a Europa e o Sudeste Asiático, e foi bem recebida por várias unidades de pesquisa científica.

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