Type: | Alloy Target |
---|---|
Certification: | ISO |
Pacote de Transporte: | Wooden Box Package |
Especificação: | 99.99% |
Marca Registrada: | rheniumet |
Origem: | China |
Fornecedores com licênças comerciais verificadas
Alvos de tungsténio de elevada pureza, alvos em liga de tungsténio-titânio de elevada pureza e alvos compostos de tungsténio-silício são normalmente aplicados por esvoaçamento de magnetron para produzir vários materiais de película finos complexos e de elevado desempenho. Como o tungsténio de pureza elevada ou tungsténio ultra-puro (5 N ou 6 N) tem uma elevada resistência à migração de electrões, uma elevada estabilidade térmica e a capacidade de formar siliicídios estáveis, é frequentemente utilizado como uma película fina na indústria electrónica como porta, ligação, transição e metal de barreira. O tungsténio de pureza ultra elevada e os seus siliicídios são também utilizados em circuitos integrados de escala ultra grande, como camadas de resistência, barreiras de difusão, etc., e como materiais de porta e materiais de ligação em transístores semicondutores de óxido de metal. Os alvos de sputtering da liga de tungstênio-titânio são usados frequentemente fazer camadas de metal da transição de células solares de película fina.
Especificação:
Nome |
Fórmula molecular | Especificação |
Tamanho |
Densidade relativa | Tamanho do grão | Taxa de defeitos | |
Alvo de tungsténio |
W |
4N (99.99%) |
Polegada |
mm |
≥ 99% |
≯ 50µm |
0 |
5N (99.999%) |
D (2,3, 4,6, 8,10,12) H (0.25,0.5,0.75) |
Diâmetro:
50~350
Espessura:
6~25
|
|||||
Alvo de titânio de tungsténio |
WTi10 WTi20 |
4N (99.99%) |
≥ 99% |
≯ 50µm |
0 |
||
4N5 (99.995%) |
Componente químico
Grau de especificação Índice químico |
W/(W ≥ TI) 99.99% |
W/(W ≥ TI) 99.995% |
W ≥ 99.999% |
|||||||||
Vestígios de impurezas totais |
≯ 100 ppm |
≯ 50 ppm |
≯ 10 ppm |
|||||||||
Índice de impureza (ppm) |
Máx |
Valor típico | Máx | Valor típico | Máx | Valor típico | ||||||
Elementos radioactivos |
U |
- |
0.2 |
0.1 |
0.05 |
0.0008 |
0.0005 |
|||||
TH |
- |
0.2 |
0.1 |
0.05 |
0.0008 |
0.0005 |
||||||
Elementos metálicos alcalinos |
Li |
1 |
0.05 |
0.02 |
0.01 |
0.01 |
0.003 |
|||||
An |
5 |
1 |
0.5 |
0.2 |
0.1 |
0.05 |
||||||
K |
5 |
1 |
0.1 |
0.05 |
0.05 |
0.03 |
||||||
MO, RE |
10 |
5 |
10 |
5 |
1 |
0.5 |
||||||
FE, Cr |
10 |
5 |
5 |
3 |
0.5 |
0.3 |
||||||
CA, si, Cu, Ni, Al, Zn, SN, Mn, Co, Hg, V |
2 |
1 |
0.5 |
0.3 |
0.2 |
0.2 |
||||||
P,as,se |
2 |
1 |
0.5 |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
||||||
B, Pb, SB, be, Ba, Bi, CD, GE, NB, PT, mg, ZR, Au, in, GA, AG |
1 |
0.5 |
0.5 |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
||||||
Todos os outros elementos individuais |
1 |
0.5 |
0.5 |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
||||||
Análise de gás ( ≯, ppm) |
O |
C |
N |
H |
S |
|||||||
30 |
20 |
20 |
20 |
10 |
Dependendo do objectivo de utilização, existem diferentes requisitos para o teor de impurezas dos alvos de tungsténio de elevada pureza e dos alvos de tungsténio-titânio. Geralmente, a pureza química deve estar compreendida entre 99.99 % e 99.999 %. Também podemos personalizar outras especificações adequadas para a aplicação de acordo com os requisitos do utilizador.
Fornecedores com licênças comerciais verificadas