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O HMDS tem vários usos valiosos na ciência da superfície, pois pode ser usado como material de revestimento, agente de modificação ou agente de passivação da superfície. Discutiremos cada um desses aplicativos em mais detalhes abaixo.
O HMDS é utilizado como material de revestimento na indústria de semicondutores antes de aplicar um fotorsista. Quando o HMDS é depositado numa superfície, deixa os grupos de metilo para trás. Estas ligam-se então às moléculas OH na superfície de silicone e ajudam a desenvolver uma forte adesão quando é aplicado um fotorsista.
A modificação da superfície de certos compostos pode ser feita com HMDS, uma vez que é viável e tem apenas amoníaco como subproduto. As superfícies mais comumente modificadas com HMDS incluem aerogels de sílica, que são tornados hidrófobos durante o processo.1 a opção de modificar aerogels de sílica é necessária para áreas de semicondutores e produtos farmacêuticos, uma vez que a alteração de suas propriedades químicas os torna mais adequados para aplicações específicas. A modificação da superfície dos materiais pode torná-los mais compatíveis com técnicas de análise de superfície, tais como a microscopia electrónica de varrimento (sem) e a microscopia electrónica de transmissão (TEM).
A passivação da superfície é um processo químico conduzido para aumentar as propriedades da superfície de um material assim que resiste melhor à corrosão e à contaminação. Quando o HMDS é usado para a passivação da superfície, ele desenvolve uma camada que atua como um revestimento. Este processo é utilizado após a fabricação de um produto e ajuda a produzir um produto mais robusto.
| Códigos de perigo | F, C, Xn |
| Declarações de risco | 11-20/21/22-34-52/53 |
| Declarações de segurança | 16-26-36/37/39-45-61 |
| RIDADR | N.O ONU 3286 3/PG 2 |
| WGK Alemanha | 2 |
| RTECS | JM9230000 |
| F | 21 |
| Temperatura de auto-ignição | 325 ° C |
| Nota de perigo | Inflamável |
| TSCA | Sim |
| Código HS | 2931 90 00 |
| Classe de HazardClass | 3 |
| PackingGroup | II |
| Dados sobre substâncias perigosas | 999-97-3 (dados sobre substâncias perigosas) |
| Toxicidade | LDLO i.p. em ratos: 650 mg/kg (fichas de informações sobre o produto da Petrarch Systems Inc.) |
Na fotolitografia, o HMDS é frequentemente utilizado como promotor de aderência para fotoresistas. Os melhores resultados são obtidos aplicando HMDS da fase gasosa em substratos aquecidos.
Em microscopia eletrônica, o HMDS pode ser usado como uma alternativa à secagem de pontos críticos durante a preparação da amostra.
Na pirólise - cromatografia gasosa - espectrometria de massa, o HMDS é adicionado à substância a analisar para criar produtos de diagnóstico sililados durante a pirólise, de modo a melhorar a detectabilidade de compostos com grupos funcionais polares.
Na deposição de vapor químico ( PECVD) com realce plasmático, o HMDS é usado como precursor molecular como substituto de gases altamente inflamáveis e corrosivos como SiH4, CH4, NH3 , pois pode ser facilmente manuseado. O HMDS é utilizado em conjunto com um plasma de vários gases, como árgon, hélio e azoto, para depositar películas/revestimentos finos da SiCN com excelentes propriedades mecânicas, ópticas e electrónicas.
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