Sistema de revestimento CVD melhorado para plasma para deposição de filmes finos de silicone, silicone amorfo e silicone microcristalistalina

• After-sales Service: 12 Months
• Warranty: 12 Months
• Aplicação: Escola, Lab
• personalizado: personalizado
• Certificação: CE
• Estrutura: Área de Trabalho
• N ° de Modelo.: CVD tube furnace
• Material: Aço inoxidável
• Digitar: tubular Furnace
• sistema de fornecimento de gás: debitómetro de gás
• potência de saída de rf: 50 w.
• método de arrefecimento: arrefecimento a água
• bomba de vácuo: bomba de vácuo bipolar de palheta rotativa
• temperatura de trabalho: < 1200c
• debitómetro mássico: três vias
• frequência rf: 13,56 mhz
• vácuo máximo: 10 ^ - 1 pa
• zona de aquecimento: zonas duplas 200 mm
• Pacote de Transporte: Standard Export Fumigation Sign Wooden Box Package
• Marca Registrada: TN
• Origem: Henan China
• Código HS: 8486209000
• Capacidade de Produção: 5000/Month

Descrição de Produto

Sistema de revestimento CVD melhorado para deposição de plasma
De silicone Nitride, silicone amorfo e películas finas de silicone microcristalino

 

Descrição do produto

O instrumento é um dispositivo de deposição de vapor químico (PECVD) com plasma avançado, equipado com um sistema de movimento rolo-a-rolo. Não é utilizado apenas no processo contínuo de tratamento térmico da vareta de arame, como a preparação de fibra de carbono, a modificação da liga e de outros materiais da vareta de arame, mas também utilizado para o crescimento contínuo de grafeno na bobina.
O equipamento é composto por cinco partes: Um sistema de movimento rolo-para-rolo, forno de tubo aberto com zona de aquecimento de 1200ºC2, sistema de melhoramento de plasma de PE, sistema de vácuo e sistema de fornecimento de gás de medidor de caudal de protões de três vias. Todo o sistema pode funcionar no ambiente de protecção de vácuo/atmosfera.
A velocidade do dispositivo de enrolamento pode ser ajustada de 1 a 400 mm/min e o mecanismo adopta um ajuste de feedback, que pode corrigir automaticamente o desvio de velocidade e garantir a estabilidade da velocidade da amostra, assegurando assim a precisão da experiência.

 

Parâmetros do produto

 

1200ºC2 - zona de aquecimento - abrir forno de tubo	Item	Detalhe
	Tensão	AC220 V, 50 Hz
	Potência máxima	3 KW
	Zona de aquecimento	Zonas duplas 200 mm
	Temperatura de trabalho	≤ 1200ºC
	Precisão do controlo da temperatura	± 1ºC
	Método de controlo da temperatura	A curva de processo de 30 estágios AI-PID pode armazenar vários
	Material do tubo	Quartzo de elevada pureza
	Tamanho do tubo	φ80mm D.I. x 1400 mm C
	Modo de vedação	Flange de vácuo em aço inoxidável
	Medição de vácuo	Indicador de resistência
	Gás de trabalho	Gases não corrosivos, como hidrogénio, azoto, árgon e oxigénio
	Bomba de vácuo	Bomba de vácuo bipolar de palheta rotativa
	Vácuo máximo	10 ^ - 1 Pa
Medidor de massa de três vias	Item	Detalhe
	Tipo de válvula	Válvula de agulha de aço inoxidável
	Canais de gás	Três vias
	Gama de pressão	0.05 ~ 0,3 MPa
	Alcance	0~100 SCCM (ar) 0~200 SCCM (H2) 0~500 SCCM (CH4)
	Gama de controlo de fluxo	± 1.5%
	Volume do tanque de mistura	750 ml
	Material do percurso do gás	304 aço inoxidável
	Interface do tubo	Junta tipo mordida de 6,35 mm
	Fonte de alimentação	AC220 V 50 Hz
Alimentação RF	Item	Detalhe
	Potência de saída	500 W.
	Precisão de saída	± 1%
	Frequência RF	13,56MHz
	Estabilidade RF	± 0.005%
	Método de arrefecimento	Arrefecimento a água

 

 

Fotos detalhadas

 

Perfil da empresa

 

PERGUNTAS FREQUENTES

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A. somos fabricantes profissionais de instrumentos de laboratório, temos sua própria equipe de design e fábrica, temos uma experiência técnica madura e podemos garantir a qualidade dos produtos e o preço ideal.

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