MDJGP-560 dupla câmara piriforme Sistema pulverizaça ̃ o
Introdução ao produto
Utilizado para preparação de camada única/multi-nanofilms funcionais incluindo vários discos, metálica, semicondutor películas dieléctricas e para as universidades e instituições científicas.
Estrutura
Pulverização catódica câmara de vácuo, magnetron, alvo de pulverizaça ̃ o substrato de refrigeração a água aquecimento turntable, câmara de injeção de amostra, câmara de amostra, annealer, retrolavagem alvo, mecanismo de envio de amostra do magneto, circuito de gás, sistema de bombeamento, sistema de medição de depressão, sistema de controle elétrico e base de montagem