O Plasma Enhanced Chemical Vapor Pecvd deposição de sistema com tubo de quartzo Fornalha

• After-sales Service: on-Line Service
• Warranty: One Year
• Aplicação: Indústria, Escola, Lab
• personalizado: personalizado
• Certificação: CE
• Estrutura: Portátil
• N ° de Modelo.: CY-1200X-III-50IC
• Material: Aço inoxidável
• Digitar: tubular Furnace
• nome do produto: Pecvd System
• material do tubo: quartzo de elevada pureza
• temperatura: 1200 c.
• zona de aquecimento: 200mm*1
• tamanho do tubo do forno: 50 * 450 mm
• alimentação rf: 150 w.
• frequência rf: 13,56 mhz
• Pacote de Transporte: Fumigated Wooden Box
• Marca Registrada: TN
• Origem: China
• Código HS: 8401200000
• Capacidade de Produção: 20 Sets Per Month

Descrição de Produto

Descrição do produto

O Plasma Enhanced Chemical Vapor PECVD deposição de sistema com tubo de quartzo fornalha

1. O sistema PECVD vem com um gerador de plasma, um triplo - aquecimento do tubo da zona de forno, uma zona de aquecimento do forno de tubo,
   A potência de RF de alimentação e um sistema de vácuo.

2.o PECVD graphene preparação de filme ionizes dispositivo um gás contendo uma componente de filme atom através de uma saída de RF de 13,56
  Mhz, forma um plasma em uma câmara de vácuo, utiliza uma forte actividade química do plasma, melhora as condições de reacção, e
  Utiliza a atividade de plasma para promover a reacção, depósitos de então um filme desejado no substrato.

3. Este sistema PECVD pode ser utilizado na preparação graphene sulfeto, preparação, nanômetro e preparação do material. Diversos
  Filmes como SiOx, SiNx, o silício amorfo, o silício microcristalina, nano-silício, SiC, diamante, etc podem ser depositados em
   A superfície de uma folha ou em forma semelhante de amostra e tipo-P e N-tipo filmes dopados também podem ser depositados. Os filmes depositados
   Tem boa uniformidade, compacidade, aderência, e o isolamento. É amplamente utilizado nos domínios dos cortadores de alta precisão, moldes de disco
   Revestimentos, high-end decoração,...

