After-sales Service: | on-Line Service |
---|---|
Warranty: | One Year |
Type: | gagueira de magnetrões |
Coating: | Vacuum Coating |
Substrate: | Steel |
Certification: | CE |
Fornecedores com licênças comerciais verificadas
5 polegadas Sputtering de Magnetron alvo Coater Schuttering direto do Níquel em Masterização de vinil
GAGUEIRA DE MAGNETRON: VISÃO GERAL
A entortação é um processo de deposição com base em plasma, no qual os íons energéticos são acelerados em direção a um alvo. Os iões atingem o alvo e os átomos são ejetados (ou espaguados) da superfície. Estes átomos viajam para o substrato e incorporam-se na película de crescimento.
O único alvo DC Magnatron Sputtering Coater Equipment é um custo-eficaz magnetron sputtering equipamento de revestimento independentemente pesquisado e desenvolvido pela nossa empresa. Possui características de padronização, modularização e customização. Os alvos de magnetrões podem ser seleccionados a partir de 1 polegada, 2 polegadas e 3 polegadas, e os clientes podem escolher de acordo com o tamanho do substrato revestido; a fonte de alimentação é uma fonte de alimentação CC de alta potência de 1500 W, que pode ser utilizada para revestimento de espoliação de metal de alta energia. De acordo com os requisitos experimentais, as fontes de alimentação CC ou RF de outras especificações também podem ser selecionadas para realizar operações de revestimento de vários materiais.
Especificações do coater do saltro de magnetron:
Coater de gagueira DC de alvo único |
||
Amostra Tabela |
Dimensões gerais |
φ 360 mm |
Rpm ajustáveis |
1-20rpm ajustável |
|
Alvo |
Plano alvo |
Alvo de plano circular |
Vácuo de entortamento |
0,1 Pa a 3 Pa |
|
Diâmetro alvo |
100 a 101,6 mm |
|
Espessura do alvo |
3 mm |
|
Tensão de isolamento |
> 2000 V |
|
Especificações do cabo |
SL-16 |
Temperatura alvo da cabeça |
65 ºC < |
|
Vácuo Câmara |
Tratamento da parede interior |
Polimento eletrolítico |
Tamanho da cavidade |
Φ500mm x 500 mm |
|
Material da cavidade |
304 aço inoxidável |
|
Janela de visualização |
Janela de quartzo, diâmetro de φ100mm |
|
Método de abertura |
Abertura lateral |
|
Gás Controlo |
Controlo de fluxo |
Medidor de massa, intervalo de medição 0 ~ 100 SCCM |
Tipo de gás |
Estão disponíveis árgon, azoto, oxigénio e outros gases |
|
Tipos de válvulas reguladoras |
Regulador do solenóide |
|
Estado estático da válvula reguladora |
Fecho normal |
|
Medir a linearidade |
Mais ou menos 1.5% de F.S |
|
Precisão da repetição de medição |
Mais ou menos 0.2% de F.S |
|
Medir o tempo de resposta |
≤ 8 segundos (T95) |
|
Pressão de trabalho |
0.3 MPa |
|
Corpo resistente à pressão |
3 MPa |
|
Temperatura ambiente de trabalho |
(5 ~ 45) ºC |
|
Material da carroçaria |
Aço inoxidável 316L |
|
Taxa de fuga do corpo |
1 × 10 - 8 Pa.m3/s |
|
Uniões de tubos |
juntas com camisa de 1/4" |
|
Sinais de entrada/saída |
0 a 5 V. |
|
Fonte de alimentação |
± 15 V ( ± 5%) ( 15 V 50 mA, -15 V 200 mA) |
|
Dimensões totais em mm |
130 (L) x 102 (a) x 28 (a) |
|
Interface de comunicação |
Protocolo MODBUS RS485 |
|
Fonte de alimentação CC |
Fonte de alimentação |
1500 W. |
Filme Espessura Medição |
Requisitos de energia |
DC: Corrente máxima de 400 mA de 5 V ( ± 10%) |
Resolução |
± 0,03 Hz (5-6MHz), 0,0136A / medição (alumínio) |
|
Precisão da medição |
± 0.5% de espessura (1) |
|
Ciclo de medição |
