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Fornecedor Auditado Coater de gagueira de magnetron com alvo inferior
GAGUEIRA DE MAGNETRON: VISÃO GERAL
A entortação é um processo de deposição com base em plasma, no qual os íons energéticos são acelerados em direção a um alvo. Os iões atingem o alvo e os átomos são ejetados (ou espaguados) da superfície. Estes átomos viajam para o substrato e incorporam-se na película de crescimento.
O equipamento de revestimento de esmulação de magnetrões é um instrumento de revestimento especial de laboratório desenvolvido pela nossa empresa. O equipamento pode ser equipado com fonte de alimentação CC e fonte de alimentação RF. A potência varia entre 500 W e 1000 W. Pode ser utilizado para preparar películas finas, ferreléctricas, condutoras, películas de liga, películas semicondutores, películas cerâmicas, de camada única ou multicamadas, filmes dielétricos, filmes ópticos, etc..
Em comparação com a pulverização de plasma convencional, a pulverização de magnetrões tem as vantagens de alta energia, alta velocidade, alta taxa de deposição e baixa elevação da temperatura da amostra. O alvo magnetron está equipado com uma camada intermédia arrefecida a água. O arrefecedor de água pode efetivamente retirar calor e evitar a acumulação de calor na superfície alvo, de modo que o revestimento de magnetrões possa funcionar de forma estável durante um longo período de tempo.
Especificações do coater de gagueira de magnetron:
| Nome do produto | Mate com Sputtering da Magnetron com alvo triplo | |
| Plataforma de amostras | Tamanho | Diâm. 150 mm |
| Temperatura de aquecimento | Máx. 500ºC | |
| Precisão da temperatura | ± 1ºC | |
| Velocidade rotacional | 1-20rpm ajustável | |
| Alvo de Sputtering de magnetron | Quantidade | 2" × 3 (1", 2" opcional) |
| Modo de arrefecimento | Arrefecimento a água | |
| Refrigerador de água | Refrigerador de água de circulação com taxa de fluxo de 10 L/min | |
| Câmara de vácuo | Tamanho da câmara | Diâm. 300 * 300 mm |
| Material da câmara | Aço inoxidável | |
| Janela de relógio | Diâm. 100 mm | |
| Modo de abertura | Abertura superior | |
| Medidor do fluxo de massa | 2 canais; gama de medição 100SCCM; 100SCCM (pode ser personalizado de acordo com as necessidades do cliente) | |
| Sistema de vácuo | Modelo | CY-GZK103-A |
| Bomba molecular | 600 l/s | |
| Bomba de apoio | 1,1L/s | |
| Vácuo máximo | 1,0E-5PA | |
| Interface de bombeamento | CF160 | |
| Interface de escape | KF40 | |
| Medição de vácuo | Manómetro de vácuo composto | |
| Fonte de alimentação | CA; 220 V 50 / 60 Hz | |
| Taxa de bombeamento | Aspirar até 1,0E-3Pa em 20 minutos | |
| Configuração de energia | Quantidade | Fonte de alimentação CC x2 Fonte de alimentação RF x1 |
| Potência de saída máxima | CC 500 W, RF 300 W | |
| Outros parâmetros | Tensão de alimentação | AC220 V, 50 Hz |
| Potência total | 4 KW | |
| Tamanho total | 600 mm × 650 mm × 1280 mm | |
| Peso total | Cerca de 350 kg | |
1.WE têm o coater sputtering do magnetron com 1 alvo, 2 alvos, 3 alvos, 4 tagrst, etc. o alvo pode ser projetado no alto ou no fundo da câmara.
2. 0 - potência CC de 1000 W ou alvo de potência RF disponível. A função de polarização é opcional.
3. Tamanho alvo: 1 polegada, 2 polegadas, 3 polegadas, 4 polegadas, etc.
4. O alvo magnético forte e o alvo magnanente magnético são opcionais
5. Coater de gagueira de magnetron com evaporação, feixe de e está disponível
6. Serviço personalizado sempre disponível!
PODEMOS enviar o coater do saltro do magnetron pela terra, pelo mar, pelo ar, por expresso, também pode arranjar pacote e transporte de acordo com suas exigências.
P. você é fabricante ou empresa de negociação?
A. somos fabricantes profissionais de instrumentos de laboratório, temos uma equipa de I&D profissional e uma oficina, que pode prometer a qulaidade e o serviço pós-venda.
P. como está a sua garantia?
A. a nossa garantia é de 12 meses e fornece manutenção vitalícia. Oferecemos 24 horas de serviço on-line.
P. quanto tempo demora o tempo de entrega? Se pretender personalizar o instrumento, quanto tempo demora?
A. 5-10 dias ---- em loja. Customzed produtos ---- geralmente leva 30-60 dias dependendo de suas necessidades.
P. fonte de alimentação e ficha?
A. podemos fornecer produtos que se acentrassem com a tensão local e com o padrão de ficha.
P. como pagar?
A. T T, L/C, D/P, ETC.
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