After-sales Service: | on-Line Service |
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Warranty: | One Year |
Application: | Industry, School, Lab |
Customized: | Customized |
Certification: | CE |
Structure: | Portable |
Fornecedores com licênças comerciais verificadas
Sistema CVD melhorado plasma PECVD Graphene Machine With13.56 MHz RF Potência
Especificações do sistema PECVD
Forno de tubo de três zonas de aquecimento | Modelo | TN-1200X-III-50IC |
Material do tubo | Quartzo de elevada pureza | |
Diâmetro do tubo | 50 mm | |
Comprimento do tubo | 1000 mm | |
Comprimento da câmara do forno | 660 mm | |
Comprimento da zona de aquecimento | 200 mm e 200 mm | |
Temperatura de funcionamento | 0 ~ 1100ºC | |
Precisão do controlo da temperatura | ± 1ºC | |
Modo de controlo da temperatura | controlo da temperatura do programa de 30 ou 50 segmentos | |
Modo de visualização | LED (destaque do visor digital do tubo) | |
Método de vedação | flange de vácuo de aço inoxidável 304 | |
Interface de flange | Junta da manga de corte de 1/4" (junta Ø8 Pagoda) | |
Vácuo | 4.4 × 10E-3Pa | |
Fonte de alimentação | CA: 220 V 50 / 60 Hz | |
Forno de tubo de zona de aquecimento simples | Modelo | TN-O1200-50IC |
Material do tubo | Quartzo de elevada pureza | |
Diâmetro do tubo | 50 mm | |
Comprimento do tubo | 1000 mm | |
Comprimento da câmara do forno | 440 mm | |
Comprimento da zona de aquecimento | 400 mm | |
Zona de temperatura constante | 200 mm | |
Temperatura de funcionamento | 0 ~ 1100ºC | |
Precisão do controlo da temperatura | ± 1ºC | |
Modo de controlo da temperatura | controlo da temperatura do programa de 30 ou 50 segmentos | |
Modo de visualização | LED (destaque do visor digital do tubo) | |
Método de vedação | flange de vácuo de aço inoxidável 304 | |
Interface de flange | Junta da manga de corte de 1/4" (junta Ø8 Pagoda) | |
Vácuo | 4.4 × 10E-3Pa | |
Fonte de alimentação | CA: 220 V 50 / 60 Hz | |
Sistema de saída RF | Gama de potência | 0 ~ 500 W ajustável |
Frequência de funcionamento | 3,56 MHz e 0.005% | |
Modo de trabalho | Saída contínua | |
Modo de visualização | LCD | |
Modo de impedância correspondente | Pode corresponder, o brilho é coberto uniformemente com três tubos de forno de zona de aquecimento | |
Estabilidade de potência | ≤ 2 W. | |
Potência refletida de funcionamento normal | ≤ 3 W. | |
Potência refletida amplificada | ≤ 70 W. | |
Componente harmónico | ≤ - 50 dBc | |
Eficiência da máquina | ≥ 70% | |
Factor de potência | ≥ 90% | |
Tensão/frequência de alimentação | Frequência CA monofásica (187V ~ 153V) 50 Hz | |
Modo de controlo | Controlo interno/PLC analógico/RS232/comunicação 485 | |
Definições de protecção de energia | Protecção contra sobrecorrente CC, protecção contra sobreaquecimento do amplificador de potência, protecção de potência reflectida | |
método de arrefecimento | Arrefecimento por ar forçado | |
Comprimento do brilho | No ar, a fonte de alimentação de RF e a bobina são combinadas para brilhar e o brilho pode preencher o comprimento do forno em três zonas de aquecimento. | |
Sistema de fornecimento de gás | Medidor de massa de quatro canais | Beijing Qixing Huachuang, medidor de massa |
Gama de fluxo | Gama MFC1: 0 ~ 200sccm MFC2: 0 ~ 200sccm Intervalo MFC3: 0 ~ 500sccm MFC4 intervalo: 0 ~ 500sccm Correspondente aos gases H2, CH4, N2, ar, |
