Vtc-600-2HD de alto vácuo Dual-Head RF DC 2” Plasma Magnetron Revestidor pulverizaça ̃ o

• Aplicação: Lab
• personalizado: Não personalizado
• Certificação: CE
• Estrutura: Área de Trabalho
• Material: Alumínio
• Digitar: manta de aquecimento
• N ° de Modelo.: VTC-600-2HD
• Pacote de Transporte: Carton Box
• Especificação: 360× 260× 260mm
• Origem: Shandong
• Código HS: 8422400000
• Capacidade de Produção: 200

Descrição de Produto

VTC-600-2HD Dual-Head RF DC 2 alto vácuo" Plasma Magnetron Revestidor pulverizaça ̃ o    VTC-600-2HD é um sistema de pulverizaça ̃ o magnetron com duas fontes de destino: 1) FONTE DC para o revestimento de material metálico na cabeça e 2) Fonte de radiofreqüência para o revestimento de materiais não metálicos sobre o outro cabeçote. Ela é equipada com uma espessura de filme tracker para permitir que o usuário facilmente monitorar o progresso de revestimento e gravar os dados.     Este modelo é projetado para revestimento sophsticatedly únicas ou múltiplas camadas de filme de uma vasta gama de materiais de substrato (ferroelectric, condutive, liga, semicondutor, cerâmica, rigidez dielétrica, ópticos, óxido de disco, de PTFE e etc). Sua Compacidade e facilidade de operação tornam um sistema de revestimento ideal para uso em laboratórios R&D.   SPECo

Estrutura compacta
Potência de entrada	220VAC, 50/60 Hz, monofase 2000W (incluindo a bomba)
A fonte de alimentação	Duas fontes de alimentação de pulverizaça ̃ são integrados numa caixa de controle ( clique na imagem abaixo para ver as especificações detalhadas )   Fonte DC: 500W para o revestimento de materiais metálicos ( abaixo à esquerda) Fonte de radiofreqüência: 600W com automatching para o revestimento de materiais não metálicos () Fonte de RF 300 compacto está disponível por um custo extra ( Abaixo à direita)
O magnetron cabeça de pulverizaça ̃ o	Dois 2" Magnetron Cabeças de pulverização catódica com camisas de resfriamento de água estão incluídos ( clique na imagem para a esquerda para ver as especificações detalhadas ) Um deles é conectado à fonte de alimentação de RF para materiais condutivos Outra é conectado à fonte de alimentação de pulverizaça ̃ O DC para o revestimento de materiais metálicos Requisito de tamanho de destino: diâmetro de 2" Espessura máxima de 1/16" para alvos metálicos 1/4" de espessura máxima para metas condutiva Um aço inoxidável e um Al2O3 Objectivos de cerâmica são incluídos para testes de demonstração Refrigeração a água de cabeça: 10ml/min de fluxo de água necessária, e um 16ml/min refrigerador de recirculação de água controlado digitalmente está incluído para refrigeração tanto magnetron cabeças de pulverizaça ̃ o        Revestidor personalizadas: duas cabeças de RF sem sputering DC, 3 cabeça de RF estão disponíveis mediante solicitação
A câmara de vácuo	A câmara de vácuo: 300 mm diâm. x 300 mm de altura, feita de aço inoxidável Janela de observação: 100 mm de diâmetro Na parte superior da tampa do tipo articulada com a mola a ar sport torna fácil troca de destino
Porta-amostras	Porta-amostras tamanho: 140 mm diâm.. 4 wafer" max Porta-amostras velocidade de rotação é ajustável: 1 - 20 rpm para revestimento uniforme A temperatura do suporte é ajustável de RT para 500°C Max com precisão de +/- 1,0 °C
Controle de Fluxo de gás	Dois MFC digital de precisão (controlador de fluxo de massa) são instalados para permitir que dois tipos de gases para ser preenchido Taxa de Fluxo: 200 ml/min máx. A taxa de fluxo é ajustável de 6" do painel de controle da tela sensível ao toque
A estação da bomba de vácuo	Turbo de alta velocidade do sistema de bomba de vácuo (fabricado na Alemanha) é instalado diretamente sobre a câmara de vácuo para o máximo nível de vácuo Serviço pesado bomba mecânica de duplo estágio é conectada à bomba turbo para acelerar a velocidade da bomba Estação de bombagem móveis está incluído e o revestidor pulverizaça ̃ o compacto pode ser colocado na parte superior da estação de comboios Nível de vácuo máx.: 10^-6 Torr com tabuleiro da câmara
Monitor de espessura	Uma espessura de quartzo de precisão sensor está integrado na câmara para monitorar a espessura do revestimento com uma exactidão de 0,10 Å   A Unidade do Mostrador do LED fora da câmara podem: Material de entrada para ser revestido de acordo com a base de dados incluído A espessura total do mostrador revestidos e velocidade de revestimento 5 pcs sensores de quartzo (bens consumíveis) estão incluídos     A refrigeração a água é necessária
Dimensões gerais	L1300mm × W660mm× H1200mm
peso líquido	160 kg
Garantia	Um ano de garantia limitada com o suporte vitalício
Instruções de Operação
Nota de aplicação	Para extrair o oxigénio da câmara, sugerimos que você use 5% Hytrogen + 95 % de azoto para a câmara de clã 2 a 3 vezes, o que pode reduzir o oxigênio abaixo de 10 ppm Use > 5N pureza gás argônio para o plasma pulverização catódica.  Apesar de 5N Ra de pureza geralmente contêm 10- 100 ppm de oxigénio e de H2O fornecedor dependedon.  Sugerem fortemente que você use o dispositivo de purificação de gases listados abaixo para purificar o gás antes de preencher: ( Clique pic a fim ) MTI fornecer substrato cristal único de A a Z ( clique na imagem abaixo para a direita a fim )

      RFQ 1 Min. quantidade da ordem 1 está OK. 2. Como sobre a sua equipe técnica construção? Temos técnicos profissionais equipe com 10 anos de experiência. 3, Qual é a nossa garantia? 12 meses 4, formas de pagamento T/T L/C, Pay Pal, a Western Union 5 maneiras de embarque EXW, FOB, a DHL, FedEx, ou mediante os seus requisitos 6, és um comerciante ou fabricação? Estamos fabricante, é proprietária de nossa fábrica em Shandong . 7, você pode aceitar ou OEM ODM? Evidentemente,Logotipo é igualmente aceitável 8, qual é o tempo de entrega? Requisitos especiais, pode ser entregue no prazo de 15 dias. Para os modelos personalizados, tempo de entrega devem ser discutidas e confirmados de acordo com o fim