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Fornecedor Auditado Fonte de evaporação orgânica metálica coater de evaporação térmica combinada
RESUMO -- EVAPORAÇÃO TÉRMICA
A evaporação térmica é uma técnica de deposição física de vapor popular por causa de sua simplicidade. Durante este processo, um material num ambiente de vácuo elevado é aquecido ao seu ponto de evaporação através do aquecimento joule da embarcação resistiva em que se encontra. As moléculas vaporizadas viajam então da fonte ao substrato onde nucleam junto, formando um revestimento fino da película. Uma grande variedade de materiais pode ser depositada utilizando esta técnica, como alumínio, prata, níquel, crómio, magnésio, entre muitos outros.
Especificações do coater de evaporação térmica:
| 1. Câmara de vácuo | ||
| Aparência | 1 conjunto de câmara de vácuo em forma de D de aço inoxidável 304 de alta qualidade, o tamanho interno da câmara de vácuo é D400 * 480 mm, as portas duplas dianteiras e traseiras e a porta traseira adota uma porta quadrada articulada, que é conveniente para limpar a câmara de vácuo, depuração interna, manutenção e amostras de recolha e colocação; A porta dianteira adota uma porta quadrada de puxar horizontal e cada porta dianteira e traseira está equipada com 1 conjunto de vidros DN100; |
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| Inferior | 2 conjuntos de interfaces de fonte metálica, 4 conjuntos de interfaces de fonte orgânica, 1 conjunto de interfaces de bomba molecular, 2 conjuntos de interfaces de iluminação e 3 conjuntos de interfaces de sonda de espessura de película; | |
| Topo | 1 conjunto de interface de plataforma de amostras, 1 conjunto de interface de defletor elétrico, 1 conjunto de interface de válvula deflectora pneumática de vácuo elevado; | |
| Lado esquerdo | 1 conjunto de interface de válvula de flapper pneumática de vácuo elevado. | |
| 2. Sistema de fontes metálicas/orgânicas | ||
| Fonte de metal | Quantidade: 2 conjuntos 2 conjuntos de eléctrodos de cobre arrefecidos a água, compatíveis com barcos de evaporação (barcos de tungsténio, molibdénio e tântalo) e fios em espiral, equipados com defletores pneumáticos, 1 conjunto de fonte de alimentação de corrente contínua de 1 kW CC (display digital), precisão de ajuste de corrente 1A (ajuste fino), a potência satisfaz a evaporação comum de metais e óxidos de metal; |
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| Fonte orgânica | Quantidade: 4 conjuntos Barco de quartzo 4CC, 2 fontes de alimentação de controlo da temperatura (precisão do visor do medidor de controlo da temperatura de 0.1 ° C), intervalo de temperatura: RT ~ 500 ° C (precisão do controlo da temperatura ± 1 ° C), com deflector pneumático; |
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| Deflector | A fonte de evaporação é independente uma da outra e o defletor é separado para evitar a contaminação cruzada | |
| 3. Sistema de Estágio de amostra | ||
| Rotação do substrato | A velocidade é continuamente ajustável a partir de 0 ~ 30 rpm; | |
| Elevação de substrato | Elevação eléctrica, a distância entre o substrato e a fonte de evaporação é 200 ~ 300 mm continuamente ajustável através do ecrã táctil; | |
| Suporte para amostras | 20 * 20 mm substrato 8 peças | |
| Obturador de substrato | Obturador elétrico | |
| 4. Sistema de vácuo | ||
| Conjunto de bomba de vácuo | 1) 1 conjunto de bomba molecular de 600 L/s; 2) 1 conjunto de bomba de palhetas rotativas 8L/s. 3) 1 conjunto de válvula pneumática CF150 de alta vácuo; 4) 1 conjunto de válvula de flapper pneumática CF40 de vácuo elevado; 5) 2 conjuntos de válvulas de flapper pneumáticas de alto vácuo KF16; 6) 1 conjunto de válvula de flapper pneumática de alto vácuo KF40; 7) 1 conjunto de válvula solenóide de vácuo KF40; 8) 2 conjuntos de mangueiras de conexão da válvula da bomba KF40, 1 conjunto de T KF40; 9) 1 conjunto de manómetro de vácuo digital (gama de medição: 1 × 105 ~ 1 × 10-5PA) |
