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Fornecedor Auditado Monitor de cristais de quartzo de laboratório para taxa de deposição de vácuo e película espessura
O TM106 é um sensor/monitor de espessura de alta precisão para o processo de deposição de película fina. Baseia-se no princípio de que a massa de uma película depositada num cristal de quartzo pode ser medida através da monitorização da alteração da frequência oscilante do cristal. Se a densidade do material depositado for conhecida, a espessura pode ser determinada com alta resolução de sub-Angstrom (0.037 Å para este equipamento).
O monitor de espessura da película é adequado para medir a espessura do revestimento de vácuo, como a evaporação de resistência, a evaporação do feixe de electrões, a esvoaçamento de magnetrões e a placa de iões. Através do ecrã táctil e do visor digital do tubo, pode obter dados de deposição completos, utilizando equipamento de software e hardware mais avançado, melhorando ainda mais a capacidade anti-interferência do instrumento.
Características do monitor de espessura da película
Especificações do monitor de espessura da película
| Frequência cristalina | 6 MHz (cristal de 2,5 M 3M 5M 9M opcional) |
| Modo de visualização | ecrã táctil a cores de 5" e taxa de visualização do tubo digital e. espessura sólida |
| Modo de funcionamento | Ecrã de toque |
| Intervalo de apresentação da espessura | 0 - 99μ9999Å |
| Resolução do ecrã de espessura | 1Å (alumínio) |
| Intervalo de apresentação da taxa | 0 - 999.9Å |
| Resolução de visualização da taxa | 0.1Å/s |
| Número de camadas de revestimento | 99 |
| Entrada da sonda | 4 formas (escolha uma para trabalhar) |
| Fator de ferramenta | 0.01-99.99 |
| Armazenamento de material | 257 tipos e 10 personalização |
| Comunicação | RS232/RS485 |
| Controlo de fonte/deflector | 2 conjuntos de contactos, atingindo a fonte de corte/evaporação de espessura |
| Visor de revestimento | Curva/valor da taxa |
| Tempos do circuito de revestimento | 99 |
| Tamanho | 480 × 250 × 89 mm (2U 19") |
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