Forno deslizante TMAXCN Brand Dual Tube CVD e 4 canais Sistema de gás e sistema de vácuo

• Application: Lab
• Customized: Customized
• Certification: CE, ISO
• Structure: Tubular
• Material: Stainless Steel
• Type: Tubular Furnace
• N ° de Modelo.: TMAX-1200X-4-C4-SL-U
• Pacote de Transporte: Wood Packing
• Marca Registrada: TMAX
• Origem: China

Descrição de Produto

Forno deslizante CVD de tubo duplo e sistema de gás de 4 canais E sistema de vácuo

A TMAX-1200X-4-C4-SL-UL  é um   sistema especial para CVD de tubo duplo concebido para o revestimento de película fina na película metálica, especialmente para a preparação de elétrodos flexíveis em película metálica na investigação energética da nova geração. O aquecimento e arrefecimento rápidos podem ser alcançados deslizando o forno. Consulte a secção instruções de funcionamento para ver as operações do forno:

• Tubo de quartzo duplo: Tubo exterior com 100 mm de diâmetro e suspenso por tubo interior com 80 mm de diâmetro.  A película metálica (substrato de crescimento de grafite) será enrolada à volta da superfície do tubo para a reação CVD.  
• Flanges seladas a vácuo para o tubo duplo, que permitem que os gases reativos fluam entre dois tubos (espaço de 10 mm) e o fluxo de gás inerte no interior do tubo para arrefecimento.
• 4 canais de gás controlados por 4 MFCs digitais separados
• A bomba de vácuo está incluída com o adaptador KF25 e o tubo para plug and play
• A calha deslizante está instalada no fundo do forno de zona única, o que permite um aquecimento ou arrefecimento rápidos deslizando o forno de um lado para o outro.
• Está incluída uma braçadeira de paragem de lâminas para manter a posição do forno.

Tanto a zona de aquecimento como o sistema de vácuo podem ser seleccionados: Zona de aquecimento simples ou dupla; bomba de vácuo a seco sem extracção de alta velocidade - VBS-M1 ou bomba mecânica de dois estágios - VBS-ACP15.

ESPECIFICAÇÕES:
 

