Laboratório Coater de alvo triplo com alvo de magnetron e mesa de vibração Para filmes não metálicos e metálicos

• Serviço pós-venda: 12 meses
• Garantia: 12 meses
• Tipo: Linha de Produção de Revestimento
• Revestimento: Revestimento de Vácuo
• Substrato: Aço
• Certificação: CE
• N ° de Modelo.: TN-MSH300S-DCDCRF
• Condição: Nova
• modo de arrefecimento: arrefecimento a água
• temperatura de aquecimento: máx. 500ºc
• rode a velocidade: 1-20rpm ajustável
• tamanho do substrato: diâmetro 185 mm
• câmara de vácuo: aço inoxidável
• Magnetron Sputtering Target Head: 3 Magnetron Sputtering Heads
• tamanho da plataforma de amostras: Maximum 4" Substrate Can Be Placed
• velocidade rodada: 1-20 Rpm (Adjustable)
• a temperatura de aquecimento mais elevada: 500ºc
• precisão do controlo da temperatura: +/- 1.0 °c
• controlador de fluxo de gás: 2 Mass Flow Meters Installed Inside The Instrument
• bomba de vácuo: a Set of Molecular Pump System, Using One-Button O
• sistema de refrigeração: 16 l/min
• Pacote de Transporte: Fumigated Wooden Box
• Especificação: 1090mm*900mm*1250mm
• Marca Registrada: TN
• Origem: China
• Código HS: 8486209000
• Capacidade de Produção: 200/Month

Descrição de Produto

 Laboratório Coater de alvo triplo com alvo de magnetron e mesa de vibração
Para filmes não metálicos e metálicos

 

Breve - introdução
Três instrumento de revestimento de esmulação de magnetrões alvo é um equipamento de revestimento de esmulação de magnetrões econômico desenvolvido independentemente pela nossa empresa, que tem as características de padronização, modularização e personalização.

O equipamento pode ser utilizado para preparar filmes ferreléctricos de camada única ou multicamada, películas condutoras, películas de liga, películas semicondutores, películas cerâmicas, filmes dieléctricos, filmes ópticos, películas de óxido, películas duras, películas de politetrafluoroetileno, etc.

A fonte de alimentação CC pode ser utilizada para a preparação de películas metálicas, a fonte de alimentação RF pode ser utilizada para a preparação de películas não metálicas e os três alvos podem satisfazer as necessidades de revestimento múltiplo ou de várias camadas. Comparado com equipamentos semelhantes, o instrumento de revestimento de esfigamento de três alvos da magnetron não é apenas amplamente utilizado, mas também tem as vantagens de pequeno volume e fácil operação. É um equipamento ideal para a preparação de películas de material no laboratório.

