MJGP-560 sistema de entorreamento de dupla câmara piriforme
Introdução ao produto
Utilizado para preparar nanofilmes funcionais de camada única/multicamada, incluindo vários filmes duros, metálicos, semicondutor e dielétricos para universidades e instituições científicas.
Estrutura
Câmara de vácuo de entortação, alvo de esmulação de magnetrões, placa giratória de aquecimento de substrato de arrefecimento a água, câmara de injeção de amostras, câmara de amostras, annealer, alvo de lavagem posterior, mecanismo de envio de amostras de magneto, circuito de gás, sistema de bombeamento, sistema de medição de vácuo, sistema de controlo eléctrico e base de montagem