Os parâmetros do produto

Especificações do sistema PECVD

Três zonas de aquecimento do forno de tubo	Modelo	TN-1200X-III-50IC
	O material do tubo	Pureza elevada quartz
	Diâmetro do tubo	50mm
	Comprimento do tubo	1000mm
	Câmara do forno de comprimento	660mm
	Zona de Aquecimento do comprimento	200mm+200mm+200mm
	A temperatura de operação	0~1100ºC
	Controle de temperatura de precisão	± 1ºC
	Controle de temperatura mode	30 ou 50 programa de segmento de controle de temperatura
	Modo de exibição	O LED (realce tubo digital display)
	Método de vedação	304 aço inoxidável flange de vácuo
	Interface de Flange	1/4" da luva de corte (Ø8 pagoda junta)
	O vácuo	4,4×10E-3Pa
	Fonte de alimentação	AC:220V 50/60 Hz
A única zona de aquecimento do forno de tubo	Modelo	TN-S CI1200-50
	O material do tubo	Pureza elevada quartz
	Diâmetro do tubo	50mm
	Comprimento do tubo	1000mm
	Câmara do forno de comprimento	440mm
	Zona de Aquecimento do comprimento	400mm
	A temperatura constante de fuso horário	200mm
	A temperatura de operação	0~1100ºC
	Controle de temperatura de precisão	± 1ºC
	Controle de temperatura mode	30 ou 50 programa de segmento de controle de temperatura
	Modo de exibição	O LED (realce tubo digital display)
	Método de vedação	304 aço inoxidável flange de vácuo
	Interface de Flange	1/4" da luva de corte (Ø8 pagoda junta)
	O vácuo	4,4×10E-3Pa
	Fonte de alimentação	AC:220V 50/60 Hz
Saída de RF system	Faixa de Energia	0~500W ajustável
	Frequência de trabalho	3.56MHz+0.005%
	Modo de Trabalho	Saída contínua
	Modo de exibição	Visor LCD
	Equivalenciado modo de impedância	Pode corresponder, a vela incandescente é uniformemente cobertos com três zonas de aquecimento dos tubos da fornalha
	Estabilidade de potência	≤2 W
	Condições de trabalho normais Reflected power	≤3 W
	Amplificado Reflected power	≤70W
	Componente de harmônicos	≤-50dBc
	Eficiência da Máquina	≥70%
	Fator de Potência	≥90%
	Tensão de alimentação / Frequência	Monofásicos AC (187V~153V) Frequência 50/60Hz
	Modo de controlo	Controle interno / PLC analog / RS232 / 485 comunicação
	Fonte de parâmetros de protecção	DC proteção contra sobrecorrente, amplificador de potência protecção contra temperatura excessiva, refletiu a proteção de energia
	O método de refrigeração	Refrigeração por ar forçado
	Comprimento da Vela Aquecedora	No ar, o RF fonte de alimentação e a bobina são combinadas para acenderem e a vela incandescente pode encher o comprimento da fornalha em três zonas de aquecimento.
Alimentação de gás	Quatro canais debitómetro de massa	Pequim Huachuang Qixing, massa debitómetro de ar
	Faixa de fluxo	MFC1 faixa: 0~200SCCM MFC2 faixa: 0~200SCCM MFC3 faixa: 0~500SCCM MFC4 faixa: 0~500SCCM Correspondendo a gases H2, CH4, N2, ar,
	A precisão da medição	±1,5%F.S
	Repetibilidade	±0,2%FS
	Precisão linear	±1%F.S.
	Tempo de resposta	≤4s
	Pressão de trabalho	-0.15Mpa~0,15 Mpa
	Controle de fluxo	Ecrã táctil LCD controle, display digital, cada canal de gás contiver uma válvula de agulha de controle individuais
	Interface de Entrada	Pode ser ligado a 1/4NPS ou 6mm de diâmetro externo do tubo de aço inoxidável
	Interface de saída	Pode ser ligado a 1/4NPS ou 6mm de diâmetro externo do tubo de aço inoxidável
	Método de ligação	Corte duplo misto da luva
	A temperatura de operação	5~45ºC
	Pré-mistura de gás	Equipado com dispositivo de mistura
Sistema de Escape	Bomba mecânica	Dgh-031B
	Taxa de bombeamento	4L/S
	Interface de escape	KF16
	Medição de vácuo	Medidor de Pirani
	Limite de vácuo	1×10E-1Pa
	Fonte de alimentação	AC:220V 50/60 Hz
	Interface de bombeamento	KF40
	Bomba mecânica	Dgh-031B
Transporte ferroviário	Comprimento do trilho	2,5M~3m Ele pode perceber o deslizamento do forno de um comprimento de posição na zona de aquecimento da fornalha para atingir a temperatura rápida ascensão e queda.

 

Fotografias detalhadas

1. Temos DCV/PECVD máquina com alimentação de gás+Sistema de vácuo+forno de tubo + gerador de plasma.

2. Forno de tubo (temperatura) :1200C, 1400C, 1600C, temperatura personalizado está disponível.

3.  Forno de tubo (zona de aquecimento) :única zona, zona dupla, tripla zone, n personalizadas da zona de aquecimento está disponível.

4. O material dos tubos: quartzo, corindo, ligas e outro material do tubo é personalizável.

5. Tubo com diâmetro diferente e o comprimento é personalizável.

6. Gerador de plasma: 100W, 150W, 300 W, 500 W, 1000W, e outra fonte de plasma gerador é personalizável.

7. Debitómetro: 1~3 ou multicanal medidor de fluxo é opcional baseado no seu processo.

A DCV - Forno de tubo com 1200C única zona de aquecimento  

A DCV / PECVD - Forno de tubo com 1200C o triplo da zona de aquecimento  

PECVD--- rolo a rolo-
PECVD-- tipo rotativo
 

Outras máquinas:

Perfil da empresa

Embalagem e envio

Podemos enviar a DCV, PECVD máquina pelo mar, por via aérea, por terra e por expressar, também podemos organizar o embarque de acordo com os seus requisitos.

Perguntas mais frequentes sobre

P. Você fabricante ou trading?
A. somos fabricante profissional de instrumentos de laboratório, temos professional R&D equipe e oficina que pode prometer a qulaity e após-venda serviço.  

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A.  nossa garantia é de 12 meses, e fornecer manutenção vitalícia. Fornecemos 24 horas Serviço on-line.

P. Como é longo o tempo de entrega? Se pretender personalizar o instrumento, quanto tempo demora?
A. 5-10 dias----na loja. Produtos Customzied---que geralmente leva de 30-60 dias consoante as suas necessidades.

P. A Fonte de alimentação e ligue?
A. podemos fornecer produtos accroding à tensão local e plug padrão.

P. Como a pagar?
A.  T T L / C, D / P...

P. Como é o pacote de mercadorias? Métodos de entrega?
A.  exportação padrão sinal de fumigação caixa de madeira ou de embalagem como os seus requisitos.

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