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Coater de gagueira Lab Magnetron com cabina de transição para sem Specimen

After-sales Service: on-Line Service
Warranty: One Year
Type: gagueira de magnetrões
Coating: Vacuum Coating
Certification: CE
Condition: New

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Membro de Ouro Desde 2023

Fornecedores com licênças comerciais verificadas

Henan, China
para ver todos os rótulos de força verificados (15)
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Visão Geral

Informação Básica.

N ° de Modelo.
TN-MSH325G-III-DCDCRF-SS
nome do produto
Magnertron Sputter Coater
método de revestimento
gagueira de magnetrões
alimentação cc
500 w * 2
alimentação rf
500 w * 1
tamanho da câmara
325*510mm
tamanho do substrato
150 mm
Substrate Heating
Max. 500c
tamanho do alvo
2 Inch*3
fonte de alimentação
ca 220v
bomba de palheta rotativa
1,1l/s
Turbo-Molecular Pump
600 l/s
material da câmara
ss304
Pacote de Transporte
Fumigated Wooden Box
Especificação
600*650*1280mm
Marca Registrada
TN
Origem
China
Capacidade de Produção
20 Sets Per Month

Descrição de Produto

Coater de gagueira Lab Magnetron com cabina de transição para sem Specimen

Descrição do produto

GAGUEIRA DE MAGNETRON: VISÃO GERAL

A entortação é um processo de deposição com base em plasma, no qual os íons energéticos são acelerados em direção a um alvo. Os iões atingem o alvo e os átomos são ejetados (ou espaguados) da superfície. Estes átomos viajam para o substrato e incorporam-se na película de crescimento.

Características do coater de gagueira magnetron:

1. O coater sputtering do magnetron do alvo triplo é um equipamento de revestimento sputtering do magnetron cost-effective. É padronizado, modular e personalizável.

2. Há 1-polegada, 2-polegada e 3-polegada alvos do magnetron. Pode escolher o alvo de acordo com o tamanho do substrato a ser revestido.

3. O coater de gagueira magnetron está equipado com alimentação CC de 500 W e potência RF de 500 W. A alimentação CC é utilizada para os materiais de condução e a potência RF é utilizada para os materiais de isolamento.  Potência de 300 W a 1000 W em conformidade com as suas necessidades.

4. O coador de gagueira magnetron está equipado com um medidor de massa de alta precisão de dois canais. Os fluxómetros de massa de quatro canais são de
   disponível

5. O coater de gagueira magnetron está equipado com bomba turbomolecular e o vácuo final é de até 10E-5PA, estando disponíveis para compra outros tipos de bombas moleculares.

6. O percurso do gás da bomba molecular é controlado por várias válvulas solenóide. Pode abrir a câmara para retirar a amostra sem
   desligar a bomba.

7. Este produto pode ser equipado com um computador industrial integrado para controlar o sistema.
Lab Magnetron Sputtering Coater with Transition Cabin for Sem Specimen

Parâmetros do produto

Especificações do coater de gagueira de magnetron:

