Sistema de Revestimento por Sputtering Magnetron Multifuncional de Bancada de Laboratório

• Costumização: Disponível
• Campo de Aplicação: Aeroespacial, Automotivo, Eletrônicos, Marinha, Dispositivos Médicos, Petróleo e Gás, Geração de energia, Ferrovias
• Pacote de Transporte: caixa de madeira
• N ° de Modelo.: Made-to-order
• Especificação: personalizado
• Marca Registrada: rj
• Origem: Zhengzhou, China

Descrição de Produto

 

 

Parâmetro	Especificação
Material	Aço inoxidável
Fonte de alimentação	Fonte de alimentação CC
Potência nominal	3000 W.
Digite	Sistema de revestimento
Aplicação	Pesquisa científica/eléctrodos da bateria
Modelo	SD-650MHT
Bomba Foreline	2 l/min (bomba de palhetas rotativas)
Vácuo máximo	5 × 10 < sup> - 5 </sup>  Pa
Filtro de óleo do motor	Cartucho do filtro
Dimensões	610 × 420 × 490 MM (L × P × A)
Material de embalagem	Caixa de madeira
Estrutura do eléctrodo	Planar
Taxa de fuga	< 1.0 × 10 < sup> - 8 </sup>  Pa·m³/s
Certificação	CE
Fabrico personalizado	Disponível
Configuração alvo	Cátodo duplo
Fonte de alimentação opcional	Fonte de alimentação RF
Plataforma de amostras	Platina rotativa de 200 mm
Tamanho do alvo	2-polegada
Sistema de arrefecimento	Arrefecido a água
Monitor de espessura	Opcional
Tamanho da câmara	Ø210 × 270 mm (dimensões internas)
Tempo de bombeamento	10 Pa - 3 Pa

Dimensões da unidade principal do instrumento

610 mm (C) × 420 mm (L) × 290 mm (a)

Especificações da câmara de vácuo

• Câmara metálica de alto desempenho:

  • Dimensões externas: Ø260mm × H500mm

  • Dimensões internas: Ø210mm × H270mm

Configuração avançada de cátodo: Sistema de alvo duplo

Especificações alvo	Detalhes
Tamanho do alvo	Ø50mm × 3 mm (a espessura varia consoante o material)
Alvos padrão	Inclui um alvo em aço de Ø50mm × 3 mm e um alvo em alumínio de Ø50mm × 3 mm
Arrefecimento alvo	Arrefecido a água
Vácuo máximo	5 × 10 < sup> - 5 </sup>  Pa (alcança 5 × 10 < sup> - 3 </sup>  Pa em 10 minutos)
Fonte de alimentação	Alimentação de corrente contínua CC: - Entrada: 220 V CA - saída: 0-600V, 0-1.6A Alimentação de RF e recetor: 500 W.

Substrato Stage

• Diâmetro generoso: 200 mm

Sistema de gás

• Flexibilidade do gás de processo: Acomoda ar ou outros gases inertes (cilindro e regulador fornecidos pelo utilizador necessários)

• Controlo de gás: Controlo automatizado de precisão através da válvula de fluxo de solenóide com correcção manual

Sistema de arrefecimento eficiente

Chiller autoscirculante de alta Arte

Monitorização e controlo

• Monitorização de espessura em tempo real para controlo de revestimento de precisão

• Interface de ecrã tátil fácil de utilizar

Capacidades de revestimento abrangentes

Aplicações versáteis: Películas finas de ferro/condutivas/liga/semicondutoras/cerâmica/dieléctricas/ópticas/fluoretos/duras/PTFE

Especificações elétricas

• Tensão confiável: 220 V 50 Hz

• Potência de arranque: 3KW robusto

Ambiente de funcionamento/instalação do SD-650MHT

Requisitos de localização:

1. Assegure a colocação numa mesa robusta (mínimo: 130 cm × 60 cm, capacidade de carga ≥ 200 kg)

2. Posicione a bomba rotativa externa e o refrigerador de forma ideal (Piso/adjacente à unidade principal)

3. Peso total do sistema: Configurável 208 kg. Requer uma equipe de quatro pessoas para transporte.

4. Condições de funcionamento:

   • Intervalo de temperatura ideal: 15 - 25 ° C

   • Controlo da humidade: ≤ 75% HR

5. Instalar um disjuntor dedicado de 220 V, 16 a para garantir uma operação estável.

6. Assegure uma ventilação adequada no ambiente de funcionamento e proteja o instrumento da exposição directa à luz solar para manter um desempenho ideal.

7. As garrafas de gás árgon/hélio e os reguladores de pressão têm de ser fornecidos pelo utilizador para uma utilização versátil.