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Fornecedor Auditado Este equipamento é um objectivo duplo magnetron revestimento por pulverização catódica, que podem ser utilizados na preparação de filmes de metal, nos domínios da electrónica, ópticas, cerâmica especial... ela também pode ser usada para preparar a MEV amostras no laboratório.
Que adopta um grande vácuo câmara de aço inoxidável, abertura da porta dianteira, design e quartzo janela de observação na porta, o que é conveniente para a observação e registro do experimento. Ao mesmo tempo, o equipamento está equipado com um contactor rotativo aquecimento tabela de amostra, que pode melhorar efectivamente o filme uniformidade e qualidade do filme. Um conjunto de placa defletora é instalado na tampa superior, e os dois objectivos podem ser comutados girando a chapa deflectora para perceber o revestimento multicamada.
Este equipamento deve ser utilizado em conjunto com o alto vácuo bomba molecular grupo. Os usuários podem escolher a marca importados pequena bomba molecular para continuar a salvar área de instalação.
Ao mesmo tempo, o modelo pode ser equipado com espessura de filme componentes dosadores, que pode monitorar a espessura do filme em tempo real e fornecer parâmetros confiáveis para o processo experimental.
Dual-alvo DC magnetron revestidor pulverizaça ̃ os parâmetros técnicos:
| Fase de amostra | Size | 100mm | Aquecimento | ≤500ºC |
| Velocidade de rotação | 1-20r/min | Controle de temperatura | ± 1ºC | |
| O magnetron cabeça por pulverização catódica | Quantidade | 2" x2 | O modo de arrefecimento | Arrefecido a água |
| A câmara de vácuo | Size | Diam 210mm × 260 mm | Janela de Inspeção | Φ40mm |
| Prima | O SUS | Modo aberto | Abertura dianteira | |
| Por pulverização catódica suprimento de energia | Fonte de alimentação DC | 1 conjunto | Potência de saída | ≤300W |
| Tensão de saída | ≤600 V | Tempo de resposta | <5ms | |
| Arrefecimento a água | Capacidade do Tanque | 9L | Flow | 10 L/min |
| Filme o medidor de espessura | Exactidão | 0.1Angstrom | O modo de arrefecimento | Arrefecimento a água |
| Outros | Fonte de alimentação | AC220V,50Hz | Potência total | 4KW |
| Massa molecular do sistema da bomba | Bomba de backup | Bomba de palheta rotativa | O bombeamento | 1.1L/s |
| Bomba Secundária | Turbo bomba molecular(as) | O bombeamento | 600 L/s | |
| Interface de extração | KF40 | Saída de ar | KF16 |
P. Você um fabricante ou uma empresa comercial?
A. Estamos laboratório profissional dos fabricantes de instrumentos, temos a nossa própria equipe de design e a fábrica, têm madura experiência técnica, e pode garantir a qualidade dos produtos e o preço ideal.
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