Tensão de trabalho
  1. VAC 220, 60Hz
Câmara de vácuo de entortamento
  1. Dimensão: ~ φ325xH510mm
  2. Material: 304 aço inoxidável
  3. Processamento da parede interior: Polimento eletrolítico
  4. Método de vedação: Vedante de borracha de flúor
  5. Janela de visualização (janela): ~ 4'' (100 mm) com obturador
Suporte para amostras
  1. Suporte de amostras com regulação central da parte inferior, com um obturador
  2. Suporte de amostras: Diâm. 150 mm
  3. Velocidade rotativa: 0 ~ 20 rpm regulável
  4. Temperatura de aquecimento: RT ~ 500oC
Pistola de Sputtering de magnetrões
  1. Quantidade: 3 conjuntos
  2. Ângulo ajustável - 45 ° ~ 45 °
  3. Orientação de rotação para baixo
  4. Dimensão alvo: Diâmetro 2'', espessura máx. 3 mm
Monitor de cristais de quartzo
  1. Números de canais: Um canal
  2. Precisão: 0.1Ã
  3. Velocidade de medição: 100 ms - 1 S ajustável
  4. Gama de medição: 500 000Ã (alumínio como referência)
  5. Cristal de quartzo do sensor padrão: 6 MHz
Sistema de vácuo Bomba de apoio
  1. Bomba de palhetas rotativas de duplo estágio
  2. Taxa de bombeamento: 1,1L/s
Bomba molecular
  1. Taxa de bombeamento: 600 L/s
  2. Velocidade nominal de rotação: 27000rpm
  3. Tempo de arranque: < 5 min
  4. Método de refrigeração: Refrigeração a água
  1. Grau de vácuo: 5 * 10-4Pa
Manómetro de vácuo composto
  1. Medidor de resistência e medidor de ionização
  2. Gama de medição: 10-5PA ~ 105 Pa
Fonte de alimentação CC
  1. Quantidade: 2 conjuntos
  2. Potência de saída: 0 ~ 500 W.
  3. Tensão de saída: 0 ~ 600V
  4. Corrente máxima de saída: 1A
  5. Hora de início: 1 ~ 10s
Fonte de alimentação RF
  1. Quantidade: 1 conjunto
  2. Potência de saída: 0 ~ 500 W.
  3. Frequência RF: 13.56 MHz
  4. Método de correspondência: automatch (correspondência automática)
  5. Potência reflectida: < 100 W
  6. Estabilidade de potência: ± 0.1%
Controlador do fluxo de massa
  1. MFC de um canal para gás ar
  2. Intervalo de medição: 0 ~ 200sccm
Refrigerador de água
  1. Taxa de fluxo: 10 l/min
  2. Potência: 0,1 kW
  3. Potência de arrefecimento: 50 W/ºC
  4. Capacidade do depósito: 9 L.
Controlo
  1. Controlo automático PLC
 Câmara de transição
  1. O tamanho da câmara será de para máx.. discos de 4 polegadas.
  2. Equipado com um grupo de bombas moleculares compactas
  3. Bomba de apoio: VRD-4, velocidade de bombeamento: 1,1L/s
  4. Modelo de bomba molecular: TG60F
  5. Velocidade de bombeamento da bomba molecular: 60L/s

 

Fotos detalhadas

1.WE têm o coater sputtering do magnetron com 1 alvo, 2 alvos, 3 alvos, 4 tagrst, etc. o alvo pode ser projetado no alto ou no fundo da câmara.
2. 0 - potência CC de 1000 W ou alvo de potência RF disponível. A função de polarização é opcional.
3. Tamanho alvo: 1 polegada, 2 polegadas, 3 polegadas, 4 polegadas, etc.
4. O alvo magnético forte e o alvo magnanente magnético são opcionais.
5. Coater de gagueira de magnetron com evaporação, feixe de e está disponível.
6. Serviço personalizado sempre disponível!
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Lab Magnetron Sputtering Coater with Transition Cabin for Sem Specimen

Perfil da empresa

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Embalagem e envio

PODEMOS enviar o magnetron espaguando coater por terra, por mar, por ar, por expresso, também pode providenciar pacote e remessa de acordo com suas necessidades.
Lab Magnetron Sputtering Coater with Transition Cabin for Sem Specimen

PERGUNTAS FREQUENTES

P. você é fabricante ou empresa de negociação?
A. somos fabricantes profissionais de instrumentos de laboratório, temos uma equipa de I&D profissional e uma oficina, que pode prometer a qulaidade e o serviço pós-venda.  

P. como está a sua garantia?
A.  a nossa garantia é de 12 meses e fornece manutenção vitalícia. Oferecemos 24 horas de serviço on-line.

P. quanto tempo demora o tempo de entrega? Se pretender personalizar o instrumento, quanto tempo demora?
A. 5-10 dias ---- em loja. Customzed produtos ---- geralmente leva 30-60 dias dependendo de suas necessidades.

P. fonte de alimentação e ficha?
A. podemos fornecer produtos que se acentrassem com a tensão local e com o padrão de ficha.

P. como pagar?
A.  T T, L/C, D/P, ETC.

P. como é o pacote de mercadorias? Métodos de entrega?
A.  fumigação de exportação padrão assina embalagem de caixa de madeira ou como suas exigências.
 

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Fabricante / Fábrica
Produtos Principais
Evaporation Coater; Film Coater
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