O forno de tubo YBOTECH CVD (deposição de vapor químico) refere-se ao método de reação química de gás ou vapor na superfície do substrato para sintetizar revestimentos ou nanomateriais. É a tecnologia mais utilizada na indústria de semicondutores depositar uma variedade de materiais, incluindo uma vasta gama de materiais isolantes, a maioria dos materiais metálicos e materiais de liga metálica. Característica: Revestimento do forno O revestimento é feito de aço de baixo carbono Q235 metálico e a superfície é resistente eletrostaticamente e resistente à corrosão. A estrutura metálica sólida de camada dupla é combinada com a estrutura do ventilador isolante de calor e a temperatura da superfície da fornalha é baixa. Modo de utilização horizontal, estrutura de abertura superior, fácil de utilizar. Material refratário O design de isolamento multicamada, composto por fibra cerâmica de alumina leve e base de placa de isolamento de alta qualidade, não contém componentes de amianto, baixa perda de calor e baixo consumo de energia Sistema de aquecimento Resistência espiral HRE de alta qualidade o elemento de aquecimento do fio está firmemente encaixado na superfície interna da fornalha, o aquecimento por radiação térmica na cavidade da fornalha, que economiza energia e é eficiente e tem longa vida útil. Anel de aquecimento por fio de resistência para obter uma boa uniformidade na fornalha. Painel de controlo da temperatura PID com modo de controlo SSR/SCR, controlo preciso da temperatura. Termopar padrão internacional, vida útil longa. Equipado com luz indicadora de aquecimento e sinal sonoro de alarme de temperatura excessiva. Controlador de programa Controladores avançados que atendem a requisitos complexos de processo. Funcionamento simples e directo, programação flexível. 32 segmentos de programa programáveis. Alarme de temperatura excessiva e falha, protecção automática de segurança. Função de atmosfera de vácuo Com flange de vedação de aço inoxidável 304 para obter vácuo ou atmosfera no tubo da fornalha. O tubo de trabalho de vidro de quartzo de alta qualidade e o tubo de trabalho de metal ou corindo também podem ser seleccionados para se adaptarem a diferentes condições de trabalho. A bomba de vácuo bipolar de palhetas rotativas de elevado desempenho pode obter um grau de vácuo de 5pa e o vacuómetro digital pode apresentar o grau de vácuo. Com a unidade de controle do circuito de ar, a unidade de controle pode escolher o sistema de controle automático MFC de 1-3 vias. Especificação:
Item |
YBGC-25-12 |
YBGC-40-12 |
YBGC-60-12 |
YBGC-80-12 |
YBGC-100-12 |
YBGC-120-12 |
Tamanho do tubo |
Φ25x800mm |
Φ40x1000mm |
Φ60x1000mm |
Φ80x1000mm |
Φ100x1000mm |
Φ120x1000mm |
Temperatura máxima |
1200ºC |
Temperatura de trabalho |
1100ºC |
Zona de aquecimento |
440 mm |
Tensão/alimentação |
220 V/1,8 KG |
220 V/1,8 KG |
220 V/2,6 KG |
220 V/2,6 KG |
220 V/2,6 KG |
220 V/5 KW |
Elemento de aquecimento |
Fio de resistência da liga HRE |
Material da câmara |
Material de fibra cerâmica de alumina inorgânica policristalina preparado por vácuo húmido filtragem |
Material do tubo |
Tubo de quartzo |
Precisão da temperatura |
± 1ºC |
Termopar |
Tipo N, termóstato |
Controlador de temperatura |
Instrumento de controlo de temperatura PID de microcomputador inteligente, controlo SCR/SSR, função de auto-regulação de parâmetros PID; 4 grupos programáveis de 8 segmentos de programa, aquecimento de programa, preservação de calor de programa, arrefecimento de programas |
Taxa de aquecimento |
1 - 25ºC/min. Definido livremente |
Estrutura do forno |
Controle da temperatura da fornalha estrutura integrada, abertura e fechamento da fornalha; revestimento de camada dupla, circulação de ar e isolamento térmico |
Função de vedação |
Ambas as extremidades do tubo do forno estão equipadas com flanges metálicas em aço inoxidável, combinadas com juntas PTFE de alta temperatura, que podem funcionar sob vácuo com um grau de vácuo de ≤ 5pa (bomba de vácuo de palheta rotativa) |
Desempenho da atmosfera |
Existem entradas e saídas de ar em ambas as extremidades da flange. O manómetro de pressão está instalado na flange metálica. A válvula de agulha de precisão pode ajustar a entrada e saída de ar e pode ser alimentada com gases de proteção, tais como azoto, árgon e hidrogénio. |
Segurança do equipamento |
O sinal de alarme de controle modular, som e luz será enviado para temperatura excessiva e acoplador quebrado no processo de trabalho, e a ação de proteção será concluída automaticamente |
Proteção de segurança |
O equipamento está equipado com um disjuntor, que se abrirá automaticamente em caso de fuga de curto-circuito, o que pode proteger a segurança do equipamento e dos operadores |
Revestimento do forno |
Placa de aço laminada a frio de alta qualidade Máquina CNC processamento de supressão de ferramentas, após soldadura, esmerilhamento, polimento, fosfatização, decapagem, pó de plástico de pulverização eletrostática à superfície |
Certificado de qualidade |
ISO9001 CE |
Acessóriospadrão |
1. Corpo da fornalha 2. Controlador de temperatura 3. Cabo de alimentação 3 metros 4. Termopar 5. Manual |
6. Gancho do forno 7. Um par de luvas para altas temperaturas 8. Dois bujões 9. Um conjunto de flange de vedação |
Acessórios opcionais |
1. Bomba de vácuo de palheta rotativa opcional (grau de vácuo ≤ 5pa 2. Manómetro de vácuo digital opcional (1.0 × 105-1.0 × 10-1pa) 3. Medidor de caudal flutuante opcional (intervalo de 60 a 600 ml/min) 4. Opcional com barco de quartzo |
Acessórios:
1. Corpo do forno |
1 conjunto |
2. Controlador de temperatura |
1 |
3. Cabo de alimentação de 3 metros |
1 |
4. Termopar |
1 |
5. Manual de instruções |
1 |
6.alicate cadinho |
1 |
7. Luvas para altas temperaturas |
1 par |