After-sales Service: | on-Line Service |
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Warranty: | One Year |
Application: | Industry, School, Lab |
Customized: | Customized |
Certification: | CE |
Structure: | Portable |
Fornecedores com licênças comerciais verificadas
Sistema PECVD de deposição de vapores químicos 1000C com 6 caudalímetro de gás
A deposição de vapor químico (PECVD) com realce plasmático é um tipo de deposição química de vapor caracterizado pelo uso da ativação plasmática a baixas temperaturas para aumentar a reação química de deposição de vapor. As vantagens deste método são que a temperatura de deposição é baixa, a taxa de deposição é rápida e a película produzida tem excelentes propriedades elétricas, boa aderência do substrato e excelente cobertura de passos.Especificações do sistema PECVD
Número do modelo | TN-PECVD-200SST | ||
Tamanho da cavidade | PHI 500- | ||
Comprimento da zona quente | 200 | ||
Fonte de alimentação RF | 500 W (1000 W é opcional) | ||
Temperatura | 1000 ºC | ||
Bomba para alimentação | Conjunto de bomba molecular | ||
Tipo de visor | Tipo T. | ||
Zona quente | Zona única | ||
Refrigerador de água | CW5200 | ||
Material da cavidade | SS | ||
SampleAquecimento temperatura |
Acima de RT-1000ºC, precisão do controlo da temperatura: ± 1.C , utilizando o medidor de controlo da temperatura para controlo da temperatura; Velocidade ajustável: 1-20rpm ajustável |
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Tamanho da cabeça de pulverização | Φ90mm, o espaçamento entre o eletrodo e a amostra 40 mm , em linha, é ajustável de forma contínua (pode ser ajustado de acordo com o processo) e com um indicador de régua | ||
Mesa de amostra | 200 mm de diâmetro | ||
Vácuo de trabalho para deposição | 0.133-133 Pa (pode ser ajustado de acordo com o processo) | ||
Flange superior | Pode ser levantado por motor, o substrato é fácil de mudar e há uma porta visual | ||
Tabela de substrato | O movimento linear e azimute da mesa do substrato, o aquecimento do substrato e o controlo da temperatura, a mesa de montagem e o controlo do ecrã táctil, o movimento linear do substrato são controlados manualmente e a rotação do substrato é controlada por motores DC | ||
Câmara de vácuo | Tipo de abertura da porta dianteira , φ500mm X 500 mm de aço inoxidável | ||
Janela de observação | φ100mm com defletor | ||
Debitómetro mássico | Medidor de fluxo de massa de seis vias | ||
Número de caminhos de gás | Seis caminhos | ||
Gama de pressão | 0.15 MPa a 0.15 MPa | ||
Alcance | 0 a 100 SCCM (oxigénio) 0 a 100 SCCM (CF4) 0 a 200 SCCM (SF6) 0 a 200 SCCM (árgon) 0 a 500 SCCM (outros gases, ar) 0-500 SCCM (outros gases azoto) |
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Gama de controlo de fluxo | Mais ou menos 1.5% | ||
Material do percurso do gás | 304 aço inoxidável | ||
Junta do tubo | junta do casquilho de 6,35 mm | ||
Sistema de vácuo | Bomba dianteira: Bomba de vácuo isenta de óleo 4.7L/S. Bomba molecular: 1200L/S. |
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Gama de medição | 1 x 10-5 a 1 x 105 Pa | ||
Precisão da medição | 1 x 10-5 ~ 1 x 10 - 4 Pa ± leitura de 40% 1 x 10-4 ~ 1 x 105 Pa para uma leitura de ± 20% |
1. Temos máquina CVD/PECVD com sistema de suprimento de gás, sistema de vácuo, forno de tubo e gerador de plasma.
2. Forno do tubo (temperatura): 1200C, 1400C, 1600C, temperatura personalizada disponível.
3. Forno de tubo (zona de aquecimento): Zona única, zona dupla, zona tripla, n.o personalizado da zona de aquecimento disponível.
4. Material do tubo: O quartzo, corindo, liga, e outro material do tubo são personalizáveis.
5. O tubo com diâmetro e comprimento diferentes é personalizável.
6. Gerador de plasma: 100 W, 150 W, 300 W, 500 W, 1000 W, e outra potência do gerador de plasma é personalizável.
7. Fluxômetro: O fluxômetro de 1~3 ou de vários canais é opcional com base no seu processo.
Outras máquinas:
Podemos enviar as máquinas CVD, PECVD por mar, por ar, por terra e por expresso, também podemos providenciar o envio de acordo com as suas necessidades.
P. você é fabricante ou empresa de negociação?
A. somos fabricantes profissionais de instrumentos de laboratório, temos uma equipa de I&D profissional e uma oficina, que pode prometer a qulaidade e o serviço pós-venda.
P. como está a sua garantia?
A. a nossa garantia é de 12 meses e fornece manutenção vitalícia. Oferecemos 24 horas de serviço on-line.
P. quanto tempo demora o tempo de entrega? Se pretender personalizar o instrumento, quanto tempo demora?
A. 5-10 dias ---- em loja. Customzed produtos ---- geralmente leva 30-60 dias dependendo de suas necessidades.
P. fonte de alimentação e ficha?
A. podemos fornecer produtos que se acentrassem com a tensão local e com o padrão de ficha.
P. como pagar?
A. T T, L/C, D/P, ETC.
P. como é o pacote de mercadorias? Métodos de entrega?
A. fumigação de exportação padrão assina embalagem de caixa de madeira ou como suas exigências.
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