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| 5. Sistema de monitorização da espessura da película | ||
| Medidor de espessura da película | 1 conjunto de três canais de monitor de espessura de película de cristal de quartzo | |
| Sonda de espessura da película | 3 conjuntos de sonda CF35 de espessura de película arrefecida a água | |
| 6. Suporte de equipamento | ||
| 1) 1 conjunto de 40 estruturas de soldadura de tubos quadrados de aço carbono; 2) 4 peças de rodas universais, mover e ajustar; 3) 4 pedaços de pés M16, bloqueados e posicionados. |
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| 7. Sistema de Controle Eletrônico | ||
| Fonte de alimentação de metal | 1 conjunto | |
| Fonte de alimentação de fonte orgânica | 2 conjuntos (um para dois) | |
| Fonte de evaporação da fonte de alimentação do deflector | 1 conjunto | |
| Monitor de espessura de película de cristal de quartzo de três canais | 1 conjunto | |
| Mesa de amostras e respectiva fonte de alimentação do deflector | 1 conjunto | |
| Fonte de alimentação da iluminação de cozedura | 1 conjunto | |
| Controlo PLC | 1 conjunto, equipado com ecrã táctil | |
| Fonte de alimentação de controlo total | 1 conjunto | |
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| Tamanho da câmara | L1200 * W750 * 900 mm | |
| Luvas | 1 par | |
| Antecâmara grande | Diâmetro interior de 360 mm, comprimento de 600 mm | |
| Antecâmara pequena | Diâmetro interior 150 mm, comprimento 300 mm | |
| 9. Outros parâmetros | ||
| 1) proteção contra perda de fase, proteção contra funcionamento incorreto, bloqueio da ligação e funções de arranque e paragem de vácuo de uma tecla; 2) fonte de alimentação: ~ 220V sistema de fonte de alimentação de duas fases (pico 3KW); 3) abastecimento de água: Refrigerador pequeno, temperatura da água de refrigeração 5ºC ~ 35ºC, temperatura ambiente de trabalho: 10ºC ~ 40ºC; 4) fornecimento de ar: Bomba de ar silenciosa, pequena e isenta de óleo, que fornece pressão de ar de 0.2 - 0,3 MPa para acionar as válvulas pneumáticas; 5) vácuo final: 6 × 10-5PA, o tempo da atmosfera para 6 × 10-4Pa é inferior a 35 minutos (encher com azoto seco), encerrado durante 12 horas de grau de vácuo ≤ 10Pa. |
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1. Temos um coater de evaporação térmica com 1/2/3/4/8... fontes de evaporação, pode evaporação de metal e material orgânico
2. Material de câmara: Quartzo de elevada pureza --- vácuo baixo, câmara SS304 -- vácuo elevado
3. O monitor de espessura da película é opcional
4. Evaporação térmica, feixe de e, esmulação de magnetrões em uma máquina está disponível
5. Está disponível material diferente de fonte de evaporação
6. Personalize o coater de evaporação térmica de acordo com seu processo está disponível
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. É uma empresa abrangente que integra design, pesquisa e desenvolvimento, produção e vendas.
Os principais produtos da nossa empresa são: Coater de spin, coater de evaporação térmica, coater de saltro de magnetron, coater de saltro de plasma, coater de evaporação de feixe de e, Máquina de revestimento a laser por impulsos PLD, produto de limpeza de plasma, sistema CVD, sistema PECVD, máquina de corte de fios de diamante, forno/fogão de fusão, forno de fusão a arco, etc.
Nossos produtos são amplamente utilizados na área de pesquisa de ciência de materiais. Temos uma cooperação extensa com universidades, laboratórios e novas empresas de materiais nacionais. Foi exportado com sucesso para mais de 20 países e regiões, incluindo os Estados Unidos, o Reino Unido, a Alemanha, a Rússia, a Suíça, Canadá, Brasil, etc. e estabeleceram relações de cooperação de longo prazo com revendedores locais.
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