|
precisão da medição | ± 1.5% F.S | |
Repetibilidade | ± 0.2% FS | |
Precisão linear | ± 1% F.S. | |
Tempo de resposta | ≤ 4 s. | |
Pressão de trabalho | - 0,15Mpa ~ 0,15Mpa | |
controlo de fluxo | Controlo do ecrã táctil LCD, visor digital, cada canal de gás contém uma válvula de agulha para controlo individual | |
Interface de admissão | Pode ser ligado a aço inoxidável com 1/4NPS ou 6 mm de diâmetro exterior tubo de aço | |
Interface de saída | Pode ser ligado a aço inoxidável com 1/4NPS ou 6 mm de diâmetro exterior tubo de aço | |
Método de ligação | Junta da manga de corte dupla | |
Temperatura de funcionamento | 5 ~ 45ºC | |
Estreia de gás | Equipado com dispositivo de pré-mistura de gás | |
Sistema de escape | Bomba mecânica | GHD-031B |
Taxa de bombeamento | 4L/S | |
Interface de escape | KF16 | |
Medição de vácuo | Indicador Pirani | |
Vácuo máximo | 1 × 10E-1Pa | |
Fonte de alimentação | CA: 220 V 50 / 60 Hz | |
Interface de bombeamento | KF40 | |
Bomba mecânica | GHD-031B | |
Calha | Comprimento da calha | 2,5 m ~ 3 m. Ele pode realizar o deslizamento de um comprimento de posição da fornalha na fornalha de três zonas de aquecimento para alcançar a rápida subida e queda de temperatura. |
1. Temos máquina CVD/PECVD com sistema de suprimento de gás, sistema de vácuo, forno de tubo e gerador de plasma.
2. Forno do tubo (temperatura): 1200C, 1400C, 1600C, temperatura personalizada disponível.
3. Forno de tubo (zona de aquecimento): Zona única, zona dupla, zona tripla, n.o personalizado da zona de aquecimento disponível.
4. Material do tubo: O quartzo, corindo, liga, e outro material do tubo são personalizáveis.
5. O tubo com diâmetro e comprimento diferentes é personalizável.
6. Gerador de plasma: 100 W, 150 W, 300 W, 500 W, 1000 W, e outra potência do gerador de plasma é personalizável.
7. Fluxômetro: O fluxômetro de 1~3 ou de vários canais é opcional com base no seu processo.
Forno de tubo CVD com zona de aquecimento única de 1200C
Forno de tubo CVD/PECVD com zona de aquecimento triplo 1200C
PECVD -- rolo a rolo
PECVD - tipo rotativo
Sistema HPCVD com plasma aprimorado
Sistema DCCVD ( CCA de plasma de corrente contínua catodo quente)
Podemos enviar as máquinas CVD, PECVD por mar, por ar, por terra e por expresso, também podemos providenciar o envio de acordo com as suas necessidades.
P. você é fabricante ou empresa de negociação?
A. somos fabricantes profissionais de instrumentos de laboratório, temos uma equipa de I&D profissional e uma oficina, que pode prometer a qulaidade e o serviço pós-venda.
P. como está a sua garantia?
A. a nossa garantia é de 12 meses e fornece manutenção vitalícia. Oferecemos 24 horas de serviço on-line.
P. quanto tempo demora o tempo de entrega? Se pretender personalizar o instrumento, quanto tempo demora?
A. 5-10 dias ---- em loja. Customzed produtos ---- geralmente leva 30-60 dias dependendo de suas necessidades.
P. fonte de alimentação e ficha?
A. podemos fornecer produtos que se acentrassem com a tensão local e com o padrão de ficha.
P. como pagar?
A. T T, L/C, D/P, ETC.
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A. fumigação de exportação padrão assina embalagem de caixa de madeira ou como suas exigências.
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