Fornecedores com licênças comerciais verificadas
Fornecedor Auditado Equipamento de deposição de diamante de cristal único MPCVD para laboratório
Aplicação
Preparação de diamante de cristal único de alta qualidade, de diamante cultivado;
Preparação de películas de diamante policristalinas de elevada qualidade, de pé livre;
Preparação de películas de diamante policristalino de alta qualidade;
Preparação de vários filmes de carbono nano, como grafeno, nanotubos de carbono, fullerenos e filmes de diamante.
Características:
a. Equipamento de plasma de microondas de 10 kW para cavidades em aço inoxidável, densidade de alta potência;
b. O estágio de substrato arrefecido a água e a câmara metálica arrefecida a água garantem que o sistema funciona de forma estável durante um longo período de tempo;
c. A temperatura do substrato é obtida através do auto-aquecimento do plasma por micro-ondas;
d. O instrumento de medição de vácuo adopta um manómetro de vácuo de gama completa, que pode medir com precisão o vácuo de fundo e a pressão do gás de trabalho;
e. A bomba de vácuo e a válvula adoptam a bomba molecular turbo (o vácuo final é 1 × 10-5PA) e a bomba de vácuo mecânica de palhetas rotativas (o vácuo final é 1 Pa), e o sistema pode controlar automaticamente a pressão de deposição;
f. Sistema de circulação de água de refrigeração para garantir um funcionamento seguro e estável a longo prazo do dispositivo sob alta potência;
g. O ecrã táctil de 15 polegadas, o controlo automático PLC, pode definir a temperatura ou a pressão como constante, pode guardar e reutilizar até 20 conjuntos de ficheiros de processo;
H. módulo de controlo de processos totalmente automático, que pode preparar de forma estável e fiável películas de diamante e cristais de alta qualidade.
Vantagens:
1) alta eficiência de produção, grande produção, alta qualidade, o tamanho 7*7,8*8,10*10,12*12,15*15 pode ser instalado de uma só vez. Pode produzir aproximadamente 250 ~ 480 diamantes ásperos dos quilates por o mês.
2) o equipamento atingiu a produção industrial. O estágio de molibdênio é de 90mm de tamanho, com velocidade de crescimento rápida, alta taxa de rendimento e boa estabilidade. A precisão e qualidade dos componentes processados são extremamente altas e a qualidade de processamento de nosso equipamento é bastante requintada.
3) o equipamento é atualmente o primeiro equipamento principal em casa e no exterior que pode alcançar a produção industrializada de diamante de cristal único. Equipado com tecnologia de produção avançada para garantir que os clientes produzem produtos qualificados. A Clarity pode alcançar vs, vvs. A cor pode atingir o nível D, e, F, G de acordo com os requisitos dos clientes.
| EVacuum | Medição de vácuo | Manómetro piezorresistivo de 0.1-100 kpa capacidade de 0-1000 Pa |
| Gama de pressão de funcionamento | 4-30 km | |
| Taxa de fuga de vácuo | < 1 * 10-9 Pa·m 3 /s | |
| Controlo de pressão | Controlo automático | |
| Material da cavidade | Câmara de excitação em liga de alumínio, câmara de vácuo de quartzo | |
| Janela de observação | Orifício de medição da temperatura com um diâmetro de 10 mm e janela de observação de orifício poroso | |
| Modo de arrefecimento | Modo de arrefecimento | Refrigeração de ar da câmara e refrigeração de água |
| Tamanho da mesa de amostra | Platina de molibdénio Φ 85 mm, área uniforme Φ 50 mm | |
| Medição da temperatura | Termómetro de infravermelhos, gama de 300-1400 ºC | |
| Fluxo de água de refrigeração | > 50 l/min | |
| Temperatura da água de refrigeração | 20-22ºC | |
| Interface da água de refrigeração | interface de fio externa de 1 polegada | |
| Sistema operativo | Sistema operativo | Controlo PLC, controlo de ecrã táctil de 15 polegadas |