 Parâmetros técnicos

Três máquinas de revestimento de esfigaçamento de magnetrões alvo  (Fonte de alimentação CC e fonte de alimentação RF)
Amostra tabela	Modo de entortamento	Orientação de entortamento para cima, a plataforma de amostras está localizada acima do alvo de sputtering; Suporte de amostras com definição superior central, com um obturador
	Suporte para amostras	φ150mm
	Precisão de controlo	± 1ºC
	Gama de aquecimento	Temperatura ambiente ~ 500ºC
	Velocidade ajustável	1-20rpm ajustável
	Distância-alvo base ajustável	A distância entre o alvo e o substrato pode ser de ajustado electricamente
Magnetron pistola de alvo	Plano alvo	Alvo de plano circular
	Vácuo de entortamento	10 Pa ~ 0,2 Pa
	Diâmetro alvo	50 ~ 50,8 mm
	Espessura do alvo	2 ~ 5 mm Nota: Se o alvo for material magnético (como Fe, Co, Ni), a espessura não pode ser superior a 1,5 mm e é necessária uma pistola de esfigamento magnética forte,   será necessário um custo adicional.
	Tensão de isolamento	> 2000 V
	Quantidade	2 polegadas * 3; com obturadores para cada arma
	Especificação do cabo	SL-16
	Temperatura alvo da cabeça	< 65ºC
Vácuo  câmara	Tratamento da parede interior	Polimento eletrolítico
	Tamanho da câmara	φ325mm * 500 mm
	Material da câmara	304 aço inoxidável
	Janela de observação	Janela de quartzo, diâmetro φ100mm com obturador
	Método aberto	Abertura superior, suporte auxiliar do cilindro
Sistema de controlo de gás	Controlo de fluxo	medidor de fluxo de massa de 1 via: Oxigénio: Gama 0 ~ 100SCCM ou Gás árgon: Intervalo 0 ~ 200 SCCM ou Azoto: Gama 0 ~ 500 SCCM (Nota: Para obter um ambiente mais elevado e isento de oxigénio, o vácuo a câmara deve ser limpa com gás inerte de elevada pureza, pelo menos, 3 vezes.)
	Tipo de gás	Árgon, azoto, oxigénio e outros gases inertes
	Tipo de válvula de controlo	Válvula solenóide
	Estado estático da válvula de controlo	Normalmente fechado
	Medir a linearidade	± 1.5% F.S
	Repetibilidade da medição	± 0.2% F.S
	Medir o tempo de resposta	≤ 8 segundos (T95)
	Gama de pressão de trabalho	0,3 MPa
	Pressão do corpo da válvula	3 MPa
	Temperatura de trabalho	(5 ~ 45) ºC
	Material da carroçaria	Aço inoxidável 316L
	Taxa de fuga no corpo da válvula	1 × 10 - 8 Pa.m3/s
	Juntas de tubos	1/4 ″ conector de compressão
	Sinal de entrada e saída	0 ~ 5 V.
	Fonte de alimentação	± 15 V ( ± 5%) ( 15 V 50 mA   , -15 V 200 mA)
	Dimensões totais (mm)	130 (largura) × 102 (altura) × 28 (espessura)
	Interface de comunicação	Protocolo MODBUS RS485
Fonte de alimentação CC	Fonte de alimentação	500 W.
	Tensão de saída	0 ~ 600 V.
	Corrente de saída máxima	1A
	Comprimento de sincronização	65000 S
	Hora de início	1~10 S
	Quantidade	2 conjuntos
Alimentação RF alimentação	Fonte de alimentação	500 W.
	Gama de potência de saída	0W-500W, com correspondência automática
	Potência máxima reflectida	100 W.
	Frequência RF	13,56 MHz e -0.005% de estabilidade
	Estabilidade de potência	≤ 5 W.
	Componente harmónico	menos de 50dbc
	Quantidade	1 conjunto

Fotos detalhadas

Perfil da empresa

 

PERGUNTAS FREQUENTES

P. você é um fabricante ou uma empresa de negociação?

A. somos fabricantes profissionais de instrumentos de laboratório, tendo a nossa própria equipa de design e fábrica com experiência técnica madura, e podemos garantir a qualidade dos produtos e o preço ideal.

P. como é o sistema de serviço pós-venda do produto da sua empresa?

A.  o período de garantia do produto é de 12 meses, podemos fornecer manutenção vitalícia. Temos departamentos profissionais de pré-vendas e pós-venda que podem responder-lhe no prazo de 24 horas para resolver quaisquer problemas técnicos.

P. quanto tempo demora o tempo de entrega? Se pretender personalizar o instrumento, quanto tempo demora?

A.1. Se os bens estiverem em estoque, é 5-10 dias. 2. Podemos fornecer serviços personalizados para nossos clientes. Normalmente, demora 30-60 dias, dependendo das especificações do instrumento personalizado.

P. a fonte de alimentação e a ficha do nosso país são diferentes. Como você resolve?

A. podemos fornecer um transformador e uma ficha de acordo com os seus requisitos locais, de acordo com a ficha de alimentação de diferentes países.

P. como pagar?

A.T/T, L/C, D/P, etc., recomenda-se a utilização de uma Garantia Comercial Made-in-China.

P. como é o pacote de mercadorias? Métodos de entrega?

A.1. Embalagem de caixa de madeira com sinal de fumigação de exportação padrão 2. Transporte expresso, aéreo e marítimo de acordo com os requisitos do cliente, encontre a forma mais adequada.

Obrigado pelos teus esforços para tornar o mundo melhor!
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