Máquina para preparação de sulfeto de plasma Enhanced CVD (PECVD)

• After-sales Service: on-Line Service
• Warranty: One Year
• Application: Industry, School, Lab
• Customized: Customized
• Certification: CE
• Structure: Portable
• N ° de Modelo.: TN-PECVD-T01
• Material: Stainless Steel
• Type: Tubular Furnace
• nome do produto: Pecvd System
• material do tubo: quartzo de elevada pureza
• temperatura: 1200 c.
• zona de aquecimento: 200mm*1
• tamanho do tubo do forno: 50 * 450 mm
• alimentação rf: 150 w.
• frequência rf: 13,56 mhz
• Pacote de Transporte: Fumigated Wooden Box
• Marca Registrada: TN
• Origem: China
• Código HS: 8401200000
• Capacidade de Produção: 20 Sets Per Month

Descrição de Produto

Descrição do produto

Máquina para preparação de sulfeto de plasma Enhanced CVD (PECVD)

1. O sistema PECVD é fornecido com um gerador de plasma, um forno de tubos de zona de aquecimento triplo, um forno de tubo de zona de aquecimento único, um
   Fonte de alimentação de RF e um sistema de vácuo.

2. O dispositivo de preparação de películas gráficas PECVD ioniza um gás que contenha Um átomo constituinte da película através de uma saída RF de 13.56
  MHz, forma um plasma em uma câmara de vácuo, utiliza forte atividade química do plasma, melhora as condições de reação, e.
  utiliza a atividade plasmática para promover a reação e deposita uma película desejada no substrato.

3. Este sistema PECVD pode ser utilizado na preparação de grafenos, na preparação de sulfuretos e na preparação de materiais para nanómetros. Vários
  Filmes como SiOx, SiNx, silicone amorfo, silicone microcristalino, nano-silício, SIC, semelhante a diamante, etc. podem ser depositados
   a superfície de uma folha ou de uma amostra de forma semelhante, e os filmes dopados tipo p e tipo n também podem ser depositados. A película depositada
   tem boa uniformidade, compacidade, aderência e isolamento. É amplamente utilizado nos campos de cortadores, moldes de alta precisão, duros
   revestimentos, decoração de alta qualidade, etc..

Parâmetros do produto

Especificações do sistema PECVD

Forno de tubo de três zonas de aquecimento	Modelo	TN-1200X-III-50IC
	Material do tubo	Quartzo de elevada pureza
	Diâmetro do tubo	50 mm
	Comprimento do tubo	1000 mm
	Comprimento da câmara do forno	660 mm
	Comprimento da zona de aquecimento	200 mm e 200 mm
	Temperatura de funcionamento	0 ~ 1100ºC
	Precisão do controlo da temperatura	± 1ºC
	Modo de controlo da temperatura	controlo da temperatura do programa de 30 ou 50 segmentos
	Modo de visualização	LED (destaque do visor digital do tubo)
	Método de vedação	flange de vácuo de aço inoxidável 304
	Interface de flange	Junta da manga de corte de 1/4" (junta Ø8 Pagoda)
	Vácuo	4.4 × 10E-3Pa
	Fonte de alimentação	CA: 220 V 50 / 60 Hz
Forno de tubo de zona de aquecimento simples	Modelo	TN-O1200-50IC
	Material do tubo	Quartzo de elevada pureza
	Diâmetro do tubo	50 mm
	Comprimento do tubo	1000 mm
	Comprimento da câmara do forno	440 mm
	Comprimento da zona de aquecimento	400 mm
	Zona de temperatura constante	200 mm
	Temperatura de funcionamento	0 ~ 1100ºC
	Precisão do controlo da temperatura	± 1ºC
	Modo de controlo da temperatura	controlo da temperatura do programa de 30 ou 50 segmentos
	Modo de visualização	LED (destaque do visor digital do tubo)
	Método de vedação	flange de vácuo de aço inoxidável 304
	Interface de flange	Junta da manga de corte de 1/4" (junta Ø8 Pagoda)
	Vácuo	4.4 × 10E-3Pa
	Fonte de alimentação	CA: 220 V 50 / 60 Hz
Sistema de saída RF	Gama de potência	0 ~ 500 W ajustável
	Frequência de funcionamento	3,56 MHz e 0.005%
	Modo de trabalho	Saída contínua
	Modo de visualização	LCD
	Modo de impedância correspondente	Pode corresponder, o brilho é coberto uniformemente com três tubos de forno de zona de aquecimento
	Estabilidade de potência	≤ 2 W.
	Potência refletida de funcionamento normal	≤ 3 W.
	Potência refletida amplificada	≤ 70 W.
	Componente harmónico	≤ - 50 dBc
	Eficiência da máquina	≥ 70%
	Factor de potência	≥ 90%
	Tensão/frequência de alimentação	Frequência CA monofásica (187V ~ 153V) 50 Hz
	Modo de controlo	Controlo interno/PLC analógico/RS232/comunicação 485
	Definições de protecção de energia	Protecção contra sobrecorrente CC, protecção contra sobreaquecimento do amplificador de potência, protecção de potência reflectida
	método de arrefecimento	Arrefecimento por ar forçado
	Comprimento do brilho	No ar, a fonte de alimentação de RF e a bobina são combinadas para brilhar e o brilho pode preencher o comprimento do forno em três zonas de aquecimento.
Sistema de fornecimento de gás	Medidor de massa de quatro canais	Beijing Qixing Huachuang, medidor de massa
	Gama de fluxo	Gama MFC1: 0 ~ 200sccm MFC2: 0 ~ 200sccm Intervalo MFC3: 0 ~ 500sccm MFC4 intervalo: 0 ~ 500sccm Correspondente aos gases H2, CH4, N2, ar,
	precisão da medição	± 1.5% F.S
	Repetibilidade	± 0.2% FS
	Precisão linear	± 1% F.S.
	Tempo de resposta	≤ 4 s.
	Pressão de trabalho	- 0,15Mpa ~ 0,15Mpa
	controlo de fluxo	Controlo do ecrã táctil LCD, visor digital, cada canal de gás contém uma válvula de agulha para controlo individual
	Interface de admissão	Pode ser ligado a aço inoxidável com 1/4NPS ou 6 mm de diâmetro exterior tubo de aço
	Interface de saída	Pode ser ligado a aço inoxidável com 1/4NPS ou 6 mm de diâmetro exterior tubo de aço
	Método de ligação	Junta da manga de corte dupla
	Temperatura de funcionamento	5 ~ 45ºC
	Estreia de gás	Equipado com dispositivo de pré-mistura de gás
Sistema de escape	Bomba mecânica	GHD-031B
	Taxa de bombeamento	4L/S
	Interface de escape	KF16
	Medição de vácuo	Indicador Pirani
	Vácuo máximo	1 × 10E-1Pa
	Fonte de alimentação	CA: 220 V 50 / 60 Hz
	Interface de bombeamento	KF40
	Bomba mecânica	GHD-031B
Calha	Comprimento da calha	2,5 m ~ 3 m. Ele pode realizar o deslizamento de um comprimento de posição da fornalha na fornalha de três zonas de aquecimento para alcançar a rápida subida e queda de temperatura.

