• Adaptador de Spin Chuck de vácuo programável (500-6000 rpm, 8" máx. De wafers) com tampa de aquecimento opcional
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Favoritos

Adaptador de Spin Chuck de vácuo programável (500-6000 rpm, 8" máx. De wafers) com tampa de aquecimento opcional

Tipo: Revestidor de Rolo
Tipo Impulsionada: Elétrico
Automatic Grade: Semi-Automático
Material de Embalagem: bateria de lítio
Tipo de embalagem: eléctrodo
Pacote de Transporte: Wood Packing

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Fujian, China
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O conteúdo de serviço no exterior inclui N/A, Debugging, Maintain, Repair, Training, Equipment Installation.
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Informação Básica.

N ° de Modelo.
TMAX-VTC-200
Marca Registrada
TMAX
Origem
China

Descrição de Produto

 Programmable Vacuum Chuck Spin Coater (500-6000 Rpm, 8" Wafer Max) With Optional Heating Cover

Adaptador de Spin Chuck de vácuo programável (500-6000 rpm, 8" máx. De wafers) com tampa de aquecimento opcional

 

Especificações:

 

 

Estrutura
        
                      

· Caixa de fundição em alumínio para manter a estabilidade da rotação

· A saída de drenagem e o conector da bomba de vácuo estão no painel traseiro

· Um filtro está incluído na embalagem padrão.   É utilizado para ligar a bomba e o coater, para evitar que a água residual flua para a bomba

· Uma bomba sem óleo está incluída no pacote padrão.  

Câmara e tubo de vácuo
 

· O diâmetro da câmara é de 250 mm e pode aceitar wafers 8" dia máx. Ou 5" x 5" quadrado

· A câmara rotativa é feita de PP, que é resistente à corrosão  

· Um mandril de vácuo de 6" e o o-ring do mandril estão incluídos para com capacidade para 6" e 8" wafers

· 1 fita adesiva (6" L x 24" L)  está incluído para revestimento de substratos com forma irregular ou bolachas tamanho < 6

Velocidade de rotação
 

· Painel de controlo digital com dois segmentos programáveis de rotação diferente tempos e velocidades

· Velocidade de rotação ajustável de 500 - 6000 RPM para cada segmento

Injecção de líquido

· A seringa de 20 ml é utilizada para conter o material de revestimento

· A altura do suporte da seringa pode ser ajustada e rodada livremente ao longo da haste de suporte

Opcional

· Pode escolher a pipeta electrónica de precisão de canal único: 20-200ul para um revestimento mais preciso

· Utilizar um produto de limpeza de plasma para tratar a superfície do substrato antes de o revestimento ser possível melhorar a qualidade do filme

· Pode considerar o nosso novo produto: Seringa com capacidade para encher  

· Conjunto de flash de vácuo para processo de solução assistida por flash (VASP) de vácuo DIY, está disponível até 5 mTorr

· A cobertura de aquecimento com controlador digital de temperatura até 100 ° C  (duração máx. < 1 minuto) está disponível por um custo extra (2495 dólares), o que permite a secagem da amostra in situ durante e após o revestimento.

Potência de entrada

· CA 110 V/220 V SELECCIONÁVEL

· Existe uma tomada de alimentação incorporada no lado direito do coater rotativo VTC-200.  É utilizado para fornecer energia à bomba de vácuo. A tensão de saída desta fonte de alimentação depende da tensão de entrada do circuito principal do coater rotativo. (Por exemplo, se o coater rotativo estiver ligado à tomada de alimentação de 110 V CA, a tomada de alimentação incorporada fornece 110 V CA)

Potência do motor

90 V CC, 150 W

Dimensões do produto

500 mm (C) x 400 mm (D) x 400 mm (a)

Peso líquido

20 kg (44 lbs)

Conformidade

· Certificação CE

Garantia

· Um ano limitado com suporte vitalício

· Ferrugem e danos devido a condições de armazenamento ou manutenção inadequadas não estão cobertos pela garantia

 

Programmable Vacuum Chuck Spin Coater (500-6000 Rpm, 8&quot; Wafer Max) With Optional Heating Cover

Programmable Vacuum Chuck Spin Coater (500-6000 Rpm, 8&quot; Wafer Max) With Optional Heating Cover

 

 

 

 

 


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ISO 9001