100 ms ~ 1 S/tempo (pode ser definido) |
|
Gama de medição |
500,000 A (alumínio) |
|
Frequência cristalina |
6 MHz |
|
Interface de comunicação |
Interface serial RS-232/485 |
|
Bits de visualização |
Visor LED de 8 bits |
|
Molecular Bomba |
Velocidade de bombeamento molecular |
1200 L/S. |
Velocidade nominal |
24000 rpm |
|
Valor de vibração |
0.1 < um |
|
Hora de arranque |
5 min |
|
Tempo de inatividade |
7 min |
|
Método de arrefecimento |
Refrigeração a água e a ar |
|
Temperatura da água de refrigeração |
< 37ºC |
|
Taxa de fluxo de água de refrigeração |
1 l/min |
|
Direcção de montagem |
Vertical ± 5. |
|
Interface de extração de ar |
150 CF |
|
Porta de escape |
KF40 |
|
Dianteira Bomba |
Taxa de bombeamento |
VRD-16 |
Vácuo máximo |
1 Pa |
|
Fonte de alimentação |
CA: 220 V/50 Hz |
|
Potência do motor |
400 W. |
|
Ruído |
< 56db |
|
Interface de extração de ar |
KF40 |
|
Porta de escape |
KF25 |
|
Válvula |
Válvula de passagem |
Uma válvula de gaveta está disposta entre o vácuo câmara e bomba molecular |
Válvula de corte |
Existe uma válvula de corte instalada entre o. bomba molecular e o estágio dianteiro |
|
Válvula de drenagem lateral |
Existe uma válvula de drenagem lateral instalada entre o. câmara de vácuo e fase dianteira |
|
Válvula de purga |
Está instalada uma válvula de purga electromagnética na câmara de vácuo |
|
O melhor vácuo de toda a máquina |
< 5 X 10 - 4 Pa |
1. Temos um magnetron espagueta com 1 alvo, 2 alvos, 3 alvos, etc , alvo pode ser projetado na parte superior ou inferior da câmara.
2. 0 - potência CC de 1000 W ou alvo de potência RF disponível. A função de polarização é opcional
3. Tamanho alvo: 1 polegada, 2 polegadas, 3 polegadas, 4 polegadas, etc.
4. O alvo magnético forte e o alvo magnanente magnético são opcionais
5. Coater de gagueira de magnetron com evaporação, feixe eletrônico está disponível
6. Serviço personalizado sempre disponível!
PODEMOS enviar o magnetron espaguando coater por terra, por mar, por ar, por expresso, também pode providenciar pacote e remessa de acordo com suas necessidades.
P. você é fabricante ou empresa de negociação?
A. somos fabricantes profissionais de instrumentos de laboratório, temos uma equipa de I&D profissional e uma oficina, que pode prometer a qulaidade e o serviço pós-venda.
P. como está a sua garantia?
A. a nossa garantia é de 12 meses e fornece manutenção vitalícia. Oferecemos 24 horas de serviço on-line.
P. quanto tempo demora o tempo de entrega? Se pretender personalizar o instrumento, quanto tempo demora?
A. 5-10 dias ---- em loja. Customzed produtos ---- geralmente leva 30-60 dias dependendo de suas necessidades.
P. fonte de alimentação e ficha?
A. podemos fornecer produtos que se acentrassem com a tensão local e com o padrão de ficha.
P. como pagar?
A. T T, L/C, D/P, ETC.
P. como é o pacote de mercadorias? Métodos de entrega?
A. fumigação de exportação padrão assina embalagem de caixa de madeira ou como suas exigências.
O MAGNETRON ESTÁ SPUTTERING O PROCESSO DIREITO PARA SEU TRABALHO?
Contacte-nos e podemos colaborar no seu projecto.
Como podemos ajudá-lo a atingir os seus objetivos? Que obstáculos técnicos a nossa equipa de engenharia pode ajudá-lo a superar? Prima o botão "Get in Touch" para entrar em contacto connosco. Gostaríamos de saber mais sobre a sua pesquisa e ajudá-lo de qualquer forma possível.
Fornecedores com licênças comerciais verificadas