Máquina de revestimento de evaporação de feixe de electrões para película semicondutor

• After-sales Service: 12 Months
• Warranty: 12 Months
• Tipo: Linha de Produção de Revestimento
• Revestimento: Revestimento de Vácuo
• Substrato: Aço
• Certificação: CE
• N ° de Modelo.: Thermal Evaporation coater
• Condição: Nova
• material da câmara: aço
• tampa superior: pvc
• plataforma de amostras: Gold-Plated Copper Plate, with Good Thermal Conduc
• temperatura de funcionamento: rt-200ºc
• Liquid Drain Pipe and Waste Liquid Tank: PTFE
• Chucks: 10/25/55/100mm
• modo de funcionamento: 7 Inch HD LCD Touch Screen
• material: Liquid or Colloidal
• termopar: termopar tipo s.
• temperatura máxima: 1700
• Pacote de Transporte: Fumigated Wooden Box
• Especificação: 290mmx365mmx260mm
• Marca Registrada: TN
• Origem: China
• Código HS: 8486209000
• Capacidade de Produção: 200/Month

Descrição de Produto

Descrição do produto

Laboratório - revestimento de evaporação de feixe de electrões de alto vácuo Máquina
 

Evaporação do feixe de electrões (feixe e)

Durante um processo de evaporação de feixe electrónico, a corrente passa primeiro através de um filamento de tungsténio que leva ao aquecimento de joules e à emissão de electrões. É aplicada alta tensão entre o filamento e o coração para acelerar estes eletrões libertados em direção ao cadinho que contém o material a depositar. Um forte campo magnético enfoca os elétrons em um feixe unificado; na chegada, a energia desse feixe de elétrons é transferida para o material de deposição, fazendo com que evapore (ou sublime) e se deposite no substrato. A adição de uma pressão parcial de gás reativo, como oxigénio ou azoto, à câmara durante a evaporação, pode ser utilizada para depositar de novo ativamente películas não metálicas.

A evaporação do feixe de elétrons tem muitas vantagens sobre a evaporação térmica resistiva. Primeiro, a fonte de feixe eletrónico é capaz de aquecer materiais a temperaturas muito mais elevadas do que o possível utilizando um aquecedor resistente de barco ou cadinho. Isto permite taxas de deposição muito elevadas e evaporação de materiais de alta temperatura e metais refractários, como tungsténio, tântalo ou grafite. Em segundo lugar, as películas depositadas pela evaporação do feixe de electrões podem manter melhor a pureza do material de origem; o arrefecimento a água do cadinho limita firmemente o aquecimento do feixe de electrões apenas à área ocupada pelo material de origem, eliminando qualquer contaminação indesejada dos componentes vizinhos. Por fim, as fontes de evaporação do feixe de electrões estão disponíveis numa variedade de tamanhos e configurações, incluindo bolsas simples ou múltiplas. A indexação de bolso utilizando um carrossel motorizado permite que uma fonte deposite muitos materiais a partir de uma única localização de origem.

A evaporação de feixe eletrônico está disponível em uma variedade de plataformas PVD e para muitas aplicações, incluindo metalização, revestimento dielétrico, revestimentos ópticos e junções Josephson.

 

Parâmetros do produto

Especificações do coater de evaporação térmica

Nome do produto	Máquina de revestimento de evaporação do feixe de electrões
Modelo do produto	TN-X-EIB500
Condição de serviço	A temperatura ambiente variou de 5 a 40ºC C.
Fonte	Trifásica de 380 V.
Tensão	220 V 50 HZ
Potência	< 20 kW
Indicador de água	< 2,5 bar
Monitorização da camada revestida	Utilizando um monitor de espessura de membrana SQM160, a falta de homogeneidade da espessura do revestimento é inferior a 6%.
Lâmpada de aquecimento	Quatro lâmpadas de aquecimento de halogênio foram usadas para desgaseificação e uma lâmpada de néon para iluminação
A interface do eléctrodo	Com uma interface de eléctrodo de evaporação de metal de 2 vias, backup
Sistema de refrigeração a água	Monitorização da pressão da água
Janela de observação	100 mm de diâmetro, com vidro do filtro de raios X.
Sistema de controlo	Sistema de ecrã de toque
Dimensões da câmara de vácuo	Dimensões da câmara de evaporação: Φ 500 * H500mm
Pistola de electrões	Nova pistola electrónica, um cadinho de 6 orifícios
Plataforma giratória de amostras	Tamanho da amostra: < 150 mm, a mesa da amostra pode rodar, a superfície da mesa da amostra e o ajuste da distância da superfície da pistola de electrões para cima e para baixo, a distância de ajuste é de 200 mm a 250 mm, a mesa da amostra pode ser aquecida, temperatura de aquecimento < 500ºC.
Grau de vácuo do sistema	A. vácuo limite: Cozedura durante 12~24 horas, bombeamento contínuo, vácuo inferior a 5x10-5PA B. taxa de extracção: Um vácuo < 5x10 em 40 minutos, a partir da atmosfera - 4Pa C. taxa de fuga do sistema: Após 12 horas de paragem, meça o grau de vácuo da câmara de vácuo < 10 Pa
A unidade de vácuo	FB1200 bomba molecular e VRD-16 bomba de fase dianteira válvula de extracção, válvula de gaveta e válvula de corte e composto medidor de vácuo e interface do medidor de vácuo de monitorização de revestimento (standby)

Está disponível um sistema de revestimento de evaporação personalizado!

Fotos detalhadas

 

 

 

 

 

 

 

Perfil da empresa

 

P. você é um fabricante ou uma empresa de negociação?

A. somos fabricantes profissionais de instrumentos de laboratório, tendo a nossa própria equipa de design e fábrica com experiência técnica madura, e podemos garantir a qualidade dos produtos e o preço ideal.

P. como é o sistema de serviço pós-venda do produto da sua empresa?

A.  o período de garantia do produto é de 12 meses, podemos fornecer manutenção vitalícia. Temos departamentos profissionais de pré-vendas e pós-venda que podem responder-lhe no prazo de 24 horas para resolver quaisquer problemas técnicos.

P. quanto tempo demora o tempo de entrega? Se pretender personalizar o instrumento, quanto tempo demora?

A.1. Se os bens estiverem em estoque, é 5-10 dias. 2. Podemos fornecer serviços personalizados para nossos clientes. Normalmente, demora 30-60 dias, dependendo das especificações do instrumento personalizado.

P. a fonte de alimentação e a ficha do nosso país são diferentes. Como você resolve?

A. podemos fornecer um transformador e uma ficha de acordo com os seus requisitos locais, de acordo com a ficha de alimentação de diferentes países.

P. como pagar?

A.T/T, L/C, D/P, etc., recomenda-se a utilização da Garantia Comercial da China.

P. como é o pacote de mercadorias? Métodos de entrega?

A.1. Embalagem de caixa de madeira com sinal de fumigação de exportação padrão 2. Transporte expresso, aéreo e marítimo de acordo com os requisitos do cliente, encontre a forma mais adequada.

Mais perguntas, por favor contacte-nos.