Secador de bolachas de Srd Srd Wafer de enxágue Spin Spin Secador Secador de enxágue Câmara único Spin Secador de Enxágue

• After-sales Service: 1 Year
• Warranty: 1 Year
• Movement Way: Combined
• Atomization: Rotary Atomization
• Flow: Cross Flow
• Heating Mode: Dielectric
• N ° de Modelo.: SRD
• Material Status: Solution
• Drying Medium: Inactive Gas
• Operation Pressure: Vacuum
• Operational Method: Continuous
• Marca Registrada: minder-hightech
• Origem: Guangzhou
• Código HS: 8015809090
• Capacidade de Produção: 200PCS/Yearpcs/Year

Descrição de Produto

Secador de enxágue spin única câmara

Secador de bolachas de SRD
Dispõe de
* Estrutura razoável de design e tecnologia de processos maduros
* Bom efeito de secagem e limpeza de processo
* Pequenas vibrações, boa confiabilidade e aplicável às chapas finas
* Funcionamento simples e conveniente de manutenção, operação estável e confiável de toda a máquina
Parâmetro técnico
Tamanho de wafers: aplicável a 1-12 polegadas da linha de produção
Taxa de fragmento: 1/10000
Área de aplicação
Ácido SPM seco, orgânico seco, desenvolvimento, degumming, ITO humidificação, BOE gravura, uniforme e colagem outro processo de secagem de wafers
Função do equipamento
O equipamento é dividida em cavidade única e cavidade duplo, que é usado para secagem úmida de diversos materiais de aplicação de semicondutores tais como 1 polegadas, 2 polegadas, 4 polegadas, 5 polegadas, 6 polegadas, 8 polegadas, 12 pol tamanho padrão bolachas bolachas de formato não normalizado e bolachas de quadrados, wafers de silício, nitreto de potássio, arsenieto de gálio, safira, máscara e assim por diante.
Parâmetros rocess

Manufatura	Etapa	Etapa 1	Passo2	Etapa3	Etapa4	Etapa5	Passo6	Etapa 7	Etapa8	Etapa9	A Etapa10
Tempo (s)		0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999
Velocidade (r/min)		0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500
Flushing		Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional
Purgar		Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional
O nitrogênio		Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional
Aquecimento de azoto		Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional
Aquecimento da cavidade		Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional
Eliminação de Descargas electrostáticas		Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional	Opcional

Função do equipamento
Dispõe de
* Unidade servo motor sem escovas garante a estabilidade, confiabilidade e limpeza do equipamento.
* A vedação de azoto do labirinto, cavidade e isolamento da cavidade e não entre em contato com efeito de estanqueidade, para garantir os requisitos do ambiente de processo.
* Os componentes da válvula pneumática de PTFE, tubos de PVDF e conectores são usados.
* Feita de aço inoxidável 316L, a superfície é polido por electrólise.
* A função de lavagem, soprando, secagem e a secagem é a utilização de alta rotação da força centrífuga para remover os reagentes químicos anexa residual e partículas, pó e limpe o nitrogénio para tirar a poeira de partículas residual para tornar a superfície de produto limpo e seco e limpo.
* A função de eliminação eletrostática. Quando o produto se desloca em alta velocidade, ele irá gerar electricidade estática. Use a remoção eletrostática de alta tensão de dispositivo para tornar a superfície do produto chegar ao estado neutro.
* Monitoramento de condutividade, monitoramento da qualidade da água de limpeza e o reagente químico anexado residual e partículas de poeira na superfície do produto, que não cumpram os requisitos antes da secagem, pronta e emite um aviso para evitar a entrada de produtos defeituosos o próximo processo.
*O azoto do aquecedor de aço inoxidável aquecimento, Resistências de aquecimento da cavidade de membrana, controle de precisão da temperatura PID, pode escolher para preaquecer antecipadamente. A função de limpeza automática pode ser selecionada e o intervalo pode ser definido para garantir que o equipamento seja mantido sempre limpo.
* 0,003UM nitrogênio é filtrada para garantir a limpeza dos gases de processo
* Mecânica auto-função redefinir, parar e o modo de espera o cassete para cima.
* Pressão de nitrogênio, status de estanqueidade de porta, cassete para cima e outras condições são protegidos.
* A unidade de controle é controlada de forma independente, funciona de forma independente, e é fácil de operar e manter.