| Menu processar | 10 menus de processo, 25 linhas para cada um | |
| Microondas e fonte de alimentação | Frequência de microondas | 2.45 ± 0,1 GHz |
| Potência de saída | 1.5 kW (equipado com fonte de alimentação doméstica de microondas de 10 kW) | |
| Potência de entrada de electricidade | 380 AC/50 Hz, cinco fios trifásicos (linha de alimentação 3 * 10 * 2 * 6), > 15 kW | |
| Taxa de vazamento de microondas | Taxa de fuga do microondas a 5 cm do equipamento ≤ 5 mW/cm2 | |
| Gás de processo | Fluxômetro e interface | H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10SCCM) O2 (10SCCM) VCR DE 1/4" Tampão rápido fêmea de 8 mm para tubo PU de ar comprimido |
| O debitómetro pode alterar o tipo de gás utilizado software | ||
| Pressão de fornecimento de ar | 0.3 - 0,35 MPa | |
| Pressão do ar comprimido | 0.5 - 0,6 MPa | |
| Bomba de vácuo | Bomba de vácuo de palheta rotativa | Bomba de óleo |
| Velocidade de bombeamento | 4L/S | |
| Fonte de alimentação | AC 380 V ( ± 10%) | |
| Interface | Extração de ar KF25, escape de ar KF25 | |
| Ambiente de funcionamento | Temperatura ambiente e humidade | A temperatura ambiente é inferior a 26 ºC e o a humidade é inferior a 40% |
| Dimensões gerais do equipamento | Tamanho | 1250 (C) × 800 (L) × 2100 (A) MM |
| Condições de aceitação do equipamento: | 1. Instalação de equipamento: Após a conclusão da instalação de equipamento, a parte A e a parte B devem proceder à colocação em funcionamento no local e os técnicos da parte B devem conduzir a operação do equipamento, a formação em segurança e manutenção para a pessoa responsável pela parte A. | |
| 2. Teste do sistema: O sistema pode ser iniciado e operado normalmente, e a bola de fogo solta é estável sem saltar. | ||
| Fuga no microondas: A fuga no microondas é inferior a 5 mW/cm2 (a potência de saída da fonte do microondas está a mais de 80%, 10 cm de distância do equipamento) | ||
| Item | modelo | Quantidade (conjunto/peça) |
fabricante ou origem | nota |
fonte de microondas |
10 kW / 2450 MHz |
1 |
doméstico |
|
| sistema de transmissão por microondas | Misturador MPT-2012eguido de onda |
1 | doméstico | |
| conversor de modo | MPM-2050 | 1 | doméstico | |
| cavidade de reação do microondas | A jusante MPP-2050 |
1 | doméstico | |
| mesa de amostras e sistema de suporte | N/D |
1 |
doméstico |
Refrigeração a água, elevação de uma camada |
sistema de fluxo de gás |
5 controlador do fluxo da massa de gás: H2, CH4, O2, N2, ar |
5 |
Japão |
|
| válvula de vácuo e filtro de gás | 1 conjunto | Japão | ||
| Componentes de ligação do sistema de gás | 1 conjunto | Japão | ||
| sistema de vácuo | válvula de vácuo e filtro | 1 | Japão | |
| cavidade de vácuo, tubo de vácuo | 1 | doméstico | ||
| bomba mecânica e válvula de vácuo | 1 | doméstico | ||
| bomba molecular e válvula de vácuo de suporte | doméstico |
|||
meça |
medidor de vácuo de resistência | 1 | doméstico | |
| filme o vacuómetro | 1 | doméstico | ||
| termómetro de infravermelhos | 1 | doméstico | ||
| sistema de controlo eléctrico | PLC | 1 | Alemanha | |
| ecrã de toque | 1 | doméstico | ||
| sistema de refrigeração a água | temperatura da água de refrigeração, monitorização do fluxo |
3 |
Japão |
|
| Caixa de controlo/armário | 1 | doméstico | ||
| alimentação de energia de estabilização de tensão | Requer configuração do utilizador | |||
| refrigerador de circulação | Requer configuração do utilizador | |||
| cilindro de gás, tubo de gás de aço inoxidável, tubo de água, distribuição de potência, tubo de escape |
Requer instalação do utilizador |
Equipamentos Fotos:
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