Estrutura do forno	Zona de aquecimento simples A câmara de isolamento Al2O3 de elevada pureza garante uma excelente uniformidade térmica. Ventiladores de resfriamento são instalados na parte inferior da fornalha para garantir ventilação eficiente. O conjunto da flange deslizante é feito de aço inoxidável. Tubo de quartzo duplo: Tubo exterior com 100 mm de diâmetro e suspenso por tubo interior com 80 mm de diâmetro.  A película metálica (substrato de crescimento de grafite) será enrolada à volta da superfície do tubo para a reação CVD Comprimento da zona de aquecimento: 440 mm Comprimento da zona de aquecimento a temperatura constante: 120 ( ± 1 ° C) @ 400 ~ 1100 ° C	Zona de aquecimento duplo   A câmara de isolamento Al2O3 de elevada pureza garante uma excelente uniformidade térmica. Ventiladores de resfriamento são instalados na parte inferior da fornalha para garantir ventilação eficiente. Máx. Temperatura: 1200 ° C e temperatura contínua: 1100 ° C. Duas zonas de aquecimento controladas separadamente: Calhas deslizantes de direcção dupla para garantir que o forno se move suavemente. 200 mm de comprimento para cada zona de aquecimento, 400 mm de comprimento total de aquecimento zona de temperatura constante de 250 mm se as duas zonas aquarem a. mesma temperatura Diferença de temperatura máxima de 500 oC se colocar um bloco térmico entre duas zonas
Potência	Zona de aquecimento simples Potência: 208 V CA, 50 Hz, monofásica, 2,5 W (requer um disjuntor de 20 a)	Zona de aquecimento duplo Potência: 208 V CA, 50 Hz, monofásica, 4 KW (requer disjuntor 50A)   cabo de alimentação de 10 pés sem  ficha  (peça a um electricista autorizado para fazer a ficha)
Temperatura de aquecimento	Máx. Temperatura: 1100 ° C Temperatura contínua: 1000 ° C
Taxa de aquecimento e arrefecimento	As taxas máx. De aquecimento e arrefecimento dependem da temperatura de trabalho.  Clique nas tabelas abaixo para ver a taxa de aquecimento e arrefecimento máx. Varia com diferentes temperaturas. (Deve calibrar a temperatura e a taxa de arrefecimento do aquecimento nas suas condições de trabalho antes da utilização)             Aquecimento         Gráfico de arrefecimento
Tubos de quartzo fundidos	Tubo de quartzo de elevada pureza: Dois pares de flanges seladas a vácuo com revestimentos de arrefecimento a água e válvulas de agulha de aço inoxidável Tubo exterior EQ-QZTube-101D-1400: OD: 4" x ID: 3.8" X 55" de comprimento (OD 100 x ID 96 x 1400 mm) Tubo interior EQ-QZTube-80D-1800: Diâmetro exterior: 3.15: X diâmetro interior x 2.95" x 70.8" comprimento (diâmetro exterior: 80 x diâmetro interior: 75 x 1800 mm
Flanges de vácuo	Utilizando um tubo duplo para induzir o crescimento de CVD em película metálica (enrolada à volta da superfície interior do tubo):   1-1. Abaixo, um par de flanges SS304 para vedar o tubo externo e o espaço entre o tubo externo e o interior do tubo (este espaço é considerado como uma câmara de reação). Flange do lado esquerdo: União com válvula de agulha como entrada de gás , um manómetro de vácuo digital com gama de medição de 10 ^ -4 a 1000 torr, entrada/saída de refrigeração de água incluída Flange do lado direito: Válvula de ângulo direito com União de flange KF25, uma válvula de agulha de libertação de vácuo, entrada/saída de refrigeração de água incluída   1-2. Deixe ambas as extremidades do tubo interno abertas para resfriamento a gás.     Pressão de vácuo máxima:  10 ^ -2 torr (por bomba mecânica)                                          10 ^ -5 torr (por bomba molecular turbo)
Controlador de temperatura	Controlo automático PID com 30 segmentos programáveis para um controlo preciso da taxa de aquecimento, da taxa de arrefecimento e do tempo de permanência. O alarme e a protecção integrados contra temperatura excessiva permitem o funcionamento sem qualquer operador.  A proteção contra temperatura excessiva e o alarme permitem o funcionamento sem o(s) operador(es). Precisão da temperatura de ºC C. Porta de comunicação RS485. Controlo avançado da temperatura  (opcional) O kit de software de controlo da temperatura MTS02-Y (para controladores da série YD518P) e o pacote de computador portátil de 15" está disponível na barra de opções.  Pode actualizar o controlador de temperatura para o controlador de temperatura Eurotherm 3504 , que é totalmente compatível com LabVIEW.  Este pacote inclui um programador Eurotherm 3504, um cabo de comunicação (RS485-USB) e um CD de software. Clique no foto abaixo para ver a especificação completa do controlador de temperatura Eurotherm 3504.
Medidores de fluxo de massa e Estação de mistura de gases	4 o controlador de precisão do fluxo de massa (MFC) com display digital e botão de ajuste estão instalados no compartimento inferior esquerdo para controlar a taxa de fluxo de gás: 4 canais de gás (contacte as vendas MTI se precisar de mais) MFC 1: Gama de controlo de 0~100 SCCM MFC 2: Gama de controlo de 0~200 SCCM MFC 3: Gama de controlo de 0~200 SCCM MFC 4: Gama de controlo de 0~500 SCCM Precisão da taxa de fluxo: ± 1% FS Entrada e saída de gás: Conector de tubo Swagelok de 1/4 " Um tanque de mistura de gás de 80 ml está instalado na caixa inferior Cada canal de gás tem uma válvula de agulha de aço inoxidável para fácil de ligar/desligar   A taxa de fluxo é ajustável a partir do painel MFC
