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Fornecedor Auditado Coater de evaporação de vácuo elevado de três fontes
Três fontes de evaporação o Coater de vácuo elevado é um coater de vácuo elevado com três fontes de evaporação. O equipamento adota um design de câmara de vácuo tipo porta dianteira, que tem um espaço de câmara grande e uma forte capacidade de expansão, que pode satisfazer o revestimento de evaporação de amostras de vários estilos e grandes dimensões.
A câmara está equipada com uma plataforma de amostras superior e as peças de fixação ou fixação da amostra podem ser seleccionadas de acordo com o estilo de amostra do utilizador.
A plataforma de amostras é rotativa, aquecida e todas as operações são integradas através do ecrã tátil. O grupo de bombas de vácuo do equipamento é um sistema de vácuo de dois estágios, que consiste numa bomba de vácuo de palheta rotativa bipolar e numa bomba molecular turbo, que pode proporcionar um ambiente de vácuo elevado limpo e isento de óleo para experiências de revestimento a vácuo; O sistema de vácuo contém um sistema de válvulas pneumáticas completo, os utilizadores podem utilizar um botão através do ecrã de toque para realizar operações como extração de vácuo, amostragem sem paragem e encerramento completo.
Existem três grupos de fontes de evaporação neste equipamento, que são fontes de evaporação de barcos de tungsténio e eléctrodos de cobre arrefecidos a água, que podem suportar uma corrente máxima de 260A, e a temperatura de aquecimento pode atingir 1800ºC C. Pode realizar a evaporação de vários metais refratários. Os três grupos são fonte de evaporação térmica independente, não causará contaminação mútua dos materiais de galvanização. O equipamento adota um projeto integrado, a cavidade e a parte de controle elétrico são separadas à esquerda e à direita, o que realiza a separação de água e eletricidade e assegura efetivamente a segurança dos usuários. A parte de controlo eletrónico adota o design da combinação de ecrã tátil e painel de botões. As funções auxiliares, como o sistema de vácuo e a plataforma de amostras, são operadas através de um botão no ecrã de toque e o controlo da evaporação e espessura da película é operado de forma independente através do painel, o que é o mais conveniente possível para os utilizadores ao mesmo tempo. Evite a possibilidade de utilização indevida. O equipamento tem um design perfeito e um excelente desempenho, sendo essencial para experiências de revestimento por evaporação de alta precisão em laboratórios.
Filmes de metal e dielétricos
Fabricação de sensores de película fina
Elemento óptico
Nano e Microelectronics
Bateria solar
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Três Coater de vácuo elevado da fonte de evaporação |
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Plataforma de amostras |
Tamanho |
Suporte máximo φ150mm amostra |
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Função |
Rotativo , aquecimento até 500 ° C |
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Fonte de evaporação |
Quantidade |
Barco de tungsténio x3 |
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Potência |
Cada fonte de evaporação está equipada com uma fonte de alimentação independente; três fontes de evaporação têm um total de três fontes de alimentação independentes |
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Câmara de vácuo |
Tamanho da cavidade |
φ300x400mm |
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Janela de observação |
Dianteira φ100mm |
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Material da cavidade |
304 aço inoxidável |
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Método aberto |
Porta dianteira |
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Controlo da espessura da película (opcional) |
Instrumento de medição da espessura da película de cristal, controlador opcional de espessura da película multicanal |
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Sistema de vácuo |
Bomba da linha de alimentação |
Bomba de palheta rotativa bipolar |
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Porta de escape |
KF16 |
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Bomba secundária |
Bomba turbomolecular |
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Porta de escape |
CF160 |
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Medição de vácuo |
Resistência e ionização Manómetro de vácuo composto |
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Taxa de escape |
Bomba mecânica 1.1L/s. Bomba molecular 600L/s. |
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Vácuo máximo |
1,0E-5PA |
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Fonte de alimentação |
AC 220V 50/60Hz |
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Taxa de bombeamento |
Bomba de palheta rotativa: 1,1L/S. |
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Sistema de controlo |
Controlo automático PLC Interface de funcionamento: Ecrã de toque e painel de controlo (O ecrã táctil controla o processo de deposição e a introdução rápida de dados; o sistema de software PLC de fácil utilização pode ser actualizado através da rede) |
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Outros |
Tensão de alimentação |
AC380V, 50 Hz |
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Tamanho total |
1000 mm X 800 mm X 1500 mm |
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Potência total |
5 kW |
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Peso total |
350 kg |
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