O triclorossilano é um precursor de silício contendo silício epitaxial filmes finos, especialmente para o
Preparação de bolachas de partida.
Especificações:
| Os itens de teste |
Unidade |
Resultado do teste |
| Órgãos |
Pureza |
% |
99.990 |
| |
Outros CHLOROSILANE |
% |
0.010 |
Impurezas |
Co |
Ppb |
0.01 |
| |
Cr |
Ppb |
0.01 |
| |
Cu |
Ppb |
0.01 |
| |
Fe |
Ppb |
0.06 |
| |
Mn |
Ppb |
0.01 |
| |
Ni |
Ppb |
0.01 |
| |
V |
Ppb |
0.01 |
| |
B |
Ppb |
0.01 |
| |
Al |
Ppb |
0.01 |
| |
P |
Ppb |
0.01 |
| |
Como |
Ppb |
0.01 |
| |
Mo |
Ppb |
0.01 |
| |
Impurezas metálicas total |
Ppb |
<1.00 |
| P+como |
Ppb |
0.02 |
| C |
Ppm |
<0,01 |
| Densidade do gás |
/ |
4.7 |
Tipo de embalagem:
Informações da empresa:
Suzhou Xunhe Chemical Co Ltd é formada por pessoal treinado, combinam muitos anos de experiência na indústria de gás do gás do cilindro de alimentação .Nós, gás, etc., e o titular de gás, painel, válvulas e acessórios e outros equipamentos, peças e serviços de engenharia para nossos clientes na China e em todo o mundo; os produtos estão envolvidos em diversos sectores industriais, tais como o chip semicondutor, célula solar, LED, LCD-TFT, a fibra óptica de vidro, laser, medicina , etc, nossa missão é fazer parceria com nossos clientes globais para fornecer suporte, soluções e produtos de qualidade que são inovadores, confiável e segura.
Nossos produtos incluem principalmente: H2, O2, N2, Ar, CO2, propano, acetileno hélio, gás misto laser, SiH4 Sih2Cl2, SiCL SiHCL34, NH3, CF4, NF3, SF6, HCL N2O doping gás misto (OST, PH3, B2H6) e outros gases eletrônico.
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