Estação da bomba de vácuo e válvulas	Opcional 1: Bomba de vácuo a seco sem orifícios de alta velocidade (226L/min) da Pfeiffer, o limite de Torr 10E-3  é instalado dentro de um carrinho móvel para serviço pesado. Clique na imagem abaixo para obter mais detalhes. O adaptador KFD25 e o tubo de aço inoxidável estão ligados entre a bomba e a flange do tubo com uma válvula de esfera de precisão. O vácuo 10E-2 Torr pode ser alcançado no interior do tubo de processamento O manómetro de vácuo digital (fabricado nos EUA) está instalado na flange do lado esquerdo.   (Opcional) para um nível de vácuo superior a 10 ^ -5 torr, encomende abaixo da bomba turbo móvel.	Opcional 2:   A  bomba de vácuo de palhetas rotativas de dois passos para trabalhos pesados com filtro de escape e entrada KF-D25 está instalada no interior de um carrinho móvel para trabalhos pesados. Clique na imagem abaixo para obter mais detalhes. o vácuo de 6,7 x 10 - 4 mbar pode ser alcançado no interior do tubo de processamento O manómetro de vácuo digital (fabricado nos EUA) está instalado na flange do lado esquerdo. Clique na segunda imagem abaixo para obter mais detalhes Para um nível de vácuo mais elevado até 10 ^ -5 torr, encomende abaixo do tubo de turbofump móvel  a um custo extra:
Função de arrefecimento por água	A refrigeração a água na flange destina-se principalmente a arrefecer o o-ring no interior da flange, de forma a garantir a melhor câmara selada a temperaturas elevadas:   As flanges de refrigeração a água requerem um fluxo de água de > 10L/M. Pode utilizar água da torneira como líquido de refrigeração, mas sugerimos vivamente que utilize um refrigerador de água com recirculação para considerações ambientais. Clique com o polegar abaixo para encomendar o refrigerador de água a um custo extra.
Peças opcionais (construção de um forno de tubo único)	Pode construir uma câmara de reacção de tubo único com 80 mm de diâmetro, encomendando flanges de vedação adicionais e instalando-as no tubo interior:   Flange do lado esquerdo: Conexão de barra com válvula de agulha como entrada de gás e conexão de alimentação de 1/4'' para que o cliente insira um sensor de medição Flange do lado direito: União KF25 com manómetro mecânico e válvula de libertação de vácuo
Dimensão	Forno: 550 x 380 x 520 mm Estojo móvel inferior x 2:600 x 600 x 600 mm (um para estação de mistura de gás e outro para bomba de vácuo)
Envio	Peso de transporte: ~ 800 lb Envio por frete com três paletes Será aplicada uma taxa de crateras
Garantia	Garantia limitada de um ano do fabricante (peças consumíveis como tubos de processamento, o-rings e elementos de aquecimento não são abrangidos pela garantia; encomende as substituições nos produtos relacionados abaixo).
Computador portátil, software e controlo Wi-Fi (opcional)	Computador portátil novo com Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 dias de teste gratuito) para utilização imediata. O sistema de controlo da temperatura baseado no LabVIEW  permite ao utilizador editar o perfil de temperatura, gerir a receita de tratamento térmico, registar e registar dados para fornos MTI. Um telecomando sem fios proporciona um alcance de funcionamento até 300 metros. As características acima mencionadas estão disponíveis mediante pedido e por um custo adicional (até 1,000 dólares). Contacte-nos para obter mais informações. Nota:   O software é compatível apenas com o controlador de temperatura Yudian da MTI
Conformidade	Certificação CE Todos os componentes eléctricos (> 24 V) Têm certificação UL/MET/CSA O forno está pronto para passar a certificação TUV (UL61010) ou CSA a um custo extra.
Notas de aplicação	As muflas tubulares com tubos de quartzo foram concebidas para utilização por baixo vácuo e baixa pressão < 0.2 bar/3 psi / 0.02 MPa Atenção: Deve ser instalado UM regulador de pressão de dois estágios no cilindro de gás para limitar a pressão a menos de 3 PSI para um funcionamento seguro. A taxa de fluxo para os gases deve ser limitada a < 200 SCCM (ou 200 ml/min)  para reduzir os choques térmicos no tubo Definição do limite de vácuo para todos os fornos de tubos de quartzo: * as pressões de vácuo só podem ser utilizadas em segurança até 1000 ° C Clique aqui para saber como configurar o tubo de quartzo/cerâmica e a flange de vácuo para o forno de tubo MTI. Está incluída uma braçadeira de paragem de lâminas para manter a posição do forno.   Após DCV, o grafeno deve ser transferido do catalisador metálico para outro substrato para a maioria das aplicações.  Ao utilizar  a fita de transferência gráfica, o resíduo pode ser baixo.
Aviso	O arrefecimento rápido das amostras pode ser conseguido deslizando a câmara de aquecimento para fora. Utilize equipamento de proteção, como vestuário e luvas resistentes ao calor, caso pretenda fazê-lo.   NÃO TOQUE NA SUPERFÍCIE DO TUBO QUANDO ESTE ESTIVER QUENTE!

 

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