 

Fotos detalhadas

1. Temos máquina CVD/PECVD com sistema de suprimento de gás, sistema de vácuo, forno de tubo e gerador de plasma.

2. Forno do tubo (temperatura): 1200C, 1400C, 1600C, temperatura personalizada disponível.

3. Forno de tubo (zona de aquecimento): Zona única, zona dupla, zona tripla, n.o personalizado da zona de aquecimento disponível.

4. Material do tubo: O quartzo, corindo, liga, e outro material do tubo são personalizáveis.

5. O tubo com diâmetro e comprimento diferentes é personalizável.

6. Gerador de plasma: 100 W, 150 W, 300 W, 500 W, 1000 W, e outra potência do gerador de plasma é personalizável.

7. Fluxômetro: O fluxômetro de 1~3 ou de vários canais é opcional com base no seu processo.

Forno de tubo CVD com zona de aquecimento única de 1200C  

Forno de tubo CVD/PECVD com zona de aquecimento triplo 1200C  

PECVD -- rolo a rolo
PECVD - tipo rotativo

Sistema HPCVD com plasma aprimorado

Sistema DCCVD ( CCA de plasma de corrente contínua catodo quente)

Perfil da empresa

Embalagem e envio

Podemos enviar as máquinas CVD, PECVD por mar, por ar, por terra e por expresso, também podemos providenciar o envio de acordo com as suas necessidades.

PERGUNTAS FREQUENTES

P. você é fabricante ou empresa de negociação?
A. somos fabricantes profissionais de instrumentos de laboratório, temos uma equipa de I&D profissional e uma oficina, que pode prometer a qulaidade e o serviço pós-venda.  

P. como está a sua garantia?
A.  a nossa garantia é de 12 meses e fornece manutenção vitalícia. Oferecemos 24 horas de serviço on-line.

P. quanto tempo demora o tempo de entrega? Se pretender personalizar o instrumento, quanto tempo demora?
A. 5-10 dias ---- em loja. Customzed produtos ---- geralmente leva 30-60 dias dependendo de suas necessidades.

P. fonte de alimentação e ficha?
A. podemos fornecer produtos que se acentrassem com a tensão local e com o padrão de ficha.

P. como pagar?
A.  T T, L/C, D/P, ETC.

P. como é o pacote de mercadorias? Métodos de entrega?
A.  fumigação de exportação padrão assina embalagem de caixa de madeira ou como suas exigências.

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