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Fornecedor Auditado Equipamento de revestimento de deposição de evaporação de feixe de electrões com Crucible Electronic de 6 orifícios Pistola
Evaporação do feixe de elétrons (feixe eletrônico) -- VISÃO GERAL
Durante um processo de evaporação de feixe electrónico, a corrente passa primeiro através de um filamento de tungsténio que leva ao aquecimento de joules e à emissão de electrões. É aplicada alta tensão entre o filamento e o coração para acelerar estes eletrões libertados em direção ao cadinho que contém o material a depositar. Um forte campo magnético enfoca os elétrons em um feixe unificado; na chegada, a energia desse feixe de elétrons é transferida para o material de deposição, fazendo com que evapore (ou sublime) e se deposite no substrato. A adição de uma pressão parcial de gás reativo, como oxigénio ou azoto, à câmara durante a evaporação, pode ser utilizada para depositar de novo ativamente películas não metálicas.
A evaporação do feixe de elétrons tem muitas vantagens sobre a evaporação térmica resistiva. Primeiro, a fonte de feixe eletrónico é capaz de aquecer materiais a temperaturas muito mais elevadas do que o possível utilizando um aquecedor resistente de barco ou cadinho. Isto permite taxas de deposição muito elevadas e evaporação de materiais de alta temperatura e metais refractários, como tungsténio, tântalo ou grafite. Em segundo lugar, as películas depositadas pela evaporação do feixe de electrões podem manter melhor a pureza do material de origem; o arrefecimento a água do cadinho limita firmemente o aquecimento do feixe de electrões apenas à área ocupada pelo material de origem, eliminando qualquer contaminação indesejada dos componentes vizinhos. Por fim, as fontes de evaporação do feixe de electrões estão disponíveis numa variedade de tamanhos e configurações, incluindo bolsas simples ou múltiplas. A indexação de bolso utilizando um carrossel motorizado permite que uma fonte deposite muitos materiais a partir de uma única localização de origem.Especificações do revestidor de evaporação por feixe de e:
| Nome do produto | Máquina de revestimento de evaporação do feixe de electrões |
| Modelo do produto | TN-EBH500-SS |
| Condição de serviço | A temperatura ambiente variou de 5 a 40ºC C. |
| Fonte | Trifásica de 380 V. |
| Tensão | 220 V 50 HZ |
| Potência | < 20 kW |
| Indicador de água | < 2,5 bar |
| Monitorização da camada revestida | Utilizando um monitor de espessura de membrana SQM160, a falta de homogeneidade da espessura do revestimento é inferior a 6%. |
| Lâmpada de aquecimento | Quatro lâmpadas de aquecimento de halogênio foram usadas para desgaseificação e uma lâmpada de néon para iluminação |
| A interface do eléctrodo | Com uma interface de eléctrodo de evaporação de metal de 2 vias, backup |
| Sistema de refrigeração a água | Monitorização da pressão da água |
| Janela de observação | 100 mm de diâmetro, com vidro do filtro de raios X. |
| Sistema de controlo | Sistema de ecrã de toque |
| Dimensões da câmara de vácuo | Dimensões da câmara de evaporação: Φ 500 * H500mm |
| Pistola de electrões | Nova pistola electrónica, um cadinho de 6 orifícios |
| Plataforma giratória de amostras | Tamanho da amostra: < 150 mm, a mesa da amostra pode rodar, a superfície da mesa da amostra e o ajuste da distância da superfície da pistola de electrões para cima e para baixo, a distância de ajuste é de 200 mm a 250 mm, a mesa da amostra pode ser aquecida, temperatura de aquecimento < 500ºC. |
| Grau de vácuo do sistema | A. vácuo limite: Cozedura durante 12~24 horas, bombeamento contínuo, vácuo inferior a 5x10-5PA B. taxa de extracção: Um vácuo < 5x10 em 40 minutos, a partir da atmosfera - 4Pa C. taxa de fuga do sistema: Após 12 horas de paragem, meça o grau de vácuo da câmara de vácuo < 10 Pa |
| A unidade de vácuo | FB1200 bomba molecular e VRD-16 bomba de fase dianteira válvula de extracção, válvula de gaveta e válvula de corte e composto medidor de vácuo e interface do medidor de vácuo de monitorização de revestimento (standby) |
1. Temos um coater de evaporação térmica com 1/2/3/4/8... fontes de evaporação, pode evaporação de metal e material orgânico
2. Material de câmara: Quartzo de elevada pureza --- vácuo baixo, câmara SS304 -- vácuo elevado
3. O monitor de espessura da película é opcional
4. Evaporação térmica, feixe de e, esmulação de magnetrões em uma máquina está disponível
5. Está disponível material diferente de fonte de evaporação
6. Personalize o coater de evaporação térmica de acordo com seu processo está disponível
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. É uma empresa abrangente que integra design, pesquisa e desenvolvimento, produção e vendas.
Os principais produtos da nossa empresa são: Coater de spin, coater de evaporação térmica, coater de saltro de magnetron, coater de saltro de plasma, coater de evaporação de feixe de e, Máquina de revestimento a laser por impulsos PLD, produto de limpeza de plasma, sistema CVD, sistema PECVD, máquina de corte de fios de diamante, forno/fogão de fusão, forno de fusão a arco, etc.
Nossos produtos são amplamente utilizados na área de pesquisa de ciência de materiais. Temos uma cooperação extensa com universidades, laboratórios e novas empresas de materiais nacionais. Foi exportado com sucesso para mais de 20 países e regiões, incluindo os Estados Unidos, o Reino Unido, a Alemanha, a Rússia, a Suíça, Canadá, Brasil, etc. e estabeleceram relações de cooperação de longo prazo com revendedores locais.
Se estiver a realizar investigação de materiais, contacte-nos e iremos fornecer-lhe serviços personalizados para tornar as suas experiências de investigação mais suaves!
Podemos enviar a máquina de revestimento por evaporação térmica por mar, por ar, por terra, b Express, também pode providenciar o envio de acordo com as suas necessidades.
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