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Fornecedor Auditado Lab novo design Dual Target High Vacuum 2 polegadas Magntron Mate em fretamento
GAGUEIRA DE MAGNETRON: VISÃO GERAL
A entortação é um processo de deposição com base em plasma, no qual os íons energéticos são acelerados em direção a um alvo. Os iões atingem o alvo e os átomos são ejetados (ou espaguados) da superfície. Estes átomos viajam para o substrato e incorporam-se na película de crescimento.
Características do Coater de Sputtering de Magnetron:
1. O coater de gagueira DC magnetron de duplo alvo é um equipamento de revestimento de gagueira magnetrões económico e é normalizado,
modular e personalizável. Os dois alvos podem satisfazer as necessidades de revestimentos multicamadas ou múltiplos.
2. Há um 1-polegada, 2-polegada e 3-polegada, alvo do magnetron a opcional. Pode escolher o alvo consoante o tamanho da
substrato. O revestidor está equipado com duas fontes de alimentação CC de 500 W. é utilizado para a preparação de materiais condutores.
3. A máquina de revestimento está equipada com um fluxômetro de massa de alta precisão de dois canais. O fluxômetro de massa de quatro canais está disponível.
4. O sistema de vácuo é uma bomba turbo-molecular, o vácuo final é de até 1.0E-5PA, uma bomba personalizada está disponível.
5. O percurso do gás da bomba molecular é controlado por várias válvulas solenóide, pode abrir a câmara para retirar a amostra sem desligar a bomba.
6. O calculador integrado de comando está disponível. Todas as funções podem ser redefinidas pelo calculador
Especificações do coater sputtering do magnetron
| Nome do produto | Coater de gagueira Magntron de alvo duplo | |
| Modelo | TN-MSZ300S-II-DCDC-SS | |
| Volatge | AC220 V, 50 Hz | |
| Potência total | 6 KW | |
| Vácuo do sistema | < 5 × 10 - 4 Pa | |
| Plataforma de amostras | Tamanho | φ150mm |
| Temperatura de aquecimento | < 500ºC | |
| Precisão | ± 1ºC | |
| Velocidade de rotação | 0 ~ 20 rpm, ajustável | |
| Pistola de esbater | Tamanho do alvo | Φ50.8mm, espessura < 3 mm |
| Arrefecimento | Arrefecimento a água | |
| Fluxo | 10 l/min | |
| Câmara de vácuo | Tamanho da câmara | φ325mm * 500 mm |
| Material da câmara | SUS304 | |
| Obervation (Observação) | φ100mm | |
| Abertura | Topo aberto | |
| Sistema de gás | Medidor de fluxo de massa de uma via, ar-200SCCM | |
| Sistema de vácuo | Sistema de bomba molecular -- 600L/s | |
| Espessura da película | Monitor de espessura de película de cristal de quartzo, frequência 0.10 Å | |
| Potência de rotação | Fonte de alimentação DC pwoer de 500 W * 2 | |
| Conntrol | PLC e ecrã táctil | |
| Tamanho total | 540 * 540 * 1000 mm | |
| Peso | 145 kg | |
1.WE tem um coater gagueira de magnetron com 1 alvo, 2 alvos, 3 alvos, 4 alvos, etc. o alvo pode ser projetado no alto ou no fundo da câmara.
2. 0 - potência CC de 1000 W ou alvo de potência RF disponível. A função de polarização é opcional.
3. Tamanho alvo: 1 polegada, 2 polegadas, 3 polegadas, 4 polegadas, etc.
4. O alvo magnético forte e o alvo magnético permanente são opcionais.
5. Coater de gagueira de magnetron com evaporação, feixe de e está disponível.
6. Serviço personalizado sempre disponível!
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. É uma empresa abrangente que integra design, pesquisa e desenvolvimento, produção e vendas.
Os principais produtos da nossa empresa são: Coater de spin, coater de evaporação térmica, coater de saltro de magnetron, coater de saltro de plasma, coater de evaporação de feixe de e, Máquina de revestimento a laser por impulsos PLD, produto de limpeza de plasma, sistema CVD, sistema PECVD, máquina de corte de fios de diamante, forno/fogão de fusão, forno de fusão a arco, etc.
Nossos produtos são amplamente utilizados na área de pesquisa de ciência de materiais. Temos uma cooperação extensa com universidades, laboratórios e novas empresas de materiais nacionais. Foi exportado com sucesso para mais de 20 países e regiões, incluindo os Estados Unidos, o Reino Unido, a Alemanha, a Rússia, a Suíça, Canadá, Brasil, etc. e estabeleceram relações de cooperação de longo prazo com revendedores locais.
Se estiver a realizar investigação de materiais, contacte-nos e iremos fornecer-lhe serviços personalizados para tornar as suas experiências de investigação mais suaves!
PODEMOS enviar o coater do saltro do magnetron pela terra, pelo mar, pelo ar, por expresso, também pode arranjar pacote e transporte de acordo